(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202111614314.7 (22)申请日 2021.12.27 (71)申请人 张家港博佑光电科技有限公司 地址 215611 江苏省苏州市张家港市塘桥 镇兄华路7号张家港博佑光电科技有 限公司 (72)发明人 徐晓斌　朱腾骏　李正清　潘长亮　 (74)专利代理 机构 北京汇捷知识产权代理事务 所(普通合伙) 11531 专利代理师 于鹏 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 3/04(2006.01) B08B 3/08(2006.01) B08B 3/10(2006.01)B08B 13/00(2006.01) F26B 21/00(2006.01) (54)发明名称 一种石墨舟清洗 工艺 (57)摘要 本发明公开了一种石墨舟清洗工艺， 包括以 下步骤， 拆舟， 使用酸洗液对石墨舟进行洗涤， 酸 洗液为氢氟酸和双氧水的混合溶液， HF与H2O2的 配槽比例为1:2， 水洗至中性， 干燥， 装舟和， 饱 和。 本发明的清洗工艺能有效去除石墨舟表面的 杂质， 提高了石墨舟表面的洁净度， 降低因石墨 舟清洗不到位而导致的硅片返工比例； 同时能够 延长石墨舟的使用寿命， 降低石墨舟的损耗； 石 墨舟酸洗 液配比起到了促进反应的作用， 缩短了 清洗时间； 石墨舟清洗方法工艺操作简单， 清洗 成本较低， 适用性广。 权利要求书1页 说明书3页 CN 114433541 A 2022.05.06 CN 114433541 A 1.一种石墨舟清洗 工艺， 其特 征在于， 具体工艺 步骤如下： 步骤1： 将待酸洗的石墨舟四周螺母松开， 进入步骤2； 步骤2： 将步骤1所得的石墨舟放入清洗机的清洗槽中， 使用酸洗液进行洗涤， 酸洗液为 氢氟酸和双氧水的混合溶液， 所述酸洗液中， HF与H2O2的配槽比例为1:2， 石墨舟完全放入 清洗机的清洗 槽后， 对石墨舟开始浸泡清洗， 石墨舟浸泡清洗的时间为 4‑6h， 进入步骤3； 步骤3： 将步骤2所得洗涤后的石墨舟取出， 放入纯水清洗槽进行多次水洗， 待水洗完毕 后， 使用水枪对石墨舟角落进行冲洗， 使 石墨舟取出时没有氮化硅残留， 进入步骤4； 步骤4： 将步骤3所得的石墨舟抬至待吹干平台， 使用风枪将石墨舟每个位置吹扫至没 有脏污、 水分残留， 然后将石墨舟抬进烘 箱内， 打开烘 箱进行烘干， 进入步骤5； 步骤5： 将步骤4所 得烘干后的石墨舟抬至校 舟器进行 校准后， 进入步骤6； 步骤6： 将步骤6所 得的石墨舟放入镀膜机中运行饱和工艺， 进行饱和操作。 2.如权利要求1所述的一种石墨舟清洗工艺， 其特征在于： 所述步骤2中HF与H2O2混合 后进行鼓泡， 鼓泡的气源为 N2。 3.如权利要求1所述的一种石墨舟清洗工艺， 其特征在于： 所述步骤3中石墨舟在每次 清洗后， 需要对清洗后的水进行pH值测试， 直至清洗水pH值呈中性。 4.如权利要求1所述的一种石墨舟清洗工艺， 其特征在于： 所述步骤4中石墨舟的烘干 时间10h。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114433541 A 2一种石墨舟清洗工艺 【技术领域】 [0001]本发明涉及太阳能电池制造技 术领域， 具体涉及一种石墨舟清洗 工艺。 【背景技术】 [0002]随着光伏行业的发展和技术的不断创新， 在太阳能电池片制造过程中的镀膜工序 也由原来的板式PECVD转变为管式PECVD， 目的是在电池片表面镀上减反射膜(减反射膜成 分为氮化硅)， 增 加电池片对太阳光的吸 收， 从而提高太阳能电池片的光电转换效率。 [0003]在管式PECVD镀膜时需借助 石墨舟为载体， 而在使用次数较多时， 石墨舟表面沉积 的氮化硅较厚且分布不均匀， 这样导致太阳能电池片上沉积的氮化硅薄膜也分布不均匀， 从而导致电池片出现严重的色差问题， 目前解决此类问题大多数企业采用了石墨舟清洗和 饱和工艺， 主 要为： 在石墨舟使用约80次后， 对其进行清洗， 然后饱和处 理。 [0004]目前主要的清洗工艺主要为将石墨舟整舟放入以氢氟酸与纯水1:5的配比溶液中 浸泡清洗2小 时， 然后用纯水清洗1小时， 后烘干(烘干温度 150摄氏度， 烘干4小 时)， 烘干结 束后直接进行饱和工艺。 但现有的清洗石墨舟的工艺方法存在以下缺陷： [0005]其一溶液浓度较低且整舟清洗无法完全将石墨舟表面的氮化硅薄膜清洗干净； 其 二烘干时间较短， 无法将石墨舟内水分完全烘干； 其三饱和工艺时会将石墨卡点内部沉积 上氮化硅， 影响了石墨舟正常使用时和电池片的导电性， 镀膜色差较严重， 镀膜返工率较 高。 针对上述 提出的问题， 亟需设计出一种石墨舟清洗 工艺。 【发明内容】 [0006]为解决上述问题， 本发明的目的在于提供一种石墨舟清洗工艺， 解决了现有清洗 工艺容易较难将石墨舟表面的氮化硅薄膜清洗干净， 烘干时间较短， 无法将石墨舟内水分 完全烘干， 因整舟清洗导致饱和工艺时会将石墨卡点内部沉积上氮化硅， 影响了石墨舟正 常使用时和电池片的导电性， 镀膜色差较严重， 镀膜返工率较高的问题。 [0007]为实现上述目的， 本 发明提供如下技术方案： 一种石墨舟清洗工艺， 包括具体工艺 步骤如下： [0008]步骤1： 将待酸洗的石墨舟四周螺母松开， 进入步骤2； [0009]步骤2： 将步骤1所得的石墨舟放入清洗机的清洗槽中， 使用酸洗液进行洗涤， 酸洗 液为氢氟酸和双氧水的混合溶液， 所述酸洗液中， HF与H2O2的配槽比例为1:2， 石墨舟完全 放入清洗机的清洗槽后， 对石墨舟开始浸泡清洗， 石墨舟浸泡清洗的时间为4 ‑6h， 进入步骤 3； [0010]步骤3： 将步骤2所得洗涤后的石墨舟取出， 放入纯水清洗槽进行多次水洗， 待水洗 完毕后， 使用水枪对石墨舟角落进行冲洗， 使 石墨舟取出时没有氮化硅残留， 进入步骤4； [0011]步骤4： 将步骤3所得的石墨舟抬至待吹干平台， 使用风枪将石墨舟每个位置吹扫 至没有脏 污、 水分残留， 然后将石墨舟抬进烘 箱内， 打开烘 箱进行烘干， 进入步骤5； [0012]步骤5： 将步骤4所 得烘干后的石墨舟抬至校 舟器进行 校准后， 进入步骤6；说　明　书 1/3 页 3 CN 114433541 A 3