ICS 71.060.50 G 12 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T333362016 高纯工业品三氯氧磷 High purity phosphorus oxychloride of industrial use 2016-12-13发布 2017-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T33336—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国石油和化学工业联合会提出。 本标准由全国化学标准化技术委员会（SAC/TC63）归口 本标准起草单位：贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司、贵州省产品质量监督检验院、徐州市建平 化工有限公司、铜山县宏达精细化工厂、锦西化工研究院有限公司。 本标准主要起草人：蒋飚、钟宏波、祝飘、冯永渝、陈文强、周大颖、刘涛、陈泉、程永福、龚宁、程群、 邵青松、伍昌维、程化鹏、张建刚、殷浩、马西刚、李富荣。 I GB/T33336—2016 高纯工业品三氯氧磷 警示一一高纯工业品三氯氧磷在湿空气中激烈发烟，遇水猛烈反应生成磷酸，并释放出氯化氢气 体，遇热时分解成磷的氯化物和高毒的氧化物薄膜。在取样、检测、搬运等过程中要注意采取防护措施 接触高纯工业品三氯氧磷时应佩戴眼镜、口罩、橡皮手套等防护用具。严禁与水接触，避免吸入蒸汽、接 触皮肤及黏膜。当发生泄漏时，应用泥沙或石灰处理，如已接触皮肤，应立即用大量流动水冲洗 1范围 本标准规定了高纯工业品三氯氧磷的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输和 贮存。 本标准适用于高纯工业品三氯氧磷。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路 和超大规模集成电路芯片等的扩散源。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB190危险货物包装标志 GB/T191 包装储运图示标志 GB/T 601 化学试剂 标准滴定溶液的制备 GB/T 603 化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T 6678 化工产品采样总则 GB/T 6680 液体化工产品采样通则 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T11446.1 电子级水 GB15258 3化学品安全标签编写规定 GB50472 电子工业洁净厂房设计规范 HG/T3606—2009工业用三氯氧磷 3分子式和相对分子质量 分子式：POCl3。 相对分子质量：153.33（按2013年国际相对原子质量）。 4分级 高纯工业品三氯氧磷分为两个等级： 一7N级：纯度（基于阳离子）≥99.99999%，主要用于大规模集成电路（IC）、分离器件扩散源。 1 GB/T33336—2016 5 要求 5.1 外观：无色透明液体 5.2 高纯工业品三氯氧磷应符合表1要求 表 1 要求 指 标 项目 6N级 7N级 三氯氧磷（POCl）w/% 99.9 6°66 纯度（基于阳离子）w/% 6 66666 6666666 铝(AI)w/(μg/kg) 20 5 锑(Sb)w/(μg/kg) 10 3 砷(As)w/(μg/kg) 15 6. 钡(Ba)w/(μg/kg) 10 1 ≤ 铋(Bi)z/(μg/kg) 10 1 镐(Cd)w/(μg/kg) 10 3 钙(Ca)w/(μg/kg) 20 5 铬(Cr)w/(μg/kg) 10 1 钻(Co)w/(μg/kg) 10 1 铜(Cu)w/(μg/kg) 20 2 镓(Ga)w/(μg/kg) 1 1 金(Au)w/(μg/kg) 1 1 铁(Fe)w/(μg/kg) 30 5 铅(Pb)w/(μg/kg) 10 3 锂(Li)w/(μg/kg) 10 6 镁(Mg)w/(μg/kg) 10 5 锰(Mn)w/(μg/kg) 20 1 汞(Hg)w/(μg/kg) 10 5 镍(Ni)w/(μg/kg) 10 1 锯(Nb)w/(μg/kg) 2 1 钾(K)w/(μg/kg) 2054g 3 1 1 银(Ag)w/(μg/kg) 钠(Na)w/(μg/kg) 10 5 锡(Sn)w/(μg/kg) 5 1 2