(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123075162.6 (22)申请日 2021.12.08 (73)专利权人 陕西航天技 术应用研究院有限公 司 地址 710100 陕西省西安市航天基地 东长 安街504号A1楼220室 (72)发明人 张安安　马娇娇　史进祥　姚薇薇　 李建斌　雷艳妮　高昌彬　 (74)专利代理 机构 西安嘉思特知识产权代理事 务所(普通 合伙) 6123 0 专利代理师 王海栋 (51)Int.Cl. G01N 21/84(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种各轴独立工作的水平扫描 装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种各轴独立工作的水 平扫描装置， 包括分别设置在暗室地面上的X轴 滑轨和Y轴支架， Y轴支架上设置有Y轴滑轨， X轴 滑轨和Y轴滑轨呈十字垂直布设， X轴滑轨 上滑动 连接有用于放置待测产品的测试平台， 测试平台 上设置有凹凸镜， Y轴滑轨上滑动连接有扫描平 台， 扫描平台上设置有用于扫描待测产品的测试 扫描探头， 扫描平台上设置有光源。 本实用新型 结构简单、 设计合理， X轴滑轨和Y轴滑轨分离互 不接触， 不存在精度误差耦合的情况， 从而提高 了扫描稳定性， 改善扫描精度较差的问题， 移动 扫描平台和测试平台， 使光源照射凹凸镜， 当经 过凹凸镜折射的光线为直线时， 就说明扫描平台 和测试平台对齐 了， 使用方便， 指示效果 好。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 216669759 U 2022.06.03 CN 216669759 U 1.一种各轴独立工作的水平扫描装置， 其特征在于： 包括分别设置在暗室地面(7)上的 X轴滑轨(2)和Y轴支架(1)， 所述Y轴支架(1)上设置有Y轴滑轨(3)， 所述X轴滑轨(2)和Y轴滑 轨(3)呈十字垂直布设， 所述X轴滑轨(2)上滑动连接有用于放置待测产品(6)的测试平台 (5)， 测试平台(5)上设置有凹凸镜， 所述Y轴滑轨(3)上滑动连接有扫描平台(4)， 所述扫描 平台(4)上设置有用于扫描待测产品(6)的测试扫描探头(12)， 所述扫描平 台(4)上设置有 光源。 2.按照权利要求1所述的一种各轴独立工作的水平扫描装置， 其特征在于： 还包括PLC 控制器(15)， 所述PLC控制器(15)的输出端接有第一伺服驱动器(16)和第二伺服驱动器 (17)， 所述第一伺服驱动器(16)接有用于驱动扫描平台(4)沿着Y轴滑轨(3)滑动的第一电 机(18)， 所述第二伺服驱动器(17)接有用于驱动测试平台(5)沿着X轴滑轨(2)滑动的第二 电机(19)， 所述PLC控制器(15)的输入端接有第一遥控器(13)和第二遥控器(14)。 3.按照权利要求1所述的一种各轴独立工作的水平扫描装置， 其特征在于： 所述凹凸镜 包括Y轴凹凸镜(8)和X轴凹凸镜(9)， 所述Y轴凹凸镜(8)与Y轴滑轨(3)平行布设， 所述X轴凹 凸镜(9)与X轴滑轨(2)平行布设。 4.按照权利要求3所述的一种各轴独立工作的水平扫描装置， 其特征在于： 所述光源包 括用于照射Y轴凹凸镜(8)的Y轴瞄准光源(10)， 和用于照射X轴凹凸镜(9)的X轴瞄准光源 (11)。 5.按照权利要求4所述的一种各轴独立工作的水平扫描装置， 其特征在于： 所述测试平 台(5)包括与X轴滑轨(2)滑动连接的下连接板、 用于放置待测产品(6)的上连接板， 以及设 置在所述上连接板和所述下连接板之间的支撑杆， 所述支撑杆与所述上连接板可转动连 接。 6.