(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221983325.2 (22)申请日 2022.07.29 (73)专利权人 西安基尔程电子科技有限公司 地址 710076 陕西省西安市高新区丈 八一 路1号汇鑫IBC大厦C座第14层1410室 (72)发明人 延绥斌　 (74)专利代理 机构 东莞市卓易专利代理事务所 (普通合伙) 44777 专利代理师 耿辉 (51)Int.Cl. H05K 7/20(2006.01) H05K 5/02(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种高温键合机电压稳定系统 (57)摘要 本实用新型提供了一种高温键合机电压稳 定系统， 包括： 本体、 风机、 电缆接口、 第一进风 孔、 第一螺栓安装孔、 外壳、 插口、 第一螺纹孔、 第 二进风孔、 通孔、 分流箱、 汇流箱、 换热片、 第二螺 纹孔、 管路接头； 所述本体后端的底部通过螺栓 固定有风机； 所述本体后端的顶部镶嵌有电缆接 口； 所述本体前端的顶部开设有第一进风孔； 所 述第一进风孔的侧部开设有第一螺栓安装孔； 所 述本体前端的顶部设有外壳； 所述外壳的后端设 有插口， 且外壳与插口为一体式结构； 所述插口 插接在第一进风孔的内侧； 本实用新型通过对上 述结构的改进， 具有结构合理， 冷风降温， 降温 效 果较好， 降温速度较快， 方便安装固定的优点， 从 而有效的解决了现有 装置中出现的问题和不足。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 218006858 U 2022.12.09 CN 218006858 U 1.一种高温键合机电压稳定系统， 包括： 本体(1)、 风机(2)、 电缆接口(3)、 第一进风孔 (4)、 第一螺栓安装孔(5)、 外壳(6)、 插口(7)、 第一螺纹孔(8)、 第二进 风孔(9)、 通孔(10)、 分 流箱(11)、 汇流箱(12)、 换热片(13)、 第二螺纹孔(14)、 管路接头(15)； 其特征在于： 所述本 体(1)后端的底部通过螺栓固定有风机(2)； 所述本体(1)后端的顶部镶嵌有电缆接口(3)； 所述本体(1)前端的顶部开设有第一进风孔(4)； 所述第一进风孔(4)的侧 部开设有第一螺 栓安装孔(5)； 所述本体(1)前端的顶部设有外壳(6)； 所述外壳(6)的后端设有插口(7)， 且 外壳(6)与插口(7)为一体式结构； 所述插口(7)插接在第一进风孔(4)的内侧； 所述插口(7) 的侧部开设有与第一螺栓安装孔(5)相配合的第一螺纹孔(8)； 所述外壳(6)的前端开设有 第二进风孔(9)； 所述外壳(6)的底部开设有两处通孔(10)； 所述外壳(6)内部的右侧镶嵌有 分流箱(11)； 所述外壳(6)内部的左侧镶嵌有汇流箱(12)； 所述分流箱(11)与汇流箱(12)之 间设有换热片(13)； 所述换热片(13)的右端与 分流箱(11)的左端焊接固定， 且换热片(13) 与分流箱(11)内部相连通； 所述换热片(13)的左端与汇流箱(12)的右端焊接固定， 且换热 片(13)与汇 流箱(12)内部相连通； 所述换热片(13)与分流箱(11)的底部均开设有一处第二 螺纹孔(14)； 两处所述第二螺纹孔(14)分别与两处所述通孔(10)上下一一相对应； 每一处 所述第二螺纹孔(14)对应 设置一处管路接头(15)； 所述管路接头(15)的一端活动贯穿在通 孔(10)的内侧并螺纹连接在第二螺纹孔(14)的内侧。 2.根据权利要求1所述的一种高温键合机电压稳定系统， 其特征在于： 所述第 一进风孔 (4)呈方形状， 且与第一进风孔(4)相配合的插口(7)呈方框形状， 并且第一进风孔(4)与插 口(7)通过螺 栓固定连接 。 3.