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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123115957.5 (22)申请日 2021.12.13 (73)专利权人 济源石晶光电频率 技术有限公司 地址 454650 河南省济源市科技工业区济 源石晶光电频率 技术有限公司 (72)发明人 申红卫 侯标 姜翠平 赵峰 (74)专利代理 机构 郑州德勤知识产权代理有限 公司 41128 专利代理师 王莉 (51)Int.Cl. G01N 21/88(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 显微镜挑片台 (57)摘要 本实用新型提供一种显微镜挑片台, 包括承 载平台和滑动设置在所述承载平台上的平铺检 测桌; 所述承 载平台的上表面设置有中间隔条和 多条滑槽, 所述滑槽分布在所述中间隔条的两 侧, 多条所述滑槽均与所述中间隔条平行设置; 所述平铺检测桌的底部设置有与所述滑槽滑动 配合的支腿。 该显微镜挑片台能够将石英晶片更 好的摊开在 平铺检测桌上, 并可以随着平铺检测 桌的滑动将石英晶片依次显 现在显微镜视野中, 从而保证了每个石英晶片均能够得到检测, 避免 了漏检的缺陷。 该装置 检测速度快、 检测精度高。 权利要求书1页 说明书2页 附图2页 CN 216718238 U 2022.06.10 CN 216718238 U 1.一种显微镜挑片台, 其特征在于: 包括承载平台和滑动设置在所述承载平台上的平 铺检测桌; 所述承载平台的上表面设置有中间隔条和多条滑槽, 所述滑槽分布在所述中间隔条的 两侧, 多条 所述滑槽均 与所述中间隔条平行设置; 所述平铺检测桌的底部设置有与所述滑槽滑动配合的支腿。 2. 根据权利要求 1 所述的显微镜挑片台, 其特征在于: 所述平铺检测桌的底部设置 有四个所述支腿, 位于同一侧的两个所述支腿形成一副支腿组, 两幅所述支腿组分别滑动 设置在所述中间隔条两侧的滑槽内。 3.根据权利要求1或2所述的显微镜挑片台, 其特征在于: 所述平铺检测桌的宽度大于 所述中间隔条的宽度。 4. 根据权利要求3 所述的显微镜挑片台, 其特征在于: 所述平铺检测桌的上表面与所 述承载平台的上表面平行设置 。 5. 根据权利要求4 所述的显微镜挑片台, 其特征在于: 多条所述滑槽水平贯穿所述承 载平台的上表面设置 。 6. 根据权利要求1或2 所述的显微镜挑片台, 其特 征在于: 多条 所述滑槽等间距设置 。 7. 根据权利要求6 所述的显微镜挑片台, 其特征在于: 所述承载平台的下表面开设有 多条底滑槽, 多条 所述底滑槽平行设置 。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 216718238 U 2显微镜挑片台 技术领域 [0001]本实用新型 涉及石英晶片检测领域, 具体的说, 涉及了一种显微镜挑片台。 背景技术 [0002]石英晶片在制作过程中, 通常需要进行切片、 粘砣、 研磨、 抛光等工艺, 而在制作过 程中, 会经常需要采用显微镜对石英晶片进行外观检测。 而现有的石英晶片检测平台并不 能够将石英晶片完全平铺在显微镜的视野中, 从而经常发生漏检状况, 导致产品因外观检 测不良而退货。 [0003]为了解决漏检的问题, 申请 号为201220211376.3的专利申请公开了一种晶片检测 机, 该装置采用一种载片台实现对晶片的X轴、 Y轴和角度进行检测功能, 但该装置结构复 杂、 成本较高且操作水平要求较高。 [0004]为了解决以上存在的问题, 人们一 直在寻求一种理想的技 术解决方案 。 实用新型内容 [0005]为了实现上述目的, 本实用新型所采用的技术方案是: 一种显微镜挑片台, 包括承 载平台和滑动设置在所述承载平台上的平铺检测桌; [0006]所述承载平台 的上表面设置有中间隔条和多条滑槽, 所述滑槽分布在所述中间隔 条的两侧, 多条 所述滑槽均 与所述中间隔条平行设置; [0007]所述平铺检测桌的底部设置有与所述滑槽滑动配合的支腿。 [0008]基于上述, 为了平稳滑动, 所述平铺检测桌的底部设置有四个所述支腿, 位于同一 侧的两个所述支腿形成一副支腿组, 两幅所述支腿组分别滑动设置在所述中间隔条两侧的 滑槽内。 [0009]基于上述, 为了实现平铺检测桌既能够沿滑槽滑动, 又能够移动到不同滑槽内, 所 述平铺检测桌的宽度大于所述中间隔条的宽度。 [0010]基于上述, 为了便于检测, 所述平铺检测桌的上表面与所述承载平台的上表面平 行设置。 [0011]基于上述, 为了 便于滑动, 多条 所述滑槽水平贯 穿所述承载平台的上表面设置 。 [0012]基于上述, 为了确保每次检测的石英晶片数量相同, 多条 所述滑槽等间距设置 。 [0013]基于上述, 所述承载平台的下表面 开设有多条底滑槽, 多条 所述底滑槽平行设置 。 [0014]本实用新型相对现有技术具有实质性特点和进步, 具体 的说, 本实用新型提供的 显微镜挑片 台, 通过在承载平台上表面设置多条平行 的滑槽, 并在承载平台上滑动设置用 于平铺石英晶片的平铺检测 桌, 从而在利用显微镜检测石英晶片的外观时, 能够将石英晶 片更好的摊开在平铺检测桌上, 并可以随着平铺检测桌的滑动 将石英晶片依次显现在显微 镜视野中, 从而保证了每个石英晶片均能够得到检测, 避免了漏检的缺陷。 该装置检测