(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123075902.6 (22)申请日 2021.12.08 (73)专利权人 江阴佳泰电子科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市江阴市临港新 城璜土镇迎宾东路3 3号 (72)发明人 季建松　 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/95(2006.01) H01L 21/66(2006.01) (54)实用新型名称 一种便于晶圆取放的检测装置 (57)摘要 本申请涉及半导体技术领域， 公开了一种便 于晶圆取放的检测装置， 包括基座、 支架以及底 座， 底座固定于基座的上端面中部， 底座的上端 面可旋转安装有转动盘， 转动盘上开设有供晶圆 恰好放置的圆形深槽， 圆形深 槽端口内水平设置 有置物板， 且转动盘上的圆形深 槽底部水平安装 有丝杠， 丝杠上对称构造有两段相反的螺纹， 两 段螺纹上对称套有两个移动块， 移动块的上端面 与置物板的下端面之间铰接连接有倾斜的支撑 杆。 该便于晶圆取放的检测装置， 结构合理， 能够 对晶圆限位， 避免其水平移动， 有利于提高检测 精度， 且易于对晶圆进行取放， 操作 简单， 使用方 便， 有利于提高检测效率。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 216525416 U 2022.05.13 CN 216525416 U 1.一种便于晶圆取放的检测装置， 包括基座 （1） 、 支架 （2） 以及底座 （3） ， 其特征在于： 所 述底座 （3） 固定于基座 （1） 的上端面中部， 所述底座 （3） 的上端面可旋转安装有转动盘 （4） ， 所述转动盘 （4） 上开设有供 晶圆放置的圆形深槽， 所述圆形深槽端口内水平设置有置物板 （401） ， 且所述转动盘 （4） 上的圆形深槽底部水平安装有丝杠 （402） ， 所述丝杠 （402） 上对称 构造有两段相反的螺纹， 两段螺纹上对称套有两个移动块 （404） ， 所述移动块 （404） 的上端 面与置物板 （401） 的下端面之间铰接有支撑杆 （40 5） 。 2.根据权利要求1所述的一种便于晶圆取放的检测装置， 其特征在于： 所述丝杠 （402） 的一端旋转安装于圆形深槽内的底部一侧内壁上， 所述丝杠 （402） 的另一端水平穿出圆形 深槽内的底部另一侧并固定有 拧冒 （403） 。 3.根据权利要求1所述的一种便于晶圆取放的检测装置， 其特征在于： 所述底座 （3） 内 开设有安装腔 （301） ， 所述安装腔 （301） 内安装有电机 （302） ， 所述电机 （302） 的机轴穿出底 座 （3） 的上端面并与转动盘 （4） 的下端面中部固定 。 4.根据权利要求1所述的一种便于晶圆取放的检测装置， 其特征在于： 所述基座 （1） 上 端面的一端开设有调节槽 （101） ， 所述调节槽 （101） 上滑动安装有调节座 （5） ， 所述调节座 （5） 的上端面固定有固定柱 （6） ， 所述固定柱 （6） 的顶端安装有朝向圆形深槽照射的激光器 （601） 。 5.根据权利要求4所述的一种便于晶圆取放的检测装置， 其特征在于： 所述调节座 （5） 的底部构造有与调节槽 （101） 滑动配合的嵌合块 （501） ， 且所述调节座 （5） 的上端面设置有 定位插销 （502） ， 所述定位插销 （502） 贯穿调节 座 （5） 并与基座 （1） 上端面对应开设的定位孔 （102） 插接配合。 6.根据权利要求4所述的一种便于晶圆取放的检测装置， 其特征在于： 所述支架 （2） 固 定于基座 （1） 的上端面远离调节槽 （101） 的一端， 所述支架 （2） 的顶部伸至底 座 （3） 的上方并 固定有光电探测器 （201） ， 且所述支架 （2） 的背侧固定有数据箱 （202） ， 所述数据箱 （202） 内 安装有与光电探测器 （201） 电性连接的数据处 理模块。 