(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123195 342.8 (22)申请日 2021.12.17 (73)专利权人 敢为科技 （江苏） 有限公司 地址 江苏省盐城市 盐南高新区人民南路38 号新龙广场1 1号楼805室(CNK) (72)发明人 叶兵　张俊龙　朱湘飞　郑昌军　 任家利　 (74)专利代理 机构 武汉蓝宝石专利代理事务所 (特殊普通 合伙) 42242 专利代理师 万畅 (51)Int.Cl. G01N 21/39(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种激光 微水检测装置 (57)摘要 本实用新型提供一种激光微水检测装置， 包 括激光器、 激光调制模块、 衰荡腔、 数据采集模 块、 主控制单元和显示器， 所述激光器与所述激 光调制模块连接， 所述激光调制模块与所述衰荡 腔连接， 所述衰荡腔与所述数据采集模块连接， 所述主控制单元分别与所述激光器、 所述数据采 集模块和所述显示器连接； 所述数据采集模块包 括光隔离器和准直器； 所述数据采集模块包括聚 焦镜、 探测器、 信号放大滤波电路和AD 采样电路； 所述主控制单元对所述数据采集模块采集的光 信号进行处理， 并将处理结果通过所述显示器显 示输出。 通过该方案可以微水的超低浓度测量， 能够避免其 他气体的干 扰， 提高测量的准确性。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 216718197 U 2022.06.10 CN 216718197 U 1.一种激光微水检测装置， 其特征在于， 至少包括激光器、 激光调制模块、 衰荡腔、 数据 采集模块、 主控制单元和显示器， 所述激光器与所述激光调制模块连接， 所述激光调制模块 与所述衰荡腔连接， 所述衰荡腔与所述数据采集模块连接， 所述主控制单元分别与所述激 光器、 所述数据采集模块和所述显示器连接； 其中， 所述数据采集模块包括光隔离器和准直器； 所述数据采集模块包括聚焦镜、 探测 器、 信号放大滤波电路和AD采样电路； 所述主控制单元对所述数据采集模块采集的光信号进行处理， 并将处理结果通过所述 显示器显示输出。 2.根据权利要求1所述的装置， 其特征在于， 所述激光调制模块还包括声光调制器， 声 光调制器一端与准 直器连接， 另一端与衰荡腔连接 。 3.根据权利要求1所述的装置， 其特征在于， 所述衰荡腔由两个相同反射率的凹面镜组 成； 其中， 通过调整PZT移动入口腔镜来调 节所述衰荡腔的腔长， 使激光模式与衰荡腔模式 周期性匹配。 4.根据权利要求3所述的装置， 其特征在于， 所述凹面镜的曲率半径为1m， 反射率为 99.99％。 5.根据权利要求1所述的装置， 其特征在于， 所述聚焦镜聚焦所述衰荡腔透射出的光， 所述探测器对聚焦镜聚焦的光信号进行检测， 通过所述信号放大滤波电路进行信号放大、 滤波后， 由所述AD采样电路进行信号采样， 并将采样信号传输 至所述主控制单 元。 6.根据权利要求1所述的装置， 其特征在于， 通过传感器对所述衰荡腔进行温度监测、 压力监测， 将温度和压力监测结果传递给 所述主控制单 元。 7.根据权利要求1所述的装置， 其特征在于， 所述主控制单元通过驱动电路与 所述激光 器连接， 驱动电路的一端与所述主控制单 元连接， 另一端与所述激光器连接； 其中， 所述主控制单元通过温度控制、 电流调制对所述驱动电路控制， 所述驱动电路产 生驱动信号驱动所述激光器。 8.根据权利要求1所述的装置， 其特征在于， 所述主控制单元控制触发电路产生触发信 号对光隔离器进行控制。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216718197 U 2一种激光微 水检测装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及气体 检测领域， 尤其涉及一种激光 微水检测装置 。 背景技术 [0002]随着电力负荷的大幅度增长， 对供电水平和电网运作性能的要求也越来越高。 GIS 设备由于成套设备体积小、 占地面积小、 可靠性高、 防火性能好、 施工周期短而得到了广泛 的应用， 与此同时， 电力系统GIS设备的运行状态监测与故障诊断也成为了 关系到电网运行 安全的重要工作。 [0003]通过对GIS气体绝缘介质分解产生的气体组分进行检测， 从而判断不同绝缘缺陷 引起的故障类型和缺陷发展趋势。 目前， 普遍采用露点检测方法对GIS中的微水进行检测， 由于检测的温、 湿度等环境因素影响较大， 且GIS中的水分含量很低， 容易导致检测结果不 准确。 实用新型内容 [0004]有鉴于此， 本实用新型实施例提供了一种激光微水检测装置， 以解决GIS中微水检 测结果不准确的问题。 [0005]在本实用新型实施例的第一方面， 提供了一种激光微水检测装置， 至少包括激光 器、 激光调制模块、 衰荡腔、 数据采集模块、 主控制单元和显示器， 所述激光器与所述激光调 制模块连接， 所述激光调制模块与所述衰荡腔连接， 所述衰荡腔与所述数据采集模块连接， 所述主控制单 元分别与所述激光器、 所述数据采集模块和所述显示器连接； [0006]其中， 所述数据采集模块包括光隔离器和准直器； 所述数据采集模块包括聚焦镜、 探测器、 信号 放大滤波电路和AD采样电路； [0007]所述主控制单元对所述数据采集模块采集的光信号进行处理， 并将处理结果通过 所述显示器显示输出。 [0008]在一个实施例中， 所述激光调制模块还包括声光调制器， 声光调制器一端与准直 器连接， 另一端与衰荡腔连接 。 [0009]在一个实施例中， 所述衰荡腔由两个相同反射率的凹面镜组成； 其中， 通过调整 PZT移动入口腔镜来调节所述衰荡腔的腔长， 使激光模式与衰荡腔模式周期性匹配。 [0010]在一个实施例中， 所述凹面镜的曲率半径为1m， 反射 率为99.99％。 [0011]在一个实施例中， 所述聚焦镜聚焦所述衰荡腔透射出的光， 所述探测器对聚焦镜 聚焦的光信号进 行检测， 通过所述信号放大滤波电路进 行信号放大、 滤波后， 由所述AD采样 电路进行信号采样， 并将采样信号传输 至所述主控制单 元。 [0012]在一个实施例中， 通过传感器对所述衰荡腔进行温度监测、 压力监测， 将温度和压 力监测结果传递给 所述主控制单 元。 [0013]在一个实施例中， 所述主控制 单元通过驱动电路与所述激光器连接， 驱动电路的 一端与所述主控制单元连接， 另一端与所述激光器连接； 其中， 所述主控制单元通过温度控说　明　书 1/4 页 3 CN 216718197 U 3