(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202111616645.4 (22)申请日 2021.12.28 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 114308865 A (43)申请公布日 2022.04.12 (73)专利权人 江苏英思特半导体科技有限公司 地址 226500 江苏省南 通市如皋市城南 街 道新源北路8号1 1号厂房 （1-2层） (72)发明人 管选伟　孙国浩　 (74)专利代理 机构 北京和信华成知识产权代理 事务所(普通 合伙) 11390 专利代理师 何思理 (51)Int.Cl. B08B 3/10(2006.01) B08B 13/00(2006.01)审查员 周占明 (54)发明名称 一种用于 硅芯清洗的旋转 花篮 (57)摘要 本发明公开了一种用于硅芯清洗的旋转花 篮， 其结构包括旋转轴， 其结构还包括若干固定 圆盘， 旋转轴的两端划分有对称的固定区， 两个 固定区之间设有工位区， 固定圆盘的中心位置设 有可转动的调节圈， 调节圈螺纹连接在外螺纹上 且使得若干固定圆盘的位置可沿着旋转轴的长 度方向进行自由调节， 固定圆盘的圆面上设有若 干可拆卸的固定槽， 固定槽的口径大于硅芯的口 径， 固定圆盘和调节圈的连接处设有分度定位 件， 调节圈的两端设有对称的固定管， 固定管的 直径大于旋转轴的直径， 相邻两个固定管之间设 有连接件， 连接件使得若干调节圈连为一体， 固 定区均设有和固定管连接的固定件， 本发明实现 了硅芯的无接触点清洗， 提高了硅芯的清洗效 果。 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 CN 114308865 B 2022.12.09 CN 114308865 B 1.一种用于硅芯清洗的旋转花篮， 其结构包括旋转轴(1)， 其特征在于： 其结构还包括 若干固定圆盘(2)， 所述旋转轴(1)的两端划分有对称的固定区(101)， 两个所述固定区 (101)之间设有工位区(102)， 所述旋转轴(1)沿着长度方向设有外螺纹(11)， 所述外螺纹 (11)位于所述工位区(102)的内部， 所述固定圆盘(2)的中心位置设有可转动的调节圈(3)， 所述调节圈(3)螺纹连接在所述外螺纹(11)上且使得若干固定圆盘(2)的位置可沿着所述 旋转轴(1)的长度方向进 行自由调节， 所述固定圆盘(2)的圆面上设有若干可拆卸的固定槽 (103)， 所述固定槽(103)的口径大于硅芯的口径， 所述固定 圆盘(2)和所述调节圈(3)的连 接处设有分度定位件(4)， 所述分度定位件(4)使得若干固定槽(103)从左到右均在同一条 水平线上； 所述调节圈(3)的两端设有对称的固定管(31)， 所述固定管(31)的直径大于所述旋转 轴(1)的直径， 相 邻两个所述固定管(31)之间设有 连接件(5)， 所述连接件(5)使 得若干所述 调节圈(3)连为 一体， 所述固定区(101)均设有和所述固定管(31)连接的固定件(6)； 所述分度定位件(4)包括设置在所述固定圆盘(2)上的定位孔(41)以及设置在所述调 节圈(3)上的指针(42)， 所述指针(42)的端部向外延伸有定位杆(421)， 所述定位杆(421)的 端部设有朝向所述固定圆盘(2)的定位凸起(422)， 所述定位凸起(422)对准嵌入所述定位 孔(41)使得若干固定 槽(103)从左到右均在同一条 水平线上。 2.根据权利要求1所述的一种用于硅芯清洗的旋转花篮， 其特征在于： 所述固定圆盘 (2)上被分切为若干圆弧面(21)以及异形盘(22)， 若干所述圆弧面(21)可拆卸的连接在所 述异形盘(22)上， 若干所述固定槽(103)形成在所述圆弧面(21)和所述异形盘(22)的连接 处。 3.根据权利要求2所述的一种用于硅芯清洗的旋转花篮， 其特征在于： 若干所述固定槽 (103)呈波浪形分布在所述圆弧面(21)和所述异形盘(2 2)的连接处。 