(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122967549.6 (22)申请日 2021.11.30 (73)专利权人 安徽微芯长江半导体材 料有限公 司 地址 244000 安徽省铜陵市经济开发区西 湖三路 (72)发明人 李有群　卓世异　贺贤汉　周国栋　 孙大方　 (74)专利代理 机构 铜陵市天 成专利事务所(普 通合伙) 3410 5 专利代理师 李坤 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种腐蚀后碳 化硅晶片微管缺陷检测装置 (57)摘要 本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域， 具体 为一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置， 包 括底座和固定安装在底座顶部一侧的检测箱， 还 包括检修机构、 调节支撑机构、 光源调节机构、 旋 转检测机构和角度调节机构， 所述检修机构固定 安装在检测箱内壁两侧， 本实用新型通过设置有 调节支撑机构和旋转检测机构， 拉动抽板使抽板 带动滑轮在 滑轨内部移动抽出， 从而带动电动升 降套杆移动抽出， 可以更加便捷的对晶片进行放 置， 工作人员无需将手伸入检测箱内部， 使晶片 的放置更加的稳定， 避免晶片位置偏移， 影响检 查的效果， 再推动防滑垫使防滑垫带动底部的活 动钩与活动块两侧相接触， 持续推动使活动钩两 侧向内折叠， 直至通过活动块， 活动钩再进行回 弹。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 216622212 U 2022.05.27 CN 216622212 U 1.一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置， 包括底座 （1） 和固定安装在底座 （1） 顶部 一侧的检测箱 （2） ， 其特征在于： 还包括检修机构 （3） 、 调节支撑机构 （4） 、 光源调节机构 （5） 、 旋转检测机构 （6） 和角度调节机构 （7） ， 所述检修机构 （3） 固定安装在检测箱 （2） 内壁两侧， 所述调节支撑机构 （4） 固定安装在检测箱 （2） 内部， 所述调节支撑机构 （4） 包括固定安装在 检测箱 （2） 内部的支撑板 （41） 、 两个分别固定安装在支撑板 （41） 顶部两侧的滑轨 （42） 、 多个 分别配合安装在两个滑轨 （42） 内部的滑轮 （43） 、 活动安装在 多个滑轮 （43） 顶部的抽板 （44） 和固定安装在抽板 （44） 顶部的电动升降套杆 （45） ， 所述光源调节机构 （5） 固定安装在检修 机构 （3） 内壁两侧， 所述旋转检测机构 （6） 固定安装在检测箱 （2） 内壁顶部， 所述角度调节机 构 （7） 固定安装在底座 （1） 顶部一侧。 2.根据权利要求1所述的一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置， 其特征在于： 所述 检修机构 （3） 包括两个 分别开设在检测箱 （2） 底部两侧的安装槽 （31） 、 多个 分别固定安装在 两个安装槽 （31） 内部的电动推杆 （32） 、 两个 分别固定安装在 多个电动推杆 （32） 的伸缩端的 活动板 （33） 、 两个分别固定安装在两个活动板 （33） 一侧的侧板 （34） 、 多个分别通过多个固 定螺栓 （36） 拧紧固定在检测箱 （2） 顶部 两侧的额固定块 （3 5） 。 3.根据权利要求1所述的一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置， 其特征在于： 所述 调节支撑机构 （4） 还包括放置槽 （46） 、 支撑台 （47） 、 防滑垫 （410） 、 多个 分别固定安装在支撑 台 （47） 顶部两侧的活动块 （48） 和多个 分别配合安装在多个活动块 （48） 内侧的活动钩 （49） ， 所述放置槽 （46） 固定安装在电动升降套 杆 （45） 的伸缩端， 所述支撑台 （47） 固定安装在放置 槽 （46） 内部， 所述防滑垫 （410） 固定安装在多个活动钩 （49） 一侧。 4.根据权利要求2所述的一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置， 其特征在于： 所述 光源调节机构 （5） 包括两个分别固定安装在两个侧 板 （34） 一侧的第一连接板 （51） 、 两个分 别固定安装在两个第一连接板 （51） 一侧的丝杆滑台 （52） 、 两个 分别固定安装在两个丝杆滑 台 （52） 的滑动块一侧的连接块 （53） 、 两个分别 开设在两个连接块 （53） 一侧的卡槽 （54） 、 两 个分别固定安装在两个卡槽 （54） 内侧的卡块 （55） 和两个分别固定安装在两个卡块 （55） 一 侧的补光灯 （5 6） 。 