ICS 77.150 H63 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 14592—2014 代替GB/T14592—1993 钼圆片 Molybdenum discs 2014-07-24发布 2015-02-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T14592—2014 前言 本标准是按照GB/T1.1一2009给出的规则起草的。 本标准代替GB/T14592—1993《钼圆片》。 本标准与GB/T14592—1993相比，主要有如下变动： 修改了规范性引用文件； 一增加了电火花线切割和研磨车边类产品的标记和直径允许偏差； 一修改了钼圆片产品密度要求； 修改了检验规则里的相关条款； 一增加了产品质量证明书和合同（或订货单）内容要求。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口。 本标准起草单位：西安瑞福莱钨钼有限公司、宜兴市科兴合金材料有限公司、金堆城钼业股份有限 公司。 本标准主要起草人员：淡新国、侯军涛、俞叶、赵娟、石大伟、金波。 I GB/T14592—2014 钼 1范围 本标准规定了钼圆片产品的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同 (或订货单)内容。 本标准适用于功率半导体器件及电真空器件等用钼圆片。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件 GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划 GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法 GB/T4325（所有部分）钼化学分析方法 YS/T660—2007 钼及钼合金加工产品牌号和化学成分 3要求 3.1产品分类 3.1.1 产品的牌号和状态见表1。 表 1 规格/mm 牌号 供货状态 制造方法举例 直径 厚度 毛坏（M)，退火态 冲裁-切割 ≥4.0 ≥0.6 喷砂车边（P)，退火态 喷砂-车边 ≥4.0 ≥0.6 Mol,Mo2 粗磨车边（C)，退火态 粗磨-车边 ≥10.0 ≥0.6 精磨车边（J)，退火态 精磨-车边 ≥10.0 ≥0.6 精轧电火花切割（D)，退火态 精轧-线切割 ≥4.0 ≥0.1 Mol 研磨车边（Y)，退火态 研磨-车边 ≥15.0 ≥0.9 3.1.2产品型号表示方法 产品型号按产品牌号、供货状态和尺寸规格的顺序表示并标记，标记示例如下： 示例1： 公称直径为20mm，厚度为2mm的Mol牌号的毛坏钼圆片产品表示为： Mo1M20X2.0 示例2： 公称直径为45mm，厚度为3mm的Mo2牌号的喷砂车边钼圆片表示为： Mo2P45X3.0。 GB/T14592—2014 示例3： 公称直径为80mm，厚度为4mm的Mol牌号的粗磨车边圆片表示为： Mo1C80X4.0。 示例4： 公称直径为55mm，厚度为2.5mm的Mo1牌号的精磨钼圆片表示为： Mo1J55X2.5。 示例5： 公称直径为55mm，厚度为2.5mm的Mo1牌号的电火花切割钼圆片表示为： Mo1D55X2.5。 示例6： 公称直径为30mm，厚度为4mm的Mol牌号的研磨车边钼圆片产品表示为： Mo1Y30X4.0 3.2 化学成分 产品的化学成分应符合YS/T660—2007中Mo1,Mo2牌号的要求。 3.3 密度 钼圆片的密度不小于10.0g/cm。 3.4 尺寸及其允许偏差 3.4.1 产品直径及其允许偏差见表2，厚度及其允许偏差见表3。 表 2 单位为毫米 直径允许偏差 直径范围 毛坏 车边 电火花线切割 4~10 ±0.10 ±0.10 >10~20 ±0.10 0.10 ±0.10 >20~30 ±0.12 -0.10 ±0.10 >30~50 ±0.14 -0.10 ±0.10 >50~80 ±0.16 -0.10 ±0.10 >80 ±0.16 -0.10 ±0.10 注：其他直径产品公差由供需双方协商确定。 表3 单位为毫米 厚度允许偏差 厚度范围 毛坏，喷砂 粗磨 精磨 研磨 0.10~0.60 ±0.04 +0.1 >0.60~2.00 ±0.12 ±0.10 ±0.08 +0.1 >2.00~3.00 ±0.15 ±0.10 ±0.08 +0.1 >3.00~4.00 ±0.17 ±0.12 ±0.10 +0.1 >4.00~6.00 ±0.20 ±0.14 ±0.10 +0.1 注：其他厚度产品公差由供需双方协商确定。 2 GB/T14592—2014 3.4.2毛坏产品平面度不大于0.100mm；粗磨产品平面度不大于0.025mm；精磨产品平面度不大于 0.015mm；研磨产品平面度不大于0.010mm。 3.4.3粗磨产品表面平行度不大于0.030mm；精磨产品表面平行度不大于0.020mm；研磨产品的表面 平行度不大于0.010mm。 3.5外观质量 3.5.1产品表面不允许有鼓泡、夹杂、裂纹及超出厚度允许偏差的斑点、凹坑、划伤。 3.5.2产品边缘应整齐，不允许有分层、崩边现象，允许有局部的轻微的不超过允许偏差的冲痕和小 毛刺。 3.5.3 喷砂产品表面砂痕均匀，无目视可见的斑点、氧化点和残存砂痕。 3.5.4 磨光产品表面粗糙度及表面缺陷应符合表4规定。 表 4 表面粗糙度Ra/μm 周边粗糙度Ra/μm 表面缺陷 品种 不大于 尺寸/mm 间距/mm 数量/个 粗磨 6.3 6.3 精磨 1.6 6.3 ≥0.30 <5 $0.4X0.1 研磨 0.63 6.3 3.6 腐蚀性能 产品经过腐蚀检测后，表面无亮点凹坑缺陷产生，边缘无分层现象产生。 4试验方法 4.1 化学成分分析方法 产品的化学成分分析按照GB/T4325的规定进行 SAC 4.2 密度检测方法 产品的密度测定按照GB/T3850的规定进行。 4.3 尺寸及其允许偏差测量方法 4.3.1产品的直径和厚度测量采用相应精度的量具测量。 4.3.2产品的平面度检测应将钼圆片放在平台上，采用相应精度的量具进行。 4.3.3产品的平行度用精度0.010mm的千分尺测量，在相互垂直的方向测量4点，任意两点的差值不 得超过平行度要求。 4.4外观质量检测方法 产品的外观质量用目视法进行检测；粗糙度采用对比块检测。 3