ICS 23.160 J 78 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32218—2015 真空技术 真空系统漏率测试方法 Vacuum technology-Test methods for leak rates of vacuum system 2015-12-10发布 2017-01-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 32218—2015 目 次 前言 范围 1 规范性引用文件 2 术语和定义 3 测试原理 4 4.1 质谱法真空系统漏率测试原理 4.2静态升压法真空系统漏率测试原理 5仪器与设备 5.1 检漏仪和检漏系统 5.2 标准漏孔 5.3 真空计 5.4 氨罩 5.5 累积阀 5.6测试阀 6 测试条件 6.1 测试场地的环境要求 6.2氨气 6.3 氮气 7测试程序 7.1测试前准备 7.2氨质谱法真空系统漏率测试 7.3静态升压法真空系统漏率测试· 10 8漏率测试中断处理… 8.1氨质谱漏率测试的中断处理 8.2静态升压法漏率测试的中断处理· 测试记录与报告 9 11 9.1 测试记录 9.2测试报告· 12 参考文献 13 GB/T32218—2015 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准负责起草单位：中国空间技术研究院兰州空间技术物理研究所。 份有限公司、宁波爱发科真空技术有限公司、成都南光机器有限公司、台州环球真空设备制造有限公司、 上海惠丰石油化工有限公司、沈阳真空技术研究所。 本标准主要起草人：李得天、肖祥正、陈光奇、王荣宗、陈联、孙立臣、闫荣鑫、言继春、黄文平、刘磊、 王国东、何小波、范林东、赵计春、赵伟胜、惠泽民、王玲玲。 GB/T32218—2015 真空技术 真空系统漏率测试方法 1范围 本标准规定了利用氮质谱法和升压法对真空系统的漏率进行测试的测试原理、仪器与设备、测试条 件、测试程序、漏率测试中断处理、测试记录与测试报告。 本标准适用于真空系统（以下简称被检件）的漏率测试。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T3163真空技术术语 GB/T3864—2008工业氮 GB/T48442011纯氨、高纯氨和超纯氨 GB/T18193真空技术质谱检漏仪校准 3术语和定义 GB/T3163界定的以及下列术语和定义适用于本文件 3.1 有效最小可检漏率effectiveminimumdetectableleakrate 漏率。 注：单位为帕立方米每秒(Pa·m/s)。 3.2 累积检漏 accumulation leak test 将被检件抽空后，关闭累积阀与抽气系统隔离。当被检件外部施加一定浓度的氨气后，如果被检件 上有漏孔，在规定的累积时间内由被检件上的漏孔漏出的氮气就会累积在被检件内，使被检件内的氮分 压随累积时间而增加。在累积时间终了时打开累积阀，用氮质谱检漏仪检测被检件内氮气的分压力，从 而计算出被检件总漏率的一种检漏方法 注：它是一种用来检测微小漏孔的氨质谱泄漏检测方法。 3.3 气的浓度 heliumconcentration 在混合气体中，氮气分压力与混合气体总压力的比值。 4测试原理 4.1氮质谱法真空系统漏率测试原理 喷枪或氮罩中的示漏氮气通过漏孔进入被检件内，并被引入检漏仪，引起检漏仪输出指示的变化 1 GB/T 32218—2015 将该变化值与安装在被检件上的标准漏孔在检漏仪上引起的输出指示变化值进行比较，确定真空系统 被检件的漏率。 4.2 静态升压法真空系统漏率测试原理 当被检件容积不变且已知时，在静态条件下，测量在一定时间内被检件容积中压力升高值，然后通 过计算得到被检件的漏率。 5 仪器与设备 5.1 检漏仪和检漏系统 检漏仪的最小可检漏率，应满足被检件漏率测试要求 检漏系统的有效最小可检漏率应不大于被检件允许漏率的1/10。 5.2 标准漏孔 标准漏孔要求如下： a） 应选用真空标准漏孔，其标定值应与被检件充许漏率接近； b) 在校准或检定有效期内使用； c) 根据漏率测试方法不同，选用不同类型的真空标准漏孔。 5.3真空计 真空计要求如下： a）真空计的量程应能满足被检件的压力测量范围； b）真空计应在检定或校准有效期内使用。 5.4氨罩 氨罩应选用对氨渗透系数小的材料制作。 5.5 累积阀 累积阀要求如下： a） 能快速开启和关闭； b) 关闭后的内漏率不应大于1×10-10Pa·m/s。 5.6 测试阀 对静态升压法中使用的测试阀的要求如下： 能快速关闭； b) 能耐高温烘烤，降低阀门的出气速率； 关闭后的内漏率不应大于1X10-10Pa·m/s。 c) 6 6测试条件 6.1 测试场地的环境要求 测试场地的环境要求如下： 2