(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222353764.1 (22)申请日 2022.09.05 (73)专利权人 广州粤芯 半导体技 术有限公司 地址 510000 广东省广州市黄埔区凤 凰五 路28号 (72)发明人 卿慧博　 (74)专利代理 机构 上海思捷知识产权代理有限 公司 312 95 专利代理师 尤彩红 (51)Int.Cl. B65D 25/02(2006.01) B65D 25/10(2006.01) B65D 85/68(2006.01) (54)实用新型名称 光刻机机盖的放置装置 (57)摘要 本实用新型提供一种光刻机机盖的放置装 置， 包括： 至少两个装置本体， 装置本体包括基座 以及至少两个固定件； 固定件的一端与基座连 接， 另一端为自由端； 两个所述固定件沿第一方 向间隔布置， 并沿第二方向延伸， 相邻的两个固 定件之间构成用于供待放置的光刻机机盖沿第 三方向穿设的间隙； 基座以及相邻的两个固定件 分别用于与光刻机机盖抵靠； 至少两个装置本体 沿第三方向间隔布置， 相邻的至少两个装置本体 的相对的间隙用于容置待放置的光刻机机盖， 并 且用于限制光刻机机盖与第二方向成角度布置。 如此配置， 光刻机机盖架设于至少两个装置本体 上， 避免了维修过程中因保护不到位而造成的永 久不可逆的变形。 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 CN 218056273 U 2022.12.16 CN 218056273 U 1.一种光刻机机盖的放置装置， 其特征在于， 包括： 至少两个装置本体， 所述装置本体 包括基座以及至少两个固定件； 所述基座的延伸方向为第一方向， 与所述第一方向成角度相交的方向为第二方向， 与 所述第一方向以及所述第二方向成角度相交的方向为第三方向； 所述固定件的一端与所述基座连接， 另一端为自由端； 至少两个所述固定件沿所述第一方向间隔布置， 并沿所述第二方向延伸， 相邻的两个 所述固定件之 间构成用于供待放置的光刻机机盖沿所述第三方向穿设的间隙； 并且相 邻的 两个所述固定件之 间的距离大于所述光刻机机盖的厚度； 所述基座以及相 邻的两个所述固 定件分别用于与所述 光刻机机盖抵靠； 至少两个所述装置本体沿所述第 三方向间隔布置， 相邻的至少两个所述装置本体的相 对的间隙用于容置待放置的光刻机机盖， 并且用于限制所述光刻机机盖与所述第二方向成 角度布置 。 2.如权利要求1所述的光刻机机盖的放置装置， 其特征在于， 所述装置本体包括五个所 述固定件， 五个所述固定件沿所述第一方向等距间隔排布， 且五个所述固定件沿所述第二 方向的长度一 致。 3.如权利要求1所述的光刻机机盖的放置装置， 其特征在于， 所述固定件沿所述第 二方 向的长度为3 00～700mm， 相邻的两个所述固定件的间距为10 0～200mm。 4.如权利要求1所述的光刻机机盖的放置装置， 其特征在于， 所述固定件的一端和所述 基座的顶面中的一者具有第一螺孔， 另一者具有第一螺纹段， 所述第一螺纹段与所述第一 螺孔连接 。 5.如权利要求4所述的光刻机机盖的放置装置， 其特征在于， 所述基座的顶面具有多个 所述第一螺孔， 多个所述第一螺孔沿所述第一方向间隔布置 。 6.如权利要求1所述的光刻机机盖的放置装置， 其特征在于， 所述装置本体还包括沿所 述第三方向延伸的两个端座， 两个所述端座分别与所述基座沿所述第一方向的两端连接； 所述基座和所述端座的侧面中的一者具有第二螺孔， 另一者具有第二螺纹段， 所述第 二螺纹段与所述第二螺孔连接 。 7.如权利要求6所述的光刻机机盖的放置装置， 其特征在于， 所述装置本体还包括加强 翼， 所述加强翼位于所述端座与所述基座的连接处， 所述加强翼的延伸方向平行于所述基 座的底面所在的平面。 8.如权利要求7所述的光刻机机盖的放置装置， 其特征在于， 所述加强翼具有平直段和 收窄段， 所述平直段与所述收窄段一体设置， 所述收窄段沿所述第一方向逐渐收窄。 9.如权利要求6所述的光刻机机盖的放置装置， 其特征在于， 所述基座、 所述固定件和 所述端座的横截面形状为工 字型。 10.如权利要求1所述的光刻机机盖的放置装置， 其特征在于， 所述第 一方向、 所述第 二 方向和所述第三方向相互垂直； 所述第一方向与所述第三方向所在的平面沿水平方向延 伸， 所述第二方向沿竖直方向延伸。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218056273 U 2光刻机机盖的放置 装置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及半导体生产领域， 尤其是一种光刻机 机盖的放置装置 。 背景技术 [0002]ASML光刻设备作为半导体生产仪器的一种， 其盖板的尺寸一般有2.5m*0.8m， 在日 常维修的过程中， 需要拆下平铺放置， 且不能接触地面， 在此过程中， 若保护不到位或者有 人为踩踏会导致永久不可逆的变形。 机台的盖板内部有互锁装置， 盖板变形后易触发互锁 模式而导 致设备宕机， 此状况不仅影响产品的生产效率， 也无法完整修复。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的在于提供一种光刻机机盖的放置装置， 以解决光刻设备的盖板 在日常维修的过程中， 因保护不到位而造成的永久不可逆的变形的问题。 [0004]为了达到上述目的， 本实用新型提供了一种光刻机机盖的放置装置， 包括： 至少两 个装置本体， 所述装置 本体包括基座以及至少两个固定件； [0005]所述基座的延伸方向为第一方向， 与所述第一方向成角度相交的方向为第二方 向， 与所述第一方向以及所述第二方向成角度相交的方向为第三方向； [0006]所述固定件的一端与所述基座连接， 另一端为自由端； [0007]至少两个所述固定件沿所述第一方向间隔布置， 并沿所述第二方向延伸， 相邻的 两个所述固定件之 间构成用于供待放置的光刻机机盖沿所述第三方向穿设的间隙； 并且相 邻的两个所述固定件之 间的距离大于所述光刻机机盖的厚度； 所述基座以及相邻的两个所 述固定件分别用于与所述 光刻机机盖抵靠； [0008]至少两个所述装置本体沿所述第三方向间隔布置， 相邻的至少两个所述装置本体 的相对的间隙用于容置待放置的光刻机机盖， 并且用于限制所述光刻机机盖与所述第二方 向成角度布置 。 [0009]可选的， 所述装置本体包括五个所述固定件， 五个所述固定件沿所述第一方向等 距间隔排布， 且五个所述固定件沿所述第二方向的长度一 致。 [0010]可选的， 所述固定件沿所述第二方向的长度为300～700mm， 相邻的两个所述固定 件的间距为10 0～200mm。 [0011]可选的， 所述固定件的一端和所述基座的顶面中的一者具有第一螺孔， 另一者具 有第一螺纹段， 所述第一螺纹段与所述第一螺孔连接 。 [0012]可选的， 所述基座的顶面具有多个所述第一螺孔， 多个所述第一螺孔沿所述第一 方向间隔布置 。 [0013]可选的， 所述装置本体还包括沿所述第三方向延伸的两个端座， 两个所述端座分 别与所述基座沿所述第一方向的两端连接； [0014]所述基座和所述端座的侧面中的一者具有第二螺孔， 另一者具有第二螺纹段， 所 述第二螺纹段与所述第二螺孔连接 。说　明　书 1/5 页 3 CN 218056273 U 3