(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202111647490.0 (22)申请日 2021.12.3 0 (71)申请人 湖南科技大 学 地址 411201 湖南省湘潭市雨湖区石码头2 号 (72)发明人 邓源　王振生　王文韫　吴上阿蒙 　 李海星　易轶杰　 (74)专利代理 机构 长沙和诚容创知识产权代理 事务所(普通 合伙) 43251 代理人 刘明玉 (51)Int.Cl. B08B 3/04(2006.01) B08B 3/08(2006.01) B08B 13/00(2006.01) F26B 5/04(2006.01)F26B 23/00(2006.01) (54)发明名称 硅料清洗系统 (57)摘要 本发明涉一种硅料清洗系统。 硅料清洗系统 包括清洗 料篮组件、 清洁装置、 漂洗装置、 加热装 置、 干燥装置及转运机器人。 清洁装置、 漂洗装 置、 加热装置及干燥装置均包括硅料清洗单元， 并依次围绕转运机器人布设。 硅料清洗单元包括 壳体、 自动封盖组件及旋转组件。 自动封盖组件 包括盖体及封盖驱动件。 封盖驱动件用于驱动盖 体相对于壳体翻转， 以密封盖合或打开进出料 口。 旋转组件包括转盘及旋转驱动件。 旋转驱动 件用于提供一驱使转盘自转的驱动力。 干燥装置 还包括抽真空机构。 转运机器人用于将清洗料篮 组件放入壳体内并定位在定位部上， 还用于将清 洗料篮组件从定位部上取下并抓取出壳体。 上述 硅料清洗系统具有较高的稳定可靠性和较小的 占地面积。 权利要求书2页 说明书8页 附图4页 CN 114289390 A 2022.04.08 CN 114289390 A 1.一种硅料清洗系统， 其特征在于， 包括清洗料篮组件、 用于利用混酸溶液或碱溶液清 洗硅料表面杂质的清洁装置、 用于利用自来水或纯水漂洗硅料上的残酸或残碱的漂洗装 置、 用于对清洗后的硅料进行纯水水浴加热 的加热装置、 用于对加热后的硅料进行真空干 燥的干燥装置及转 运机器人； 所述清洗料篮组件用于存放及清洗 硅料； 所述清洁装置、 所述漂洗装置、 所述加热装置及所述干燥装置均包括硅料清洗单元， 并 依次围绕所述 转运机器人布设； 所述硅料清洗单 元包括壳体、 自动封 盖组件及旋转组件； 所述壳体为顶端具有 进出料口的中空结构； 所述自动封盖组件包括盖体及封盖驱动件； 所述盖体可翻转地安装在所述壳体上； 所 述封盖驱动件用于驱动所述盖体相对于所述壳体翻转， 以密封 盖合或打开所述进出 料口； 所述旋转组件包括可转动地安装于所述壳体内底部的转盘及安装于所述壳体上的旋 转驱动件； 所述旋转驱动件用于提供一驱使所述转盘 自转的驱动力； 所述转盘上设有定位 部； 所述干燥装置还包括安装于所述壳体上的抽真空机构； 所述抽真空机构用于使所述干 燥装置的所述壳体内达 到预设真空度； 所述转运机器人用于将所述清洗料篮组件放入所述壳体 内并定位在所述定位部上， 还 用于将所述清洗料篮组件从所述定位部上 取下并抓取 出所述壳体。 2.根据权利要求1所述的硅料清洗系统， 其特征在于， 所述壳体包括底板、 顶板及侧板； 所述底板与所述顶板间隔设置； 所述侧板沿所述底板的周向设置， 并密封连接于所述顶板 与所述侧板之 间； 所述底板、 所述顶板及所述侧板围设形成所述壳体； 所述顶板开设有所述 进出料口； 所述 转盘可转动地 安装于所述底板上。 3.根据权利要求1所述的硅料清洗系统， 其特征在于， 所述封盖驱动件为驱动气缸； 所 述自动封盖组件还包括安装于所述壳体上的翻转座； 所述盖体的一端 可转动地安装于所述 翻转座上； 所述驱动 气缸的两端分别与所述盖体背离所述转盘的一侧及所述翻转座活动连 接。 4.根据权利要求1所述的硅料清洗系统， 其特征在于， 所述定位部为多个间隔开设于所 述转盘上的 限位孔； 所述清洗料篮组件的底部形成有多个分别与多个所述限位孔一一对应 并相互匹配的定位 块。 5.根据权利要求4所述的硅料清洗系统， 其特征在于， 所述转盘朝向所述进出料口的一 侧还设有多个导向件； 多个所述导向件沿所述转盘的周向间隔设置， 并用于将所述清洗料 篮组件导向至所述定位 块插入所述定位 孔内。 6.根据权利要求1所述的硅料清洗系统， 其特征在于， 所述转盘包括固设于所述壳体 内 底部的支撑座、 可转动地安装于所述支撑座上的底盘及与所述底盘平行且间隔设置的齿轮 盘； 所述齿轮盘位于所述底盘背离所述支撑座的一侧， 并通过多个支撑棒7316与所述底盘 固定连接； 所述定位部设置于所述齿轮盘背离所述支撑座的一侧； 所述旋转驱动件通过传 动件与所述齿轮 盘传动连接， 用于驱动所述齿轮 盘自转。 7.根据权利要求6所述的硅料清洗系统， 其特征在于， 所述旋转驱动件为驱动电机； 所 述驱动电机安装于所述壳体的外部； 所述壳体的侧 壁开设有安装孔； 所述驱动电机的输出 轴可转动且密封穿设于所述 安装孔；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114289390 A 2所述传动件包括传动轴、 中间轴、 第一传动齿轮、 第二传动齿轮及第三传动齿轮； 所述 传动轴及所述中间轴均可转动地安装于所述壳体内； 所述传动轴、 所述中间轴及所述底盘 的旋转轴线平行且间隔设置； 所述第一传动齿轮套设于所述传动轴， 并与所述传动轴传动 连接； 所述第二传动齿轮及所述第三传动齿轮间隔套设于所述中间轴 上， 并与所述中间轴 传动连接； 所述第二传动齿轮及所述第三传动齿轮分别与所述第一传动齿轮及所述齿轮盘 啮合； 所述传动轴与所述驱动电机的输出轴传动连接 。 8.根据权利要求1所述的硅料清洗系统， 其特征在于， 所述加热装置还包括安装于所述 壳体上的加热件； 所述加热件用于将所述壳体内的纯 水或自来水加热至预设温度。 9.根据权利要求1所述的硅料清洗系统， 其特征在于， 所述清洁装置及所述漂洗装置均 为两个； 两个所述清洁装置 分别被定义为用于利用混酸溶液清洗硅料表面杂质的酸洗装置 及用于利用碱溶液清洗硅料表面杂质的碱洗装置； 两个所述漂洗装置 分别被定义为用于利 用自来水漂洗残碱的第一漂洗装置及用于利用纯水漂洗残酸的第二漂洗装置； 所述碱洗装 置、 所述第一漂洗装置、 所述酸洗装置、 所述第二漂洗装置、 所述加热装置及所述干燥装置 依次围绕所述 转运机器人布设。 10.根据权利要求1所述的硅料清洗系统， 其特征在于， 还包括控制装置； 所述控制装置 分别与所述转运机器人、 每个所述旋转驱动件及每个所述封盖驱动件通信连接， 并用于分 别驱动所述转运机器人、 每个所述旋转驱动件及每个所述封盖驱动件按照预设的控制指令 运行。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114289390 A 3