(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122939328.8 (22)申请日 2021.11.28 (73)专利权人 大连派立特电子科技发展 有限公 司 地址 116000 辽宁省大连市沙河口区昌平 街61号776室 (72)发明人 吕忠毅　梁寅平　康凯　崔世博　 (51)Int.Cl. H02B 1/26(2006.01) H02B 1/56(2006.01) H02B 1/24(2006.01) H02B 1/54(2006.01) H02J 7/00(2006.01) H02H 3/20(2006.01) H02H 3/04(2006.01) C23C 14/35(2006.01) (54)实用新型名称 一种具有防碰撞便于检修的直流磁控溅射 电源 (57)摘要 本实用新型公开了一种具有防碰撞便于检 修的直流磁控溅射电源， 包括壳体、 包边条和移 动组件， 所述壳体的内部左侧设置有用于熔断电 路的断电组件,所述壳体的外侧设置有防撞壳， 所述包边条设置于防撞壳的外侧， 用于移动外壳 的所述移动组件设置于防撞壳的上端。 该具有防 碰撞便于检修的直流磁控溅射电源通过在壳体 内部加装断电组件， 能够将蓄电池的电断开， 避 免检修时发生触电伤害； 通过加装排风扇， 能够 将壳体内部的热风排出； 通过在壳体外侧加装防 撞壳， 能够避免壳体受到外界撞击伤害； 通过在 防撞壳外侧加装包边条， 避免工作人员划伤； 通 过在防撞壳底部上端加装移动组件， 工作人员能 够更加方便地将壳体取 出。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 216750680 U 2022.06.14 CN 216750680 U 1.一种具有防碰撞便于检修的直流磁控溅射电源， 其特征在于， 包括壳体(1)、 包边条 (7)和移动组件(8)， 所述壳体(1)的内部左侧设置有用于熔 断电路的断电组件(2)， 且断电 组件(2)的右侧设置有变压器(3)， 所述变压器(3)的右侧设置有蓄电池(4)， 所述壳体(1)的 内部两侧设置有排风扇(5)， 所述壳体(1)的外侧设置有防撞 壳(6)， 所述包边条(7)设置于 防撞壳(6)的外侧， 用于移动外壳的所述移动组件(8)设置于防撞壳(6)的上端， 且移动组件 (8)包括滑槽(801)、 滑 轮(802)、 电吸磁铁(803)和支撑座(804)， 所述滑槽(801)的内侧设置 有滑轮(802)， 且滑轮(802)的后侧设置有电吸磁铁(803)， 所述滑轮(802)的内侧设置有支 撑座(804)， 所述壳体(1)的前侧设置有开关拉手(9)， 所述防撞 壳(6)的前侧设置有液晶显 示屏(10)， 且液晶显示屏(10)的右侧设置有指示灯(11)， 所述指示灯(11)的右侧设置有蜂 鸣器(12)， 所述防撞壳(6)的两侧设置有排 风洞(13)。 2.根据权利要求1所述的一种具有防碰撞便于检修的直流磁控溅射电源， 其特征在于， 所述断电组件(2)包括导轨(201)、 卡堵(202)、 断路器(203)、 电压传感器(204)和熔断器 (205)， 所述导轨(201 )的左侧上端设置有卡堵(202)， 且卡堵(202)的右侧设置有断路器 (203)， 所述断路器(203)的右侧设置有电压传 感器(204)， 且电压传 感器(204)的右侧设置 有熔断器(20 5)。 3.根据权利要求2所述的一种具有防碰撞便于检修的直流磁控溅射电源， 其特征在于， 所述卡堵(202)与导轨(201)呈垂直状分布， 且卡堵(202)设置有两个。 4.根据权利要求1所述的一种具有防碰撞便于检修的直流磁控溅射电源， 其特征在于， 所述包边条(7)和防撞壳(6)紧密贴合， 且 包边条(7)与防撞壳(6)之间为全 包围结构。 