4.根据权利要求1所述的一种用于硅芯清洗的旋转花篮， 其特征在于： 所述连接件(5) 包括两个第一伸缩杆(51)以及 对称设置两个所述第一伸缩 杆(51)之间的连接套箍(52)， 所 述连接套箍(52)用于 夹紧所述固定管(31)。 5.根据权利要求1所述的一种用于硅芯清洗的旋转花篮， 其特征在于： 所述固定件(6) 包括设置在所述固定 区(101)的限位圆盘(61)以及夹紧套箍(62)， 所述限位圆盘(61)上设 有两个对称的第二伸缩杆(611)， 所述第二伸缩杆(611)的延伸方向朝向所述固定圆盘(2)， 所述夹紧套箍(62)固定在两个所述第二伸缩杆(611)之间， 所述夹紧套箍(62)用于夹紧固 定所述固定管(31)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114308865 B 2一种用于硅芯清洗的旋转花篮 [0001]技术领域： [0002]本发明涉及 一种硅料加工设备的生产技术领域， 尤其是一种用于硅芯清洗的旋转 花篮。 [0003]背景技术： [0004]现有技术中， 硅芯清洗花篮主要分为静态清洗花篮和旋转花篮， 其中静态花篮在 清洗硅芯时会有较多的接触点， 导致硅芯的清洗效果差， 而旋转花篮在清洗硅芯时是一个 动态的过程中， 可以将硅 芯充分和酸洗液接触， 硅 芯的接触点较少， 能够较大幅度的调高硅 芯的清洗效果， 然而在旋转花篮的转动过程中， 为了保证保证硅 芯在动态转动时保持稳定， 需要将硅芯的端部进行固定， 而硅芯的端部会被旋转花篮上 的固定位置覆盖， 这就导致硅 芯端部的固定点存在清洗盲区， 同样也会影响硅芯清洗的效果， 而且为了硅芯在旋转花篮 的固定方便， 同一个旋转花篮上只能针对同一个规格的硅芯进行固定， 而这种单一规格的 固定方式在实际的硅芯清洗时也具有一定的局限性。 [0005]发明内容： [0006]本发明的目的提供一种用于硅芯清洗的旋转花篮， 解决上述现有技术问题中的一 个或者多个。 [0007]为解决上述技术问题， 本发明提供一种用于硅芯清洗 的旋转花篮， 其结构包括旋 转轴， 其创新点在于： 其结构还包括若干固定圆盘， 旋转轴的两端划分有对称的固定区， 两 个固定区之间设有工位区， 旋转轴沿着长度方向设有外螺纹， 外螺纹位于工位区的内部， 固 定圆盘的中心位置 设有可转动的调节圈， 调节圈螺纹连接在外螺纹上且使得若干固定圆盘 的位置可沿着旋转轴的长度方向进行自由调节， 固定圆盘的圆面上设有若干可拆卸的固定 槽， 固定槽的口径大于硅 芯的口径， 固定圆盘和调节圈的连接处设有分度定位件， 分度定位 件使得若干固定 槽从左到右均在同一条 水平线上； [0008]调节圈的两端设有对称的固定管， 固定管的直径大于旋转轴的直径， 相邻两个固 定管之间设有连接件， 连接件使得若干调节圈连为一体， 固定区均设有和固定管连接的固 定件。 [0009]进一步的， 上述固定圆盘上被分切为若干圆弧面以及异形盘， 若干圆弧面可拆卸 的连接在异形盘上， 若干固定 槽形成在圆弧面和异形盘的连接处。 [0010]进一步的， 若干固定 槽呈波浪形分布在圆弧面和异形盘的连接处。 [0011]进一步的， 上述分度定位件包括设置在固定圆盘上的定位孔以及设置在调节圈上 的指针， 指针的端部向外延伸有定位杆， 定位杆的端部 设有朝向固定圆盘的定位凸起， 定位 凸起对准嵌入定位 孔使得若干固定 槽从左到右均在同一条 水平线上。 [0012]进一步的， 上述连接件包括两个第一伸缩杆以及对称设置两个第一伸缩杆之间的 连接套箍， 连接套箍用于 夹紧固定管。 [0013]进一步的， 上述固定件包括设置在固定区的限位圆盘以及夹紧套箍， 限位圆盘上 设有两个对称的第二伸缩杆， 第二伸缩杆的延伸方向朝向固定圆盘， 夹紧套箍固定在第二 伸缩杆之间， 夹紧套箍用于 夹紧固定固定管。说　明　书 1/4 页 3 CN 114308865 B 3