(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210135211.0 (22)申请日 2022.02.14 (71)申请人 宇泽半导体 （云南） 有限公司 地址 675000 云南省楚雄彝族自治州楚雄 市鹿城镇阳光大道楚风苑南门东侧 (72)发明人 汪沛渊　吴超慧　王培业　 (74)专利代理 机构 昆明合众智 信知识产权事务 所 53113 专利代理师 张玺 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) B08B 3/02(2006.01) (54)发明名称 一种用于硅片清洗的清洗烘干一体的全自 动清洗线 (57)摘要 本发明公开了一种用于硅片清洗的清洗烘 干一体的全自动清洗线， 包括硅片清洗烘干一体 机主体， 硅片清洗烘干一体机主体内安装有安装 座， 安装座上安装有若干清洗结构， 清洗结构包 括座板和一对旋转机构， 安装座上设置有进水管 和进气管， 旋转机构包括清洗头、 盖板以及轴杆， 硅片从一对旋转机构之间经过。 本发 明中通过设 置的清洗 结构， 使得在将清洗用的液体与 气体通 入到清洗结构内后即可使清洗液体和气体能够 一同通过清洗头喷向硅片的正反两面， 使得清洗 硅片表面的清洗液能够在清洗后被气体吹走， 从 而增加了硅片的清洗效果， 防止杂质粘附在硅片 表面的清洗液内。 权利要求书2页 说明书4页 附图7页 CN 114551300 A 2022.05.27 CN 114551300 A 1.一种用于硅片清洗的清洗烘干一体的全自动清洗线， 包括硅片清洗烘干一体机主体 (1)， 所述硅片清洗烘干一体机主体(1)内安装有安装座(2)， 其特征在于： 所述安装座(2)上 安装有若干清洗结构(3)， 所述清洗结构(3)包括通过螺栓固定在所述安装座(2)上的座板 (31)和设置在所述座板(31)前侧的一对旋转机构(32)， 两个所述旋转机构(32)呈对称状 分 布在所述座板(31)的前侧， 所述安装座(2)上设置有进水管(21)和进气管(22)， 所述旋转机 构(32)包括清洗头(321)、 固定在所述清洗头(321)顶端的盖板(322)以及固定在所述盖板 (322)顶端的轴杆(323)， 硅片从一对所述旋转机构(32)之间经 过。 2.如权利要求1所述的用于硅片清洗的清洗烘干一体的全自动清洗线， 其特征在于： 所 述座板(31)的前端面通过螺栓固定有一对固定杆(311)， 所述固定杆(311)的末端一体成型 有呈环形结构的端套(3111)， 所述轴杆(323)从所述端套(3111)中穿过并与所述端套 (3111)转动连接 。 3.如权利要求2所述的用于硅片清洗的清洗烘干一体的全自动清洗线， 其特征在于： 所 述端套(3111)内侧的底部内壁上开设有进气腔(3112)， 所述端套(3111)内侧的顶部内壁上 开设有进水腔(3113)， 所述端套(3111)的左右 两端均连接有通管(313)， 所述进气腔(3112) 通过位于左侧的所述通管(313)与所述进水管(21)相连通， 所述进水腔(3113)通过位于右 侧的所述通管(313)与所述进气管(22)相连通， 所述端套(3111)的内壁中嵌设有三个密封 圈(3114)， 所述进气腔(3112)和进水腔(3113)被夹设在相邻的两个所述密封圈(3114)之 间。 4.如权利要求1所述的用于硅片清洗的清洗烘干一体的全自动清洗线， 其特征在于： 所 述座板(31)前端面的顶底两侧边缘处均通过螺栓固定有凸板(312)， 所述凸板(312)末端的 外侧边缘处通过螺栓固定有转动电机(3121)， 所述转动电机(3121)的输出轴末端与所述轴 杆(323)同轴连接 。 5.如权利要求1所述的用于硅片清洗的清洗烘干一体的全自动清洗线， 其特征在于： 所 述清洗头(321)顶端的中部位置处开设有第一凹腔(3211)， 所述第一凹腔(3211)左右两侧 的所述清洗头(321)上均开设有第二凹腔(3212)， 与所述第一凹腔(3211)位置相对应的所 述清洗头(321)的底端面位置处开设有第一凹槽(3213)， 与外围第二凹腔(3212)位置相对 应的所述清洗头(321)的底端面位置处开设有第二凹槽(3214)， 所述第一凹槽(3213)的槽 底处安装有 若干喷淋头(3215)， 所述第二凹槽(3214)的槽底处安装有 若干喷气头(3216)。 6.如权利要求1所述的用于硅片清洗的清洗烘干一体的全自动清洗线， 其特征在于： 所 述盖板(322)将所述清洗头(321)的顶端遮盖， 所述盖板(322)的顶面上连接有一对连接管 (3221)， 所述连接管(3221)的末端与第二凹腔(3212)的位置相对应并与所述第二凹腔 (3212)相连通。 7.如权利要求1所述的用于硅片清洗的清洗烘干一体的全自动清洗线， 其特征在于： 所 述轴杆(323)呈空心的管状结构， 所述轴杆(323)紧密焊接在所述盖板(322)的顶端， 所述轴 杆(323)的内部与第一凹腔(3211)相连通， 所述轴杆(323)的底部内壁中开设有隔腔 (3234)， 底端紧密焊接有端环(3231)， 端环(3231)将所述隔腔(3234)的底端封闭， 连接管 (3221)的首端与所述隔腔(3234)相连通。 8.如权利要求1所述的用于硅片清洗的清洗烘干一体的全自动清洗线， 其特征在于： 所 述轴杆(323)的顶端紧密焊接有端板(3232)， 所述端板(3232)的顶端紧密焊接有轴套权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114551300 A 2(3233)， 转动电机(3121)的输出轴末端伸入到所述轴套(323 3)内并通过螺 栓固定连接 。 9.如权利要求1所述的用于硅片清洗的清洗烘干一体的全自动清洗线， 其特征在于： 所 述轴杆(323)顶部的外围表面上开设有若干通水槽(3235)， 所述通水槽(3235)与所述轴杆 (323)的内部相连通， 所述通水槽(3235)的位置和进水腔(3113)的位置相对应， 所述通水槽 (3235)下方的所述轴杆(323)的外围表面上开设有若干通气槽(3236)， 所述通气槽(3236) 与隔腔(3234)相连通， 所述 通气槽(323 6)的位置和进气腔(31 12)的位置相对应。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114551300 A 3