按照权利要求5所述的一种各轴独立工作的水平扫描装置， 其特征在于： 所述上连接 板向外延伸出其与 支撑杆连接位置的部 分设置有用于安装Y轴凹凸镜(8)的Y轴凹凸镜安装 槽、 以及用于安装X轴凹凸镜(9)的X轴凹凸镜安装槽 。 7.按照权利要求5所述的一种各轴独立工作的水平扫描装置， 其特征在于： 所述支撑杆 为升降杆。 8.按照权利要求1所述的一种各轴独立工作的水平扫描装置， 其特征在于： 所述扫描平 台(4)为升降平台。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216669759 U 2一种各轴独立工作的水 平扫描装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于扫描测量技术领域， 具体涉及一种各轴独立工作的水平扫描装 置。 背景技术 [0002]目前水平扫描架装置多为X轴和Y轴运动组合进行平面扫描， 其主要技术方案是将 扫描架通过扫描架支架 安装在暗室顶部， 测试探头X、 Y轴方向运动实现探头的平面扫描， 其 中扫描架Y轴安装在扫描架X轴上。 此种方法的缺点是： 扫描架安装支架较大， 成本较高； 扫 描架X轴负载较大， 成本较高； 扫描架各轴精度误差耦合， 导 致扫描架整体精度较差 。 [0003]为了提高扫描精度， 需要X轴和Y轴独立工作， 同时也需要进一步更新X轴和Y轴的 对齐瞄准装置， 以便提高整体扫描装置的稳定性。 实用新型内容 [0004]本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足， 提供一种各轴 独立工作的水平扫描装置， 结构简单、 设计合理， X轴滑轨和 Y轴滑轨分离互不接触， 不存在 精度误差耦合的情况， 从而提高了扫描稳定性， 改善扫描精度较差的问题， 移动扫描平台和 测试平台， 使光源照射凹凸镜， 当经过凹凸镜折射的光线为直线时， 就说明扫描平台和测试 平台对齐了， 使用方便， 指示效果 好。 [0005]为解决上述 技术问题， 本发明采用的技 术方案是： [0006]一种各轴独立工作的水平扫描装置， 其特征在于： 包括分别设置在暗室地面上的X 轴滑轨和Y轴支架， 所述Y轴支架上设置有Y轴滑轨， 所述X轴滑轨和Y轴滑轨呈十字垂直布 设， 所述X轴滑轨上滑动连接有用于放置待测产品的测试平台， 测试平台上设置有凹凸镜， 所述Y轴滑轨上滑动连接有扫描平台， 所述扫描平台上设置有用于扫描待测产品的测试扫 描探头， 所述扫描平台上设置有光源。 [0007]上述的一种各轴独立工作的水平扫描装置， 其特征在于： 还包括PLC控制器， 所述 PLC控制器的输出端接有第一伺服驱动器和第二伺服驱动器， 所述第一伺服驱动器接有用 于驱动扫描平台沿着Y轴滑轨滑动的第一电机， 所述第二伺服驱动器接有用于驱动测试平 台沿着X 轴滑轨滑动的第二电机， 所述PLC控制器的输入端接有第一遥控器和第二遥控器。 [0008]上述的一种各轴独立工作的水平扫描装置， 其特征在于： 所述凹凸镜包括Y轴凹凸 镜和X轴凹凸镜， 所述Y轴凹凸镜与Y轴滑轨平行布设， 所述X轴凹凸镜与X轴滑轨平行布设。 [0009]上述的一种各轴独立工作的水平扫描装置， 其特征在于： 所述光源包括用于照射Y 轴凹凸镜的Y轴瞄准 光源， 和用于照射X轴凹凸镜的X轴瞄准 光源。 [0010]上述的一种各轴独立工作的水平扫描装置， 其特征在于： 所述测试平台包括与X轴 滑轨滑动连接的下连接板、 用于放置待测产品的上连接板， 以及设置在所述上连接板和所 述下连接板之间的支撑杆， 所述支撑杆与所述上 连接板可转动连接 。 [0011]上述的一种各轴独立工作的水平扫描装置， 其特征在于： 所述上连接板向外延伸说　明　书 1/4 页 3 CN 216669759 U 3