5.根据权利要求1所述的一种具有防碰撞便于检修的直流磁控溅射电源， 其特征在于， 所述电吸磁铁(80 3)的内侧与滑轮(802)的外侧紧密贴合， 且电吸磁铁(80 3)设置有两个。 6.根据权利要求1所述的一种具有防碰撞便于检修的直流磁控溅射电源， 其特征在于， 所述支撑座(804)与壳体(1)呈垂直状分布， 且支撑座(804)与壳体(1)焊接连接 。 7.根据权利要求1所述的一种具有防碰撞便于检修的直流磁控溅射电源， 其特征在于， 所述排风洞(13)与防撞壳(6)呈连通状结构， 且排风洞(13)等距离均匀分布于防撞壳(6)的 外侧。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216750680 U 2一种具有防碰撞 便于检修的直流磁 控溅射电源 技术领域 [0001]本实用新型涉及直流磁控溅射电源技术领域， 具体为一种具有防碰撞便于检修的 直流磁控溅射电源。 背景技术 [0002]1842年， 从Grove发现阴极溅射现象以来， 经过一百多年的发展， 磁控溅射已成为 真空镀膜技术中发展最迅速和应用最广泛的技术之一。 磁控溅射能够有效降低靶室的工作 压力和靶的工作电压， 提高膜层的沉积速率， 降低基片温度， 减小等离子体对膜层的破坏， 由于磁控 溅射引起的沉积涂层性能优良， 磁控溅射技术目前已在润滑、 磨损、 电子 半导体和 光学等领域， 尤其是 大面积镀膜生产中得到广泛的应用。 [0003]市场上的直流磁控溅射电源存在容易撞击损坏和难以得到快捷修理， 导致直流磁 控溅射电源不能长时间使用的问题， 为此， 我们提出这样一种 具有防碰撞便于检修的直流 磁控溅射电源。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种具有防碰撞便于检修的直流磁控溅射电源， 以解 决上述背景技 术中提出的问题。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种具有防碰撞便于检修的直 流磁控溅射电源， 包括壳体、 包边条和移动组件， 所述壳体的内部左侧设置有用于熔断电路 的断电组件， 且断电组件的右侧设置有变压器， 所述变压器的右侧设置有蓄电池， 所述壳体 的内部两侧设置有排风扇， 所述壳体的外侧设置有防撞壳， 所述包边条设置于防撞壳的外 侧， 用于移动外壳的所述移动组件设置于防撞壳的上端， 且移动组件包括滑槽、 滑轮、 电吸 磁铁和支撑座， 所述滑槽的内侧设置有滑轮， 且滑轮的后侧设置有电吸磁铁， 所述滑轮的内 侧设置有支撑座， 所述壳体的前侧设置有开关拉手， 所述防撞壳的前侧设置有 液晶显示屏， 且液晶显示屏的右侧设置有指示灯， 所述指示灯的右侧设置有蜂鸣器， 所述防撞壳的两侧 设置有排 风洞。 [0006]优选的， 所述断电组件包括导轨、 卡堵、 断路器、 电压传感器和熔断器， 所述导轨的 左侧上端设置有卡堵， 且卡 堵的右侧设置有断路器， 所述断路器的右侧设置有电压传感器， 且电压传感器的右侧设置有熔断器。 [0007]优选的， 所述 卡堵与导轨呈垂直状分布， 且卡堵设置有两个。 [0008]优选的， 所述包边条和防撞壳 紧密贴合， 且 包边条与防撞壳之间为全 包围结构。 [0009]优选的， 所述电吸磁铁的内侧与滑轮的外侧紧密贴合， 且电吸磁铁设置有两个。 [0010]优选的， 所述支撑座与壳体呈垂直状分布， 且支撑座与壳体 焊接连接 。 [0011]优选的， 所述排风洞与防撞壳呈连通状结构， 且排风洞等距离均匀 分布于防撞壳 的外侧。 [0012]本实用新型提供了一种具有防碰撞便于检修的直流磁控溅射电源， 具备以下有益说　明　书 1/4 页 3 CN 216750680 U 3