ICS 71.040.40 G 04 中华人民共和国国家标准 GB/T 34172—2017 微束分析 电子背散射衍射 金属及合金的相分析方法 Microbeam analysisElectron backscatter diffraction- Phase analysis method of metal and alloy 2018-08-01实施 2017-09-07发布 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 34172—2017 目 次 前言 引言 IV 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 试验参数 4 4.1 试样要求 4.2 扫描电镜参数设定 4.2.1 EBSD设备 4.2.2 加速电压 4.2.3 束流 4.3 EBSD参数设定 4.3.1 EBSD系统的校准 4.3.2 曝光时间 4.3.3 步长选择 4.3.4 EBSD花样像素的选择 4.3.5 EBSP背底校正 4.3.6 菊池带探测 5 分析过程 5.1 图像采集 5.2 定性分析 5.2.1 元素化学成分分析 5.2.2 花样采集及分析 5.2.3 花样匹配 5.3定量分析 5.3.1 相选择 5.3.2 参数选择 5.3.3 相分布图采集 5.3.4 相分布图的后处理 6结果发布 附录A（规范性附录） EBSD试样的制备 参考文献 5AC GB/T 34172—2017 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草 本标准由全国微束分析标准化技术委员会（SAC/TC38）提出并归口。 本标准起草单位：上海发电设备成套设计研究院、泰思肯贸易有限公司、宝钢集团中央研究院、中国 科学院上海硅酸盐研究所。 本标准主要起草人：张作贵、焦汇胜、姚雷、王埔哲。 Ⅲ GB/T34172—2017 引 电子背散射衍射（EBSD)是基于对扫描电子显微镜（SEM)或聚焦离子束（SEM-FIB)中电子束在倾 技术[1.2]。EBSD技术用于品体结构相似的相分析时，可结合安装于SEM（也可是SEM-FIB或EPMA） 上的能谱仪（EDS)进行元素化学成分分析，以提高EBSD相分析结果的可靠性。 对金属及合金的EBSD相分析，可以获取金属及合金中各种相的形貌、分布及面积百分含量等相关信 息，这对金属及合金的成分控制、热处理工艺选择、合金化机理研究及构件的失效分析等都具有十分重 要的意义。 IV