(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122971514.X (22)申请日 2021.11.30 (73)专利权人 深圳市智立方自动化设备股份有 限公司 地址 518000 广东省深圳市宝安区石岩街 道塘头社区厂房A栋1层至 3层 (72)发明人 黄剑锋　关巍　湛思　陈超科　 唐博识　 (74)专利代理 机构 深圳市科吉华烽知识产权事 务所(普通 合伙) 44248 专利代理师 胡吉科 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种芯片背面检测装置 (57)摘要 本实用新型提供一种芯片背面检测装置， 属 于检测装置结构领域。 本实用新型包括工作台、 设置在工作台上的二维运动模组， 设置在所述二 维运动模组上、 由所述二维运动模组平面驱动的 固定板， 所述固定板下方设有旋转组件， 所述旋 转组件下方设有、 由所述旋转组件驱动旋转的吸 附组件， 还包括Z轴运动模组， 由所述Z轴运动模 组驱动上下运动的检测组件， 所述检测组件设置 在所述吸附组件下方， 朝向所述吸附组件设置。 本实用新型的有益效果为： 大大提高了检测效 率。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 216747472 U 2022.06.14 CN 216747472 U 1.一种芯片背面检测装置， 其特征在于： 包括工作台、 设置在工作台上的二维运动模 组， 设置在所述二 维运动模组上、 由所述二 维运动模组平面驱动的固定板， 所述固定板下方 设有旋转组件， 所述旋转组件下方设有、 由所述旋转组件驱动旋转的吸附组件， 还包括Z轴 运动模组， 由所述Z轴运动模组驱动上下运动的检测组件， 所述检测组件设置在所述吸附组 件下方， 朝向所述吸附组件设置 。 2.根据权利要求1所述的芯片背面检测装置， 其特征在于： 还包括设置在所述工作台下 方的气源 减震垫。 3.根据权利要求1所述的芯片背面检测装置， 其特征在于： 所述工作台为中空的U型大 理石平台， 所述旋转组件、 吸附组件、 检测组件均设置在中空区域。 4.根据权利要求3所述的芯片背面检测装置， 其特征在于： 所述二维运动模组包括设置 在U型大理石平台侧面的X轴直线运动模组， 所述U 型大理石两个立柱顶 面设有X轴导轨， Y轴 直线运动模组的两端设置在两侧的X轴导轨上， 由所述X轴直线运动模组驱动沿X向导轨运 动。 5.根据权利要求4所述的芯片背面检测装置， 其特征在于： 所述Y轴直线运动模组包括Y 轴直线电机组件及由Y轴直线电机组件驱动的两条Y轴导轨， 所述固定板的两端分别设置在 两条Y轴导轨上， 所述旋转组件通过固定 板设置在所述Y轴导轨中间。 6.根据权利要求5所述的芯片背面检测装置， 其特征在于： 所述X轴导轨上设有调整架， 所述调整架上设有若干组用于固定Y轴导轨的固定孔， 远离Y轴直线电机组件的Y轴导轨通 过固定孔调整与另一个Y轴导轨的宽度并固定 。 7.根据权利要求6所述的芯片背面检测装置， 其特征在于： 两组固定孔之间设有减重 孔， 所述X轴导轨和Y轴导轨 两端均设有缓冲结构和限位结构。 8.根据权利要求1所述的芯片背面检测装置， 其特征在于： 所述Z轴运动模组为气缸组 件， 所述检测组件为相机 镜头检测组件， 通过滑块固定在所述气缸组件的驱动轴上。 9.根据权利要求1 ‑8任一项所述的芯片背面检测装置， 其特征在于： 还包括设置在所述 工作台附近的双臂机械手， 所述双臂机械手包括分别用于同步上料和下料的两个机械手组 件。 10.根据权利要求9所述的芯片背面检测装置， 其特征在于： 所述双臂机械手还包括手 臂安装板、 设置在手臂 安装板下方的控制结构， 机械手组件并列设置在手臂 安装板上方， 所 述机械手组件包括手臂组件和设置在手臂末端的手指组件， 所述手指组件设有一对与物料 外周形状相同的仿形夹指。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216747472 U 2一种芯片背面检测装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及一种检测装置， 尤其涉及一种芯片背面检测装置 。 背景技术 [0002]目前， 已经有四、 六寸芯片单面检测设备， 但是， 通常是将产品正面检测完， 然后通 过翻转治 具将产品翻转， 然后， 在正面检测装置上进 行背面检测， 在一套设备上进 行正面和 背面检测， 上料、 正面检测、 背面检测和下料都在一个平台上完成， 通常一个工序完成才能 进行下一道工序， 检测效率比较低。 [0003]此外， 如果翻转产品的话， 需要在背面检测完， 翻转一次， 然后硬接触检测台， 等背 面检测完， 还需要翻转到正面输送到下一工序， 多次翻转， 容易造成产品的接触摩擦， 甚至 损坏， 从而影响芯片的外观和质量。 实用新型内容 [0004]为解决现有技 术中的检测效率低问题， 本实用新型提供一种芯片背面检测装置 。 [0005]本实用新型包括工作 台、 设置在工作台上的二维运动模组， 设置在所述二维运动 模组上、 由所述二 维运动模组平面 驱动的固定板， 所述固定板下方设有旋转组件， 所述旋转 组件下方设有、 由所述旋转组件驱动旋转的吸附组件， 还包括Z轴运动模组， 由所述Z轴运动 模组驱动上下运动的检测组件， 所述检测组件设置在所述吸 附组件下方， 朝向所述吸 附组 件设置。 [0006]本实用新型作进一 步改进， 还 包括设置在所述工作台下 方的气源 减震垫。 [0007]本实用新型作进一步改进， 所述工作台为中空的U型大理石平台， 所述旋转组件、 吸附组件、 检测组件均设置在中空区域。 [0008]本实用新型作 进一步改进， 所述二维运动模组包括设置在U型大理石平台侧面的X 轴直线运动模组， 所述U 型大理石两个立柱顶 面设有X轴导轨， Y轴直线运动模组的两端设置 在两侧的X轴导轨上， 由所述X轴直线运动模组驱动沿X向导轨运动。 [0009]本实用新型作进一步改进， 所述Y轴直线运动模组包括Y轴直线电机组件及由Y轴 直线电机组件驱动的两条Y轴导轨， 所述固定板的两端分别设置在两条Y轴导轨上， 所述旋 转组件通过固定 板设置在所述Y轴导轨中间。 [0010]本实用新型作 进一步改进， 所述X轴导轨上设有调整架， 所述调整架上设有若干组 用于固定Y轴导轨的固定孔， 远离Y轴直线电机组件的Y轴导轨通过固定孔调整与另一个Y轴 导轨的宽度并固定 。 [0011]本实用新型作进一步改进， 两组固定孔之间设有减重孔， 所述X轴导轨和Y轴导轨 两端均设有缓冲结构和限位结构。 [0012]本实用新型作 进一步改进， 所述Z轴运动模组为气缸组件， 所述检测组件为相机镜 头检测组件， 通过滑块固定在所述气缸组件的驱动轴上。 [0013]本实用新型作进一步改进， 还包括设置在所述工作台附近 的双臂机械手， 所述双说　明　书 1/3 页 3 CN 216747472 U 3