(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123447767.3 (22)申请日 2021.12.3 0 (73)专利权人 无锡博纳航自动化科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市滨湖区马山迎 晖路8号 (72)发明人 赵辉　 (51)Int.Cl. B24B 29/02(2006.01) B24B 47/20(2006.01) B24B 41/06(2012.01) B24B 47/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种具有防偏移结构的多晶硅磨面加工用 抛光设备 (57)摘要 本实用新型属于多晶硅加工领域， 具体的说 是一种具有防偏移结构的多晶硅磨面加工用抛 光设备， 包括抛光固定架、 调节槽、 滑块和防偏移 单元； 所述抛光固定架上对称开设有调节槽； 所 述调节槽内扣合滑动连接有滑 块； 所述滑块上设 有防偏移单元； 所述防偏移单元包括夹持联动 板、 第一防护管和第一调节轴； 通过调节滑动块 在滑轨上的高度， 即可改变抛光机的高度， 从而 适配不同厚度的多晶硅片 进行抛光， 通过扳手套 接六角柱即可转动开设外螺纹相反的螺纹轴， 带 动两个联动块、 滑块和夹持联动板相对运动， 从 而可以稳定平行的夹持多晶硅片， 从而防止多晶 硅片在抛光的过程中偏移， 保证了抛光的精度和 效果。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 216967379 U 2022.07.15 CN 216967379 U 1.一种具有防偏移结构的多晶硅磨面加工用抛光设备， 其特征在于： 包括抛光固定架 （1） 、 调节槽 （2） 、 滑 块 （3） 和防偏移单元； 所述抛光固定架 （1） 上对称开设有调节槽 （2） ； 所述 调节槽 （2） 内扣合滑动连接有滑 块 （3） ； 所述滑 块 （3） 上设有防偏移单元； 所述防偏移单元包 括夹持联动板 （4） 、 第一防护管 （5） 和第一调节轴 （6） ； 所述滑块 （3） 上固接有夹持联动板 （4） ； 所述夹持联动板 （4） 上均匀间隔开孔螺纹固接有多个第一调节轴 （6） ； 所述第一调节轴 （6） 的上端套接有第一防护管 （5） ； 所述滑 块 （3） 的下端固接有 联动块 （7） ； 所述联动块 （7） 上 开孔螺纹插接有螺纹轴 （8） ； 所述螺纹轴 （8） 上对称转动连接有悬空板 （9） ； 所述悬空板 （9） 固接在抛光固定架 （1） 的下表面； 所述螺纹轴 （8） 的一侧固接有六角柱 （10） ； 所述抛光固定 架 （1） 的上表面中心位置固接有中心支撑板 （11） ； 所述抛光固定架 （1） 上固接有滑轨 （20） ； 所述滑轨 （20） 上扣合滑动连接有滑动块 （28） ； 所述滑动块 （28） 上固接有抛光机 （21） 。 2.根据权利要求1所述的一种具有防偏移结构的多晶硅磨面加工用抛光设备， 其特征 在于： 所述抛光机 （21） 的上端可拆卸固接有两个扣合板 （22） ； 所述扣合板 （22） 内转动插接 有螺纹柱 （23） ； 所述螺纹柱 （23） 螺纹插接在抛光固定架 （1） 内； 所述螺纹柱 （23） 上螺纹套接 有螺母 （24） 。 3.根据权利要求2所述的一种具有防偏移结构的多晶硅磨面加工用抛光设备， 其特征 在于： 所述抛光固定架 （1） 的上表面可拆卸固接有多个可拆支撑板 （12） ； 所述可拆支撑板 （12） 、 抛光固定架 （1） 和中心 支撑板 （11） 上均开设有 多个漏水孔 （13） 。 4.根据权利要求3所述的一种具有防偏移结构的多晶硅磨面加工用抛光设备， 其特征 在于： 所述抛光固定架 （1） 的上表 面对称开设有辅助槽 （14） ； 所述辅助槽 （14） 内扣合滑动连 接有辅助板 （15） 。 