(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210113718.6 (22)申请日 2022.01.30 (71)申请人 江苏亚电科技有限公司 地址 225500 江苏省泰州市姜堰区三水街 道科技大道151号 (72)发明人 钱诚　李刚　周志勇　 (74)专利代理 机构 北京商专润文专利代理事务 所(普通合伙) 11317 专利代理师 陈平 (51)Int.Cl. B08B 11/02(2006.01) B08B 1/00(2006.01) B08B 1/04(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种晶圆水平 清洗装置及清洗方法 (57)摘要 本发明涉及晶圆清洗技术领域， 且公开了一 种晶圆水平清洗装置， 包括底板， 所述底板的顶 部固定连接有U形框和水箱， 所述底板的顶部固 定连接有外语U形框内腔的翻转机构， 所述U形框 内腔的左右两侧均转动连接有与翻转机构啮合 的夹紧组件。 该晶圆水平清洗装置及清洗方法， 通过夹紧组件将晶圆夹紧固定后， 同时启动刷洗 机构和冲洗机构来对晶圆进行清洗， 待晶圆其中 的一面被清洗完后， 启动翻转机构即可带动两个 夹紧组件进行旋转， 夹紧组件旋转的同时向上挤 压刷洗机构， 使得晶圆不会与刷洗机构发生磕 碰， 晶圆翻转180度后停止翻转机构， 再次通过刷 洗机构和冲洗机构来对晶圆的另一面进行清洗， 实现了晶圆水平 清洗装置高效清洗的目的。 权利要求书2页 说明书4页 附图3页 CN 114589182 A 2022.06.07 CN 114589182 A 1.一种晶圆水平清洗装置， 包括底板(1)， 其特征在于： 所述底板(1)的顶部固定连接有 U形框(2)和水箱(6)， 所述底板(1)的顶部固定连接有外语U形框(2)内腔的翻转机构(3)， 所 述U形框(2)内腔的左右两侧均转动连接有与翻转机构(3)啮合的夹紧组件(4)， 所述U形框 (2)内腔的顶部固定连接有与夹紧组件(4)顶部活动连接的刷洗机构(5)， 所述水箱(6)的顶 部连通有进料口(7)， 所述进料口(7)的外表面活动连接有封口盖(8)， 所述水箱(6)的顶部 固定连接有底部贯 穿至水箱(6)的内腔且左侧贯 穿至U型框(2)内腔的冲洗 机构(9)； 所述翻转机构(3)包括与底板(1)顶部固定连接且位于U形框(2)内腔的双轴电机(31)， 所述双轴电机(31)两个输出轴 均固定连接有主动转轴(32)， 所述主动转轴(32)远离双轴电 机(31)一侧的外表 面套接有第一锥形齿轮(33)， 两个所述第一锥形齿轮(33)的顶部均啮合 有第二锥形齿轮(34)， 所述第二锥形齿轮(34)的轴心处固定连接有与底板(1)顶部转动连 接的从动转轴(35)， 所述从动转轴(35)远离底板(1)一侧的外表面套接有第三锥形齿轮 (36)。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆水平清洗装置， 其特征在于： 所述从动转轴(35)通过 支撑轴承与底板(1)的顶部转动连接 。 3.根据权利要求1所述的一种晶圆水平清洗装置， 其特征在于： 两个所述夹紧组件(4) 分别与U形框(2)内腔的左右两侧转动连接的旋转轴(41)， 两个所述旋转轴(41)相对的一侧 均固定连接有U形板(42)， 所述U形板(42)内腔的底部转动连接有顶部贯穿至U形板(42)外 侧的驱动轴(43)， 所述驱动轴(43)的顶部固定连接有把手(44)， 所述驱动轴(43)的外表面 螺纹连接有两个滑块(45)， 所述滑块(45)的外表面固定连接有贯穿至U形板(42)外侧的夹 板(46)， 所述旋转轴(41)的外表面套接有与第三锥形齿轮(36)啮合的第四锥形齿轮(47)， 所述U形板(42)的外表面套接有凸轮(48)。 4.根据权利要求3所述的一种晶圆水平清洗装置， 其特征在于： 所述驱动轴(43)的外表 面开设有两个相反的外 螺纹， 所述滑块(45)的内腔开设有与对应外 螺纹相适配的内螺纹。 5.根据权利要求3所述的一种晶圆水平清洗装置， 其特征在于： 所述滑块(45)远离夹板 (46)的一侧固定连接有与U形板(42)内腔壁滑动 连接的限位块(451)， 两个所述U形板(42) 相对一侧的内腔壁均开设有与限位 块(451)相适配的限位槽 。 6.根据权利要求3所述的一种晶圆水平清洗装置， 其特征在于： 所述旋转轴(41)靠近U 形框(2)内腔壁一侧的外表面套接有辅助轴承， 所述旋转轴(41)通过轴承与U形框(2)的内 腔壁转动连接 。 7.根据权利要求3所述的一种晶圆水平清洗装置， 其特征在于： 所述刷洗机构(5)包括 与U形框(2)内腔的顶部固定连接的伸缩杆(51)， 所述伸缩 杆(51)的底部固定连接有与两个 凸轮(48)顶部均活动连接的连接板(53)， 所述U形框(2)与连接板(53)之间固定连接有套接 于伸缩杆(51)外表面的弹簧(52)， 所述连接板(53)的底部固定连接有驱动电机(54)， 所述 驱动电机(54)的输出轴固定连接有清洗刷(5 5)。 8.根据权利要求7所述的一种晶圆水平清洗装置， 其特征在于： 所述伸缩杆(51)包括与 U形框(2)内腔的顶部固定连接的空心杆， 所述空心杆的内腔滑动连接有与连接板(53)顶部 固定连接的实心杆。 9.根据权利要求1所述的一种晶圆水平清洗装置， 其特征在于： 所述冲洗机构(9)包括 与水箱(6)顶部固定连接的水泵(91)， 所述水泵(91)的进水口固定连接有底部贯穿至水箱权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114589182 A 2(6)内腔的进水管(92)， 所述水泵(91)的出水口固定连接有左侧贯穿至U形框(2)内腔的排 水管(93)， 所述 排水管(93)远离水泵(91)的一端连通有喷头(94)。 10.一种晶圆水平 清洗装置的清洗方法， 其特 征在于， 包括以下步骤： 1)注水， 打开进料口(7)上的封口盖(8)， 通过进料口(7)向水箱(6)的内腔加入清水； 2)夹紧固定， 通过两个夹紧组件(4)将待清洗的 晶圆夹紧 固定； 3)首次清洗， 启动冲洗机构(9)对晶圆进行冲洗， 同时启动刷洗机构(5)对 晶圆的表面 进行刷洗， 清洗 完毕后， 停止冲击 机构(9)和刷洗 机构(5)； 4)翻面， 通过翻转机构(3)的启动， 使得两个夹紧组件(4)带动晶圆旋转， 并且使得夹紧 组件(4)向上挤压刷洗机构(5)， 直到晶圆旋转180度后停止翻转机构(3)， 此时刷洗机构(5) 复位与晶圆未被清洗的面接触； 5)再次清洗， 再次同时启动刷洗 机构(5)和冲洗 机构(9)来对晶圆进行清洗 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114589182 A 3