(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123089856.5 (22)申请日 2021.12.10 (73)专利权人 江苏望华高新科技有限公司 地址 211161 江苏省南京市雨 花台区板桥 街道永安社区江谷路2号13 6 (72)发明人 贾苏媛　 (74)专利代理 机构 武汉领君知识产权代理事务 所(普通合伙) 42248 专利代理师 程欣 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于集成电路 芯片制造的检测装置 (57)摘要 本实用新型涉及集成电路芯片生产技术领 域， 且公开了一种用于集 成电路芯片制造的检测 装置， 包括机架、 电子显微镜与显示屏， 所述机架 的右侧固定有保护壳， 所述机架的内部设置有数 量为两个且横向延伸至 保护壳内部的丝杆， 所述 保护壳的顶部固定有与两个丝杆传动连接的驱 动电机， 两个所述丝杆的外部设置有可横向活动 的电动滑台， 所述电动滑台的内部设置有延伸至 电动滑台背面的连接件， 所述连接件与电子显微 镜固定连接， 所述机架的内部固定安装有数量为 两个且左右对称的连接架。 该用于集成电路芯片 制造的检测装置， 可与芯片传输线进行对接， 无 需人工进行芯片的安装拾取与检测时的移动操 作， 操作更为简单方便， 可有效提高检测效率。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 216525513 U 2022.05.13 CN 216525513 U 1.一种用于集成电路芯片制造的检测装置， 包括机架 （1） 、 电子显微镜 （2） 与显示屏 （10） ， 其特征在于： 所述机架 （1） 的右侧固定有保护壳 （4） ， 所述机架 （1） 的内部设置有数量 为两个且横向延伸至保护壳 （4） 内部的丝杆 （5） ， 所述保护壳 （4） 的顶部固定有与两个丝杆 （5） 传动连接的驱动电机 （6） ， 两个所述丝杆 （5） 的外部设置有可横向活动的电动滑台 （7） ， 所述电动滑台 （7） 的内部设置有延伸至电动滑台 （7） 背面的连接件 （8） ， 所述连接件 （8） 与电 子显微镜 （2） 固定连接， 所述机架 （1） 的内部固定安装有数量为两个且左右对称的连接架 （9） ， 两个所述连接架 （9） 的相对一侧设置有可旋转的载台 （3） ， 所述显示屏 （10） 与机架 （1） 固定， 左侧所述连接架 （9） 的外 部固定有与载台 （3） 传动连接的减速电机 （1 1） 。 2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片制造的检测装置， 其特征在于： 两个所 述丝杆 （5） 的右端通过链条传动连接， 所述驱动电机 （6） 的输出端与顶部所述丝杆 （5） 通过 齿轮组传动连接 。 3.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片制造的检测装置， 其特征在于： 所述载 台 （3） 包括旋转板 （31） 、 探针卡 （32） 与红外对位传感器 （33） ， 所述旋转板 （31） 与两个连接架 （9） 转动连接， 所述旋转板 （31） ， 的正面固定有探针卡 （32） ， 所述旋转板 （31） 的正面嵌设有 红外对位传感器 （3 3） 。 4.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片制造的检测装置， 其特征在于： 两个所 述连接架 （9） 的底部均固定有和载台 （3） 底端背面接触的限位件， 所述载台 （3） 位于电动滑 台 （7） 的背面。 5.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片制造的检测装置， 其特征在于： 所述电 动滑台 （7） 包括外壳 （71） 、 活动件 （72） 、 滑台电机 （73） 与传动杆 （74） ， 所述外壳 （71） 的顶部 与底部均固定有活动件 （72） ， 两个所述活动件 （72） 分别与两个丝杆 （5） 螺纹连接， 所述外壳 （71） 的内部竖向设置有与滑台电机 （73） 传动连接的传动杆 （74） ， 所述传动杆 （74） 与连接件 （8） 螺纹连接， 所述滑台电机 （73） 与外壳 （71） 固定 。 6.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片制造的检测装置， 其特征在于： 所述保 护壳 （4） 的外部固定有输入端与丝杆 （5） 固定的角度传感器， 所述电子显微镜 （2） 位于载台 （3） 的正 面。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216525513 U 2一种用于集成电路芯片制造的检测装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及集成电路芯片生产技术领域， 具体为一种用于集成电路芯片制造 的检测装置 。 背景技术 [0002]集成电路芯片是包括一硅基板、 至少一电路、 一固定封环、 一接地环及至少一防护 环的电子元件， 其 生产过程中， 在封装前需要人工观察线路刻蚀情况。 [0003]现有的集成电路芯片刻蚀线路检测装置， 需人工拾取安装后， 调整显微镜进行观 察， 所耗费人力较高， 影响检测的效率， 故而提出了一种用于集成电路芯片制造的检测装置 来解决上述 提出的问题。 实用新型内容 [0004]（一） 解决的技 术问题 [0005]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了一种用于集成电路芯片制造的检测装 置， 具备节省人力等优点， 解决了现有的集成电路芯片刻蚀线路检测装置， 需人工拾取安装 后， 调整显微镜进行观察， 所耗费人力较高， 影响检测的效率的问题。 [0006]（二） 技术方案 [0007]本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下： 一种用于集成电路芯片制造的检 测装置， 包括机架、 电子显微镜与显示屏， 所述机架的右侧固定有保护壳， 所述机架的内部 设置有数量为两个且横向延伸至保护壳内部的丝杆， 所述保护壳的顶部固定有与两个丝杆 传动连接的驱动电机， 两个所述丝杆的外部设置有可横向活动的电动滑台， 所述电动滑台 的内部设置有延伸至电动滑台背面的连接件， 所述连接件与电子显微镜固定连接， 所述机 架的内部固定安装有 数量为两个且左右对称的连接架， 两个所述连接架的相对一侧设置有 可旋转的载台， 所述显示屏与机架固定， 左侧所述连接架的外部固定有与载台传动连接的 减速电机 。 [0008]本实用新型的有益效果是： [0009]该用于集成电路芯片制造的检测装置， 在检测作业时， 芯片固定在载台的正面， 由 电动滑台带动连接件与电子显微镜进 行竖向的运动， 由驱动电机带动两个丝杆旋转使电动 滑台进行横向移动， 从而使电子显微镜可在平面进行任意位置移动， 使其可对准需检测电 路， 将拍摄图像传输至显示屏上进行显示， 当检测存在质量问题时， 可直接从载台上将芯片 取下进行回收， 若检测无质量问题， 则减速电机带动载台向后翻转， 由对接的传输线将芯片 带走至下一加工程序， 本装置结构稳定合理， 可与芯片传输线进 行对接， 无需人工进 行芯片 的安装拾取与检测时的移动操作， 操作更为简单 方便， 可有效提高检测效率。 [0010]在上述技术方案的基础上， 本实用新型还可以做如下改进。 [0011]进一步， 两个所述丝杆的右端通过链条传动连接， 所述驱动电机的输出端与顶部 所述丝杆通过齿轮组传动连接 。说　明　书 1/3 页 3 CN 216525513 U 3