根据权利要求1所述的一种高温键合机电压稳定系统， 其特征在于： 所述第 一螺栓安 装孔(5)为 沉头孔， 且所述 沉头孔呈长圆形状。 4.根据权利要求1所述的一种高温键合机电压稳定系统， 其特征在于： 所述外壳(6)呈 方盒形状， 且设在外壳(6)前端的第二进风 孔(9)呈蛛网状。 5.根据权利要求1所述的一种高温键合机电压稳定系统， 其特征在于： 所述分流箱(11) 与汇流箱(12)均呈中空的矩形板状， 且分流箱(1 1)与汇流箱(12)呈左右对称。 6.根据权利要求1所述的一种高温键合机电压稳定系统， 其特征在于： 所述换热片(13) 呈空心的矩形薄板状， 且换热片(13)在分流箱(11)与汇流箱(12)之间设有多处， 并且多处 所述换热片(13)在竖直方向上等距排列。 7.根据权利要求1所述的一种高温键合机电压稳定系统， 其特征在于： 所述管路接头 (15)呈圆管状， 且管路接 头(15)中间位置的外侧焊接有螺母。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218006858 U 2一种高温键合机电压稳定系统 技术领域 [0001]本实用新型涉及高温键合机技术领域， 更具体的说， 尤其涉及一种高温键合机电 压稳定系统。 背景技术 [0002]高温键合机既可以处理很小的碎片也可以处理200mm的晶圆， 可以支持各种形式 的键合， 如阳极键合、 玻璃焊料键合、 共晶、 扩散、 融合、 焊接和粘结键合； 也可以支持其他热 处理过程如氧化物 移除和高温烘烤等。 [0003]高温键合机包括温控系统、 液压系统、 电压稳定系统等。 电压稳定系统用于电源稳 压， 电压若出现不稳定， 易 导致设备出现故障， 影响键合加工 。 [0004]温度是影响电压稳定的因素之一， 因此高温键合机电压稳定系统内会配置散热降 温结构。 现有高温键合机电压稳定系统中的散热降温结构大多是通过风机来物理降温的， 但仅依靠风机来降温， 降温的效果较差， 降温速度较慢， 因此需要对现有散热降温结构进 行 改进。 [0005]有鉴于此， 针对现有的问题予以研究改良， 提供一种高温键合机电压稳定系统， 旨 在通过该技术， 达到解决问题与提高实用价 值性的目的。 实用新型内容 [0006]本实用新型的目的在于提供一种高温键合机电压稳定系统， 以解决上述背景技术 中提出的问题和不足。 [0007]为实现上述目的， 本实用新型由以下 具体技术手段所达成： [0008]一种高温键合机电压稳定系统， 包括： 本体、 风机、 电缆接口、 第一进风孔、 第一螺 栓安装孔、 外壳、 插口、 第一螺纹孔、 第二进风孔、 通孔、 分流箱、 汇流箱、 换热片、 第二螺纹 孔、 管路接头； 所述本体后端的底部通过螺栓固定有风机； 所述本体后端的顶部镶嵌有电缆 接口； 所述本体前端的顶部开设有第一进风孔； 所述第一进风孔的侧部开设有第一螺栓安 装孔； 所述本体前端的顶部 设有外壳； 所述外壳的后端设有插口， 且外壳与插口为一体式结 构； 所述插口插接在第一进风孔的内侧； 所述插口的侧部开设有与第一螺栓安装孔相 配合 的第一螺纹孔； 所述外壳的前端开设有第二进风孔； 所述外壳的底部开设有两处通孔； 所述 外壳内部的右侧镶嵌有分流箱； 所述外壳内部的左侧镶嵌有汇流箱； 所述分流箱与汇流箱 之间设有换热片； 所述换热片的右端与分流箱的左端焊接固定， 且换热片与分流箱内部相 连通； 所述换热片的左端与汇流箱的右端焊接固定， 且换热片与 汇流箱内部相连通； 所述换 热片与分流箱的底部均开设有一处第二螺纹孔； 两处所述第二螺纹孔分别与两处所述通孔 上下一一相对应； 每一处所述第二螺纹孔对应设置一处管路接头； 所述管路接头的一端活 动贯穿在通孔的内侧并螺纹连接在第二螺纹孔的内侧。 [0009]作为本技术方案 的进一步优化， 所述第一进风孔呈方形状， 且与第一进风孔相配 合的插口呈 方框形状， 并且第一进风 孔与插口通过螺 栓固定连接 。说　明　书 1/4 页 3 CN 218006858 U 3