5.根据权利要求1所述的一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置， 其特征在于： 所述 旋转检测机构 （6） 包括安装杆 （61） 、 电动转盘 （62） 、 转台 （63） 和显微摄像头 （64） ， 所述安装 杆 （61） 固定安装在检测箱 （2） 内壁顶部， 所述电动转盘 （62） 固定安装在安装 杆 （61） 底端， 所 述转台 （63） 固定安装在电动转盘 （62） 底部， 所述显微摄像头 （64） 固定安装在转台 （63） 底部 一侧。 6.根据权利要求1所述的一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置， 其特征在于： 所述 角度调节机构 （7） 包括安装板 （71） 、 第二连接板 （72） 、 旋转台 （73） 、 显示器 （74） 、 插孔 （75） 、 限位杆 （76） 和多个 分别开设在第二连接板 （72） 顶部两侧的限位孔 （77） ， 所述安装板 （71） 固 定安装在底 座 （1） 顶部一侧， 所述第二连接板 （72） 固定安装在安装板 （71） 顶部， 所述旋转台 （73） 固定安装在第二连接板 （72） 顶部， 所述显示器 （74） 固定安装在旋转台 （73） 顶部， 所述 插孔 （75） 开设在旋转台 （73） 一侧。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216622212 U 2一种腐蚀后碳 化硅晶片微管缺陷检测装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域， 特别是涉及一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺 陷检测装置 。 背景技术 [0002]碳化硅晶片的主要应用领域有LED固体照明和高频率器件， 该材料具有高出传统 硅数倍的禁带、 漂移速度、 击穿电压、 热导率、 耐高温等优良特性， 在高温、 高压、 高频、 大功 率、 光电、 抗辐射、 微波性等电子应用领域和航 天、 军工、 核能等极端环境应用有着不可替代 的优势， 目前对与微管缺陷的观察主要是通过显微观察的方式， 对微管所表现出 的特征形 貌对其进行区分和 测定。 [0003]目前使用的检测装置在使用时通常无法更加便捷的对晶片的的位置进行调节， 且 通常在防止晶片时容易出现偏移的情况， 影响对晶片表面的观察， 同时无法便捷的对晶片 的各个角度进行检测， 使用不够便捷。 [0004]因此， 现在亟需设计一种能解决上述一个或者多个问题的一种腐蚀后碳化硅晶片 微管缺陷检测装置 。 实用新型内容 [0005]为解决现有技术中存在的一个或者多个问题， 本实用新型提供了一种腐蚀后碳化 硅晶片微管缺陷检测装置 。 [0006]本实用新型为达到上述目的所采用的技术方案是： 一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺 陷检测装置， 包括底座和固定安装在底座顶部一侧的检测箱， 还包括检修机构、 调节支撑机 构、 光源调节机构、 旋转检测机构和角度调节机构， 所述检修机构固定安装在检测箱内壁两 侧， 所述调节支撑机构 固定安装在检测箱内部， 所述调节支撑机构包括固定安装在检测箱 内部的支撑板、 两个分别固定安装在支撑板顶部两侧的滑轨、 多个分别配合安装在两个滑 轨内部的滑轮、 活动安装在多个滑轮顶部的抽 板和固定安装在抽 板顶部的电动升降套杆， 所述光源调节机构固定安装在检修机构内壁两侧， 所述旋转检测机构固定安装在检测箱内 壁顶部， 所述角度调节机构固定安装在底座顶部一侧。 [0007]优选的， 所述检修机构包括两个分别开设在检测箱底部两侧的安装槽、 多个分别 固定安装在两个安装槽内部的电动推杆、 两个分别固定安装在多个电动推杆的伸缩端的活 动板、 两个分别固定安装在两个活动板一侧的侧板、 多个分别通过多个固定螺栓拧紧固定 在检测箱 顶部两侧的额固定块。 [0008]优选的， 所述调节支撑机构还包括放置槽、 支撑台、 防滑垫、 多个分别固定安装在 支撑台顶部两侧的活动块和多个分别配合安装在多个活动块内侧的活动钩， 所述放置槽固 定安装在电动升降套杆的伸缩端， 所述支撑台固定安装在放置槽内部， 所述防滑垫固定安 装在多个活动钩一侧。 [0009]优选的， 所述光源调节机构包括两个分别固定安装在两个侧板一侧的第一连接说　明　书 1/4 页 3 CN 216622212 U 3