7.根据权利要求6所述的一种便于晶圆取放的检测装置， 其特征在于： 所述光电探测器 （201） 与底 座 （3） 之间设置有集光罩 （7） ， 所述集光罩 （7） 的顶部两侧对称固定有两个调节板 （701） ， 且所述支 架 （2） 的顶部 两侧对称固定有两个供调节板 （701） 顶端插 入的连接 板 （8） 。 8.根据权利要求7所述的一种便于晶圆取放的检测装置， 其特征在于： 所述连接板 （8） 上设置有紧固插销 （801） ， 所述紧固插销 （801） 贯穿连接板 （8） 以及插入 连接板 （8） 内的调节 板 （701） ， 且所述调节板 （701） 上等距开设有 多个供紧 固插销 （801） 插 入的固定孔 （702） 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216525416 U 2一种便于晶圆取放的检测装 置 技术领域 [0001]本申请涉及半导体技 术领域， 尤其是 涉及一种便 于晶圆取放的检测装置 。 背景技术 [0002]在半导体工艺中， 晶圆表面的清洁度是影响半导体器件可靠性的重要因素之一， 而具有不破坏晶圆表 面的清洁度、 可实时检测等优点的光学检测方法即为晶圆的常用检测 方法之一。 在 进行光学检测时， 激光器发出的检测光会掠入射到待测晶圆上， 在晶圆表面会 形成椭圆形光斑， 通过晶圆卡盘的移动和旋转， 使得椭圆形光斑扫描整片晶圆， 检测光在晶 圆表面发生反射， 如果检测光投射到颗粒上， 会被颗粒散射， 被散射的光束具有和反射光束 不相同的空间立体角， 而散射 光最终被光电探测器探测， 以获取晶圆表面的颗粒信息 。 [0003]目前， 现有的晶圆检测装置不便于对晶圆进行稳定放置， 导致在进行移动、 旋转转 动盘以使椭圆形探测 光斑对晶圆进行全面扫描时， 晶圆位置可能出现水平偏移， 从而影响 光学检测结果。 实用新型内容 [0004]本申请的目的在于提供一种便于晶圆取放的检测装置， 以解决上述背景技术中提 出现有的晶圆检测装置不便于对晶圆进行取放， 导致晶圆放置位置可能出现水平平移而影 响检测结果的问题。 [0005]为实现上述目的， 本申请提供如下技术方案： 包括基座、 支架以及底座， 底座固定 于基座的上端面中部， 底座的上端面可旋转安装有转动盘， 转动盘上开设有供 晶圆放置的 圆形深槽， 圆形深槽端口内水平设置有置物板， 且转动盘上 的圆形深槽底部水平安装有丝 杠， 丝杠上对称构 造有两段相反的螺纹， 两段螺纹上对称套有两个移动块， 移动块的上端面 与置物板的下端面之间铰接有支撑杆。 [0006]通过采用上述技术方案， 支撑杆能够对置物板进行支撑， 并可通过自身的倾斜角 度来带动置物板进行升降。 [0007]优选的， 丝杠的一端旋转安装于圆形深槽内的底部一侧内壁上， 丝杠的另一端水 平穿出圆形深槽内的底部另一侧并固定有 拧冒。 [0008]通过采用上述 技术方案， 使得 可通过拧冒来 转动丝杠。 [0009]优选的， 底座内开设有安装腔， 安装腔内安装有电机， 电机的机轴穿出底座的上端 面并与转动盘的下端面中部固定 。 [0010]通过采用上述 技术方案， 从而可通过电机来驱使转动盘转动。 [0011]优选的， 基座上开设有调节槽， 调节槽上滑动安装有调节座， 调节座的上端面固定 有固定柱， 固定柱的顶端安装有朝向圆形深槽照射的激光器。 [0012]优选的， 调节座的底部构造有与调节槽滑动配合的嵌合块， 且调节座的上端面设 置有定位插销， 定位插销贯 穿调节座并与基座上端面对应开设的定位 孔插接配合。 [0013]通过采用上述 技术方案， 从而来固定调节座的位置 。说　明　书 1/4 页 3 CN 216525416 U 3