(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 20212320 6272.1 (22)申请日 2021.12.20 (73)专利权人 上海申和投资有限公司 地址 201900 上海市宝山区宝山城市工业 园区山连路181号 (72)发明人 李有群　卓世异　贺贤汉　周杰　 章磊　 (74)专利代理 机构 铜陵市天 成专利事务所(普 通合伙) 3410 5 专利代理师 李坤 (51)Int.Cl. G01N 21/88(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置 (57)摘要 本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域， 具体 为一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置， 包 括电箱和固定安装在电箱顶部的操作台， 还包括 透光清理机构、 遮光机构、 夹持移位机构和移动 观察机构， 所述透光清理机构设置在操作台内壁 两侧， 本实用新型通过设置有移动观 察机构和定 位标识机构， 气缸的外壳两侧固定安装在两个第 二丝杆滑台的滑动块之间， 拉动显微摄像头使显 微摄像头 带动销轴进行旋转， 旋转至合适角度后 对销轴进行固定， 从而对显微摄像头的角度进行 调节， 可以更加便捷的根据使用的需求对显微摄 像头的角度进行调节， 以便于从更清晰的角度对 晶片表面进行观察， 同时第二丝杆滑台的设置可 以更加便捷的带动显微摄 像头进行移位。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 216792049 U 2022.06.21 CN 216792049 U 1.一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置， 包括电箱 （1） 和固定安装在电箱 （1） 顶部 的操作台 （2） ， 其特征在于： 还包括透光清理机构 （3） 、 遮光机构 （4） 、 夹持移位机构 （5） 和移 动观察机构 （6） ， 所述透光清理机构 （3） 设置在操作台 （2） 内壁两侧， 所述遮光机构 （4） 设置 在操作台 （2） 一侧， 所述夹持移 位机构 （5） 固定安装在操作台 （2） 内壁两侧， 所述移动观 察机 构 （6） 固定安装在操作台 （2） 顶部一侧， 所述移动观察机构 （6） 一侧固定安装有定位标识机 构 （7） ， 所述定位标识机构 （7） 包括连接板 （71） 、 固定安装在连接板 （71） 底部的电动旋转块 （72） 、 固定安装在电动旋转块 （72） 底部的支撑块 （73） 、 固定安装在支撑块 （73） 底部的第二 连接块 （74） 、 开设在第二连接块 （74） 底部的卡槽 （75） 、 配合安装在卡槽 （75） 内侧的卡块 （76） 、 固定安装在卡 块 （76） 底部的定位杆 （7 7） 。 2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置， 其特征在于： 所述 透光清理机构 （3） 包括透光片 （33） 、 清理刷 （36） 、 多个分别固定安装在操作台 （2） 内壁两侧 的活动块 （31） 、 多个分别配合安装在多个活动块 （31） 内侧的活动钩 （32） 、 两个分别固定安 装在操作台 （2） 内壁两侧 第一丝杆滑台 （34） 和两个 分别固定安装在两个第一丝杆滑台 （34） 的滑动块一侧的第一连接块 （35） ， 所述透光片 （33） 固定安装在多个活动钩 （32） 内侧， 所述 清理刷 （3 6） 固定连接在两个第一连接块 （3 5） 之间。 3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置， 其特征在于： 所述 遮光机构 （4） 包括遮光架 （42） 、 两个分别活动安装在操作台 （2） 内壁两侧的延长杆 （41） 、 多 个分别固定安装在遮光架 （42） 一侧的 限位杆 （43） 和多个 分别开设在操作台 （2） 顶部一侧的 限位孔 （44） ， 所述遮光架 （42） 固定安装在两个延长杆 （41） 一侧。 4.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置， 其特征在于： 所述 夹持移位机构 （5） 包括晶片 （55） 、 两个分别固定安装在操作台 （2） 内壁两侧的安装板 （51） 、 两个分别固定安装在两个安装板 （51） 顶部的电动升降套 杆 （52） 、 两个分别固定安装在两个 电动升降套杆 （52） 的伸缩端的电动推杆 （53） 和两个分别固定安装在两个电动推杆 （53） 的 伸缩端的夹 板 （54） ， 所述晶片 （5 5） 放置在两个夹 板 （54） 之间。 