5.根据权利要求4所述的一种具有防偏移结构的多晶硅磨面加工用抛光设备， 其特征 在于： 所述辅助板 （15） 上开孔螺纹固接有多个紧固件 （16） ； 所述辅助板 （15） 上开孔螺纹固 接有第二调节轴 （18） ； 所述第二调节轴 （18） 上套接有第二防护管 （17） 。 6.根据权利要求5所述的一种具有防偏移结构的多晶硅磨面加工用抛光设备， 其特征 在于： 所述抛光固定架 （1） 的上表 面可拆卸固接有防护框 （19） ； 所述可拆支撑板 （12） 的数量 为两组八片。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216967379 U 2一种具有防偏移 结构的多晶硅磨面加工用抛光设 备 技术领域 [0001]本实用新型涉及多晶硅加工领域， 具体是一种具有防偏移结构的多晶硅磨面加工 用抛光设备。 背景技术 [0002]抛光是指通过物理或者化学的方式使得物体表面的粗糙度降低的方法， 工业中抛 光是对产品的精加工， 提升产品的质感。 [0003]多晶硅是重要的半导体材料， 可以用于制造电子产品， 经常用于电子工业中， 制造 电子产品， 是电子行业中最常用的材 料。 [0004]现有的抛光设备， 在抛光多晶硅片时， 会在抛光的过程中使得多晶硅片产品偏移， 从而降低了多晶硅片的抛光精度和抛光效果； 因此， 针对上述问题提出一种 具有防偏移结 构的多晶硅磨面加工用抛光设备。 实用新型内容 [0005]为了弥补现有技术的不足， 解决现有的抛光设备， 在抛光多晶硅片时， 会在抛光的 过程中使得多晶硅片产品偏移， 从而降低了多晶硅片的抛光精度和抛光效果的问题， 本实 用新型提出一种具有防偏移结构的多晶硅磨面加工用抛光设备。 [0006]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是： 本实用新型所述的一种具有防 偏移结构的多晶硅磨面加工用抛光设备， 包括抛光固定架、 调节槽、 滑块和防偏移单元； 所 述抛光固定架上对称开设有调节槽； 所述调节槽内扣合滑动连接有滑块； 所述滑块上设有 防偏移单元； 所述防偏移单元包括夹持联动板、 第一防护管和 第一调节轴； 所述滑块上固接 有夹持联动板； 所述夹持联动板上均匀间隔开孔螺纹固接有多个第一调节轴； 所述第一调 节轴的上端套接有第一防护管； 所述滑块的下端固接有联动块； 所述联动块上开孔螺纹插 接有螺纹轴； 所述螺纹轴 上对称转动连接有悬空板； 所述悬空板固接在抛光固定架的下表 面； 所述螺纹轴的一侧固接有六角柱； 所述抛光固定架的上表面中心位置固接有中心支撑 板； 所述抛光固定架上固接有滑轨； 所述滑轨上扣合滑动连接有滑动块； 所述滑动块上固接 有抛光机； 从而防止多晶硅片在抛光的过程中偏移， 保证了抛光的精度和效果。 [0007]优选的， 所述抛光机 的上端可拆卸固接有两个扣合板； 所述扣合板内转动插接有 螺纹柱； 所述螺纹柱螺纹插接在抛光固定架内； 所述螺纹柱上螺纹套接有螺母； 从而调节抛 光的高度和深度， 通过扣合板使得螺纹柱的上 下调节不会影响抛光机的角度。 [0008]优选的， 所述抛光固定架的上表面可拆卸固接有多个可拆支撑板； 所述可拆支撑 板、 抛光固定架和中心支撑板上均开设有多个漏水孔； 从而保持多晶硅片表面的清洁， 通过 多个可拆支撑 板， 从而可以扩大中心 支撑板的支撑面积。 [0009]优选的， 所述抛光固定架的上表面对称开设有辅助槽； 所述辅助槽内扣合滑动连 接有辅助板； 通过辅助槽使得辅助板的位移可以等到有效的保证精度， 同时使得调节方便 。 [0010]优选的， 所述辅助板上开孔螺纹固接有多个紧固件； 所述辅助板上开孔螺纹固接说　明　书 1/4 页 3 CN 216967379 U 3