(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222061875.5 (22)申请日 2022.08.02 (73)专利权人 浙江芯晖装备技 术有限公司 地址 314499 浙江省嘉兴 市海宁市海昌街 道海宁经济开发区漕河泾路17号0 3幢 (72)发明人 杨兆明　王东洁　曾文昌　中原司　 (74)专利代理 机构 北京集佳知识产权代理有限 公司 11227 专利代理师 夏菁 (51)Int.Cl. B01F 23/40(2022.01) B01F 35/75(2022.01) (54)实用新型名称 一种药液供给设备 (57)摘要 本实用新型涉及半导体领域， 特别是公开了 一种药液供给设备， 包括单个过滤柜、 单个电控 柜、 单个气 控柜、 集成处理器及上药模块； 所述上 药模块分别与所述过滤柜、 所述电控柜及所述气 控柜相连； 所述上药模块包括原液供给端、 纯水 供给端、 多个配比供给组件及供给泵； 所述原液 供给端及所述纯水供给端与所述配比供给组件 通过管道相连， 所述配比供给组件通过所述供给 泵输出配比好的药液； 所述集 成处理器 分别与所 述过滤柜、 所述电控柜、 所述气控柜及所述上药 模块信号连接。 本实用新型将多个配比供给组件 整合到一台设备中， 实现了不同的配比供给组件 可以分别供给不同药液， 大大降低了供给多种药 液所需要的空间， 进而降低了半导体器件的生产 成本。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 217662617 U 2022.10.28 CN 217662617 U 1.一种药液供给设备， 其特征在于， 包括单个过滤柜、 单个电控柜、 单个气控柜、 集成处 理器及上 药模块； 所述上药模块分别与所述过 滤柜、 所述电控柜及所述气控柜相连； 所述上药模块包括原液供给端、 纯水供给端、 多个配比供给组件及供给泵； 所述原液供 给端及所述纯水供给端与所述配比供给 组件通过管道相连， 所述配比供给 组件通过所述供 给泵输出配比好的药 液； 所述集成处理器分别与所述过滤柜、 所述电控柜、 所述气控柜及所述上药模块信号连 接。 2.如权利要求1所述的药液供给设备， 其特征在于， 单个所述配比供给组件包括至少一 个配比桶和至少一个供 给桶。 3.如权利要求1所述的药液供给设备， 其特征在于， 单个所述配比供给组件包括至少两 个配比供给桶。 4.如权利要求1至3任一项所述的药液供给设备， 其特征在于， 所述药液供给设备为一 体化设备。 5.如权利要求 4所述的药 液供给设备， 其特 征在于， 所述药 液供给设备为全封闭设备。 6.如权利要求4所述的药液供给设备， 其特征在于， 所述气控柜与所述电控柜之间设置 有隔水层。 7.如权利要求4所述的药液供给设备， 其特征在于， 所述气控柜与所述电控柜设置于所 述药液供给设备的第一侧面， 所述过 滤柜设置 于所述药 液供给设备的第二侧面。 8.如权利要求4所述的药液供给设备， 其特征在于， 所述药液供给设备的动力 接口设置 于所述药 液供给设备的顶部 。 9.如权利要求 4所述的药 液供给设备， 其特 征在于， 还 包括漏液排 放口； 所述漏液排 放口设置 于所述药 液供给设备的底部 。 10.如权利要求9所述的药 液供给设备， 其特 征在于， 还 包括漏液报警器。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217662617 U 2一种药液供给设 备 技术领域 [0001]本实用新型 涉及半导体领域， 特别是 涉及一种药 液供给设备。 背景技术 [0002]半导体行业很多工序需要用到各种化学药液， 且化学药液多为浓度较高 的酸性或 碱性液体， 具有较强的腐蚀性和危险性。 现阶段市场上 的化学原液大多是按一定体积罐装 好的标准品， 所以需要一套将罐装原液按一定比例稀释或混合后再输送的药液供给设备。 依据生产工艺的不同， 在单一生产流程中可能同时要求多种 药液； 同时半导体行业内工厂 车间大多是 无尘车间， 单位 面积的使用成本较为昂贵， 对设备尺寸有着较为 严苛的要求。 [0003]但是， 现有药液供给设备大多是单一药液供给， 在 应对多种药液需求时， 只能增加 设备数量， 占用更多的空间， 直接增 加了工厂的设备使用成本 。 [0004]因此， 如何找到一种低空间占用， 且能同时供给多种药液的设备， 是本领域技术人 员亟待解决的问题。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的是提供一种药液供给设备以解决现有技术中如果需要供给多 种药液， 则需要大量空间设置多个药 液供给设备的问题。 [0006]为解决上述技术问题， 本实用新型提供一种药液供给设备， 包括单个过滤柜、 单个 电控柜、 单个气控柜、 集成处 理器及上 药模块； [0007]所述上药模块分别与所述过 滤柜、 所述电控柜及所述气控柜相连； [0008]所述上药模块包括原液供给端、 纯水供给端、 多个配比供给组件及供给泵； 所述原 液供给端及所述纯水供给端与所述配比供给 组件通过管道相连， 所述配比供给 组件通过所 述供给泵输出配比好的药 液； [0009]所述集成处理器分别与所述过滤柜、 所述电控柜、 所述气控柜及所述上药模块信 号连接。 [0010]可选地， 在所述的药液供给设备中， 单个所述配比供给组件包括至少一个配比桶 和至少一个供 给桶。 [0011]可选地， 在所述的药液供给设备中， 单个所述配比供给组件包括至少两个配比供 给桶。 [0012]可选地， 在所述的药 液供给设备中， 所述药 液供给设备为 一体化设备。 [0013]可选地， 在所述的药 液供给设备中， 所述药 液供给设备为全封闭设备。 [0014]可选地， 在所述的药 液供给设备中， 所述气控柜与所述电控柜之间设置有隔水层。 [0015]可选地， 在所述的药液供给设备中， 所述气控柜与所述电控柜设置于所述药液供 给设备的第一侧面， 所述过 滤柜设置 于所述药 液供给设备的第二侧面。 [0016]可选地， 在所述的药液供给设备中， 所述药液供给设备的动力接口设置于所述药 液供给设备的顶部 。说　明　书 1/4 页 3 CN 217662617 U 3