5.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置， 其特征在于： 所述 移动观察机构 （6） 包括安装槽 （61） 、 气缸 （63） 、 推杆 （64） 、 支撑板 （65） 、 安装座 （66） 、 销轴 （67） 、 显微摄像头 （68） 和两个分别固定安装在安装槽 （61） 内壁两侧的第二丝杆滑台 （62） ， 所述安装槽 （61） 开设在操作台 （2） 顶部一侧， 所述气缸 （63） 固定连接在两个第二丝杆滑 台 （62） 的滑动块之间， 所述推杆 （64） 固定连接在气缸 （63） 的输出端， 所述支撑板 （65） 固定安 装在推杆 （64） 一侧， 所述安装座 （66） 固定安装在支撑板 （65） 底部， 所述销轴 （67） 固定安装 在安装座 （6 6） 内侧， 所述显微摄 像头 （68） 固定安装在销轴 （67） 一侧。 6.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置， 其特征在于： 所述 定位标识机构 （7） 还包括伸缩套 （78） 、 固定块 （79） 、 伸缩弹簧 （710） 和海绵头 （711） ， 所述伸 缩套 （78） 固定安装在定位杆 （77） 底端， 所述固定块 （79） 固定安装在伸缩套 （78） 内部， 所述 伸缩弹簧 （710） 固定安装在固定块 （79） 底部， 所述海绵头 （711） 固定安装在伸缩套 （78） 底 部。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216792049 U 2一种碳化硅晶片显微观 察用透光定位装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域， 特别是涉及一种碳化硅晶片显微观察用透 光定位装置 。 背景技术 [0002]碳化硅晶片的主要应用领域有LED固体照明和高频率器件， 该材料具有高出传统 硅数倍的禁带、 漂移速度、 击穿电压、 热导率、 耐高温等优良特性， 在高温、 高压、 高频、 大功 率、 光电、 抗辐射、 微波性等电子应用领域和航 天、 军工、 核能等极端环境应用有着不可替代 的优势， 碳 化硅晶片在进行显微观察的时候需要 使用透光定位装置， 对晶片表面进行观察。 [0003]目前使用的透光定位装置在使用时通很长无法更加便捷快速的对 晶片表面的损 伤位置进 行定位， 由于在显微情况下观察， 工作人员无法快速的对损伤部位进 行识别， 影响 后续的修复， 使用不够便捷。 [0004]因此， 现在亟需设计一种能解决上述一个或者多个问题的一种碳化硅晶片显微观 察用透光定位装置 。 实用新型内容 [0005]为解决现有技术中存在的一个或者多个问题， 本实用新型提供了一种碳化硅晶片 显微观察用透光定位装置 。 [0006]本实用新型为达到上述目的所采用的技术方案是： 一种碳化硅晶片显微观察用透 光定位装置， 包括电箱和固定安装在电箱顶部的操作台， 还包括透光清理机构、 遮光机构、 夹持移位机构和移动观察机构， 所述透光清理机构设置在操作台内壁两侧， 所述遮光机构 设置在操作台一侧， 所述夹持移位机构固定安装在操作台内壁两侧， 所述移动观察机构固 定安装在操作台顶部一侧， 所述移动观察机构一侧固定安装有定位标识机构， 所述定位标 识机构包括连接板、 固定安装在连接板底部的电动旋转块、 固定安装在电动旋转块底部的 支撑块、 固定安装在支撑块底部的第二连接块、 开设在第二连接块底部的卡槽、 配合安装在 卡槽内侧的卡 块、 固定安装在卡 块底部的定位杆。 [0007]优选的， 所述透光清理机构包括透光片、 清理刷、 多个分别固定安装在操作台内壁 两侧的活动块、 多个分别配合安装在多个活动块内侧的活动钩、 两个分别固定安装在操作 台内壁两侧第一丝杆滑台和两个分别固定安装在两个第一丝杆滑台的滑动块一侧的第一 连接块， 所述透光片固定安装在多个活动钩内侧， 所述清理刷固定连接在两个第一连接块 之间。 [0008]优选的， 所述遮光机构包括遮光架、 两个分别 活动安装在操作 台内壁两侧的延长 杆、 多个分别固定安装在遮光架一侧的限位杆和多个分别开设在操作台顶部一侧的限位 孔， 所述遮光架固定安装在两个延长杆一侧。 [0009]优选的， 所述夹持移位机构包括晶片、 两个分别固定安装在操作 台内壁两侧的安 装板、 两个分别固定安装在两个安装板顶部的电动升降套杆、 两个分别固定安装在两个电说　明　书 1/4 页 3 CN 216792049 U 3