(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123234184.2 (22)申请日 2021.12.21 (73)专利权人 深圳市易天半导体设备有限公司 地址 518000 广东省深圳市宝安区沙 井街 道大王山社区西部工业园办公楼5栋 一层 (72)发明人 黄招凤　陈罡彪　游燚　陈学志　 (74)专利代理 机构 深圳市中联专利代理有限公 司 44274 专利代理师 王成 (51)Int.Cl. G01N 21/88(2006.01) G01N 21/95(2006.01) G01N 21/956(2006.01) G01N 21/01(2006.01)(ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 一种AOI检测装置 (57)摘要 本实用新型属于 半导体生产设备技术领域， 具体涉及一种AOI检测装置， 包括， 机座， 还包括： 相机检测模组， 其设于机座上， 包括定位相机组 件、 检测相机组件， 用于对印制板进行定位并采 集工件的图像信息； 印制板测试模组， 其设于机 座上， 且位于相机检测模组下方， 用于将印制板 移动至相机检测模组位置。 采用以上结构， 本检 测装置使用双相机识别， 单独设有定位相机和图 片采集相机， 对位精度高， 可以适用于更小间隙 图片识别且分别完成对位及检测的功能； 与采用 单颗镜头实现定位、 采样等多项工作的模式相比 较， 本实用新型的检测装置大幅度提高了工作效 率。 权利要求书2页 说明书6页 附图9页 CN 216696100 U 2022.06.07 CN 216696100 U 1.一种AOI检测装置， 其特 征在于， 包括， 机座， 还 包括： 相机检测模组， 其设于机座上， 包括定位相机组件、 检测相机组件， 用于对印制板进行 定位并采集工件的图像信息； 印制板测试模组， 其设于机座上， 且位于相机检测模组下方， 用于将印制板移动至相机 检测模组位置 。 2.如权利要求1所述的一种AOI检测装置， 其特征在于， 所述机座包括安装底板， 设于安 装底板上 的龙门支架； 所述相 机检测模组设于龙门支架上， 印制 板测试模组设于安装底板 的上表面。 3.如权利要求2所述的一种AOI检测装置， 其特征在于， 所述相机检测模组包括， 设于龙 门支架前表 面的X向移动组件， 设于其上的Z向移动组件， 与Z向移动组件相连接的检测相机 组件、 定位相机组件。 4.如权利要求3所述的一种AOI检测装置， 其特征在于， 所述X向移动组件包括， 固设于 龙门支架前表面的X向底座， 设于X向底座上的线性马达定子及两根相互平行的X向导轨， 活 动设于两根X向导轨上的X向滑块， 与线性马达定子活动连接的线性马达动子， 背面与线性 马达动子及两根X向导轨上的X向滑块固定连接的Z向安装底板； 所述Z向移动组件包括， 与Z 向安装底板前表面固定连接的Z向滑台主板， 活动设于Z向滑台主板前表面的Z滑台副板， 下 端插设于Z滑台副板内且与其活动连接的Z向丝杆， 设于Z向滑台主板上表面的电机安装座， 设于电机安装座上且输出轴 与Z向丝杆上端相连接的Z向电机； 所述Z向滑台主板与Z滑台副 板通过两组Z向交叉滚柱 滑轨活动连接 。 5.如权利要求4所述的一种AOI检测装置， 其特征在于， 检测相机组件包括， 设于Z滑台 副板前表面的检测相 机座， 与检测相 机座相连接用于固定检测镜头的检测相 机夹， 设于检 测相机座上的检测相机， 设于检测相机上且位于其下方的检测镜头； 定位相机组件包括， 设 于Z滑台副板前表 面的定位相机座， 与定位相机座相连接用于固定定位镜头的定位相机夹， 设于定位相 机座上的定位相 机， 设于定位相 机上且位于其下方的定位镜头， 设于定位相 机 座一侧表面上的光源支架， 设于光源支架上且上下放置的第一光源、 第二光源， 二者位于定 位镜头下方。 6.如权利要求2所述的一种AOI检测装置， 其特征在于， 所述印制板测试模组包括， X向 移载组件， 设于其上的Z向升降组件， 设于Z向升降组件上 方的压力组件。 7.如权利要求6所述的一种AOI检测装置， 其特征在于， X向移载组件包括， X向主滑台， 设于X向主滑台上表面的两根相互平行 的X向移载导轨及线性电机定子， 设于两根X向移载 导轨上的X向移载滑块， 与线性电机定子活动连接的线性电机动子， 与线性电机动子固定连 接的动子固定块， 背面与动子固定块及两根X向移载导轨上 的X向移载滑块固定连接的Z向 底板； 所述Z向升降组件包括， 设于Z向底板上的下平台板， 设于下平台板上表 面的Z向底 座， 设于Z向底座上表面的两组水平方向的水平交叉滚柱滑轨， 设于两组水平交叉滚柱滑轨上 的设有支撑斜面的水平滑台， 活动设于水平滑台上且设有与支撑斜面相贴合的Z向斜面的Z 向滑台； 设于Z向底座上且与水平滑台相连接用于带动水平滑台在 Z向底座上往复直线运动 的水平动力组件； 设于Z向底座上一端部上表 面的Z向副滑台； 设于Z向滑台上表面的治 具底 板， 设于治具底板上表面用于放置印制 板工件的线针治具； 所述Z向滑台的一端通过两组Z 向交叉滚柱滑轨与Z向副滑台一侧 面内的Z向导轨活动连接； 所述水平滑台在Z向底座上往权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 216696100 U 2复直线运动时， Z向滑台随之相对Z向副滑台升降； 所述支撑斜面两侧各设有一组斜向交叉 滚柱滑轨， 所述Z向斜 面与斜向交叉滚柱 滑轨相连接 。 8.如权利要求7所述的一种AOI检测装置， 其特征在于， 所述水平动力组件包括， 安装于 Z向副滑台外侧面上的水平马达， 设于Z向副滑台内且与水平马达输出轴相连接的水平联轴 器， 安装于Z向副滑台上的水平轴承座， 一根其中一端穿过水平轴承座与水平联轴器相连接 的水平丝杆； 水平丝杆另一端与水平 滑台活动连接 。 9.如权利要求7所述的一种AOI检测装置， 其特征在于， 所述压力组件包括， 两块相互平 行且立放在下平台板上表面的支撑板， 与两块支撑板上表面相连接的上平台板， 设于上平 台板内供线针治具及印制 板工件外露的穿孔， 活动设于上平台板上表面的压框滑台， 设于 压框滑台内的压框板； 所述压 框滑台及压 框板内均设有方 形穿孔。 10.如权利要求9所述的一种AOI检测装置， 其特征在于， 所述上平台板上表面还设有两 根相互平行的Y向滑动导轨及气缸， 在每根Y向滑动导轨上各设有两个与压框滑台底面相连 接的Y向滑动滑块， 在压框滑台的一端 下表面设有与气缸输出轴相连接的滑块固定板； 气缸 输出轴伸缩时， 带动压 框滑台沿Y向滑动导轨在Y向往复运动。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 216696100 U 3