(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123017849.4 (22)申请日 2021.12.0 3 (73)专利权人 合肥新汇成微电子股份有限公司 地址 230000 安徽省合肥市新站区合肥综 合保税区内 (72)发明人 胡瑞　谢平　邱川益　 (74)专利代理 机构 合肥辉达知识产权代理事务 所(普通合伙) 3416 5 专利代理师 汪守勇 (51)Int.Cl. G01N 21/88(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种机台目检 显微镜装置 (57)摘要 本实用新型提供一种机台目检显微镜装置。 所述机台目检显微镜装置包括： 用于芯片加工流 水线的输送设备、 设置于所述输送设备一侧的放 置台和设置于所述输送设备上方用于目检的显 微镜； 滑动机构， 所述滑动机构固定于所述放置 台的顶部， 所述滑动机构包括固定板， 所述固定 板的顶部固定连接有两个侧向挡板， 两个所述侧 向挡板之间固定连接有梯形滑轨。 本实用新型提 供的机台目检显微镜装置采用显微镜替换原有 的目检放大镜， 目镜的倍数是现有的放大镜的 倍， 过滑动凹架在梯形滑轨上的水平滑动， 以及 手动向不同的方向转动螺纹杆， 方便带动显微镜 共同移动， 对显微镜的位置进行调整， 精度高， 操 作简单， 方便使用。 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 CN 216792047 U 2022.06.21 CN 216792047 U 1.一种机台目检显微镜装置， 其特 征在于， 包括： 用于芯片加工流水线的输送设备、 设置于所述输送设备一侧的放置 台和设置于所述输 送设备上方用于目检的显微镜； 滑动机构， 所述滑动机构固定于所述放置台的顶部， 所述滑动机构包括固定板， 所述固 定板的顶部固定连接有两个侧向挡板， 两个所述侧向挡板之间固定连接有梯形滑轨， 所述 梯形滑轨上固定连接有滑动凹架； 调节机构， 所述调节机构固定于所述滑动凹架的顶部， 所述调节机构包括连接块， 所述 连接块的一侧 开设有螺纹孔， 所述螺纹孔上螺纹连接有调节螺纹杆， 所述调节螺纹杆的外 表面转动连接有转动环， 所述转动环的一侧固定连接有限位杆， 所述连接块的一侧 开设有 和所述限位杆配合使用的限位 孔， 所述转动环的一侧固定连接有连接架。 2.根据权利要求1所述的机 台目检显微镜装置， 其特征在于， 所述固定板固定于所述放 置台的顶部， 所述梯形滑轨的底部和所述固定 板的顶部不接触。 3.根据权利要求2所述的机 台目检显微镜装置， 其特征在于， 所述梯形滑轨的一侧开设 有滑动槽口， 所述滑动凹架的一侧固定连接有限位轴， 所述限位轴的一端固定连接有限位 环。 4.根据权利要求1所述的机 台目检显微镜装置， 其特征在于， 所述连接块固定用于所述 滑动凹架的顶部， 所述限位杆的一端伸入所述限位 孔的内部 。 5.根据权利要求4所述的机 台目检显微镜装置， 其特征在于， 所述连接块的顶部固定连 接有用于带动所述连接块共同移动的把手。 6.根据权利要求5所述的机 台目检显微镜装置， 其特征在于， 所述连接架上固定连接有 升降机构， 所述升降机构和所述显微镜固定连接用于带动所述显微镜共同移动。 7.根据权利要求6所述的机台目检显微镜装置， 其特征在于， 还包括 限位滑槽， 所述 限 位滑槽开设于所述固定板的顶部， 所述滑动凹架的底部转动连接有可以在所述限位滑槽中 滑动的滑轮。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216792047 U 2一种机台目检显微镜装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及芯片监测技 术领域， 尤其涉及一种机台目检显微镜装置 。 背景技术 [0002]在晶圆背面涂覆工艺中采用芯片粘结剂作为浆料， 将其涂覆到晶圆背面之后再烘 干， 其优点是同干膜方法相比成本降低20 ‑30％， 可以控制键合层厚度并且得到更高的单位 时间产。 [0003]在芯片经过涂胶后， 为了避免涂胶后出现异常而未拦截到流入下一站， 造成大范 围的影响， 需要对工作人员对涂胶后的芯片进行观察检测， 通过上料后作业及自主检查时 能快速目检涂胶后状况， 减少爬胶、 缺胶等异常扩大化。 [0004]在现有技术中， 对经过涂胶芯片的目检可以通过POT1890机台上所携带的放大镜 进行观察和检测， 但是通过放大镜检测时， 放大镜的放大倍数有限， 且不方便对放大位置进 行调整， 使用时无法精准快速的对芯片进行目检。 [0005]因此， 有必要提供一种机台目检显微镜装置解决上述 技术问题。 实用新型内容 [0006]本实用新型提供一种机台目检显微镜装置， 解决了POT1890机台无法精准快速的 对芯片进行目检的问题。 [0007]为解决上述技术问题， 本实用新型提供的机台目检显微镜装置包括： 用于芯片加 工流水线的输送设备、 设置于所述输送设备一侧的放置台和设置于所述输送设备上方用于 目检的显微镜； [0008]滑动机构， 所述滑动机构固定于所述放置台的顶部， 所述滑动机构包括固定板， 所 述固定板的顶部固定连接有两个侧向挡板， 两个所述侧向挡板之间固定连接有梯形滑轨， 所述梯形滑轨上固定连接有滑动凹架； [0009]调节机构， 所述调节机构固定于所述滑动凹架的顶部， 所述调节机构包括连接块， 所述连接块的一侧 开设有螺纹孔， 所述螺纹孔上螺纹连接有调节螺纹杆， 所述调节螺纹杆 的外表面转动连接有转动环， 所述转动环的一侧固定连接有限位杆， 所述连接块的一侧 开 设有和所述限位杆配合使用的限位 孔， 所述转动环的一侧固定连接有连接架。 [0010]优选的， 所述固定板固定于所述放置台的顶部， 所述梯形滑轨 的底部和所述固定 板的顶部不接触。 [0011]优选的， 所述梯形滑轨 的一侧开设有滑动槽 口， 所述滑动凹架的一侧固定连接有 限位轴， 所述限位轴的一端固定连接有限位环。 [0012]优选的， 所述连接块固定用于所述滑动凹架的顶部， 所述限位杆的一端伸入所述 限位孔的内部 。 [0013]优选的， 所述连接块的顶部固定连接有用于带动所述连接块共同移动的把手。 [0014]优选的， 所述连接架上固定连接有升降机构， 所述升降机构和所述显微镜固定连说　明　书 1/4 页 3 CN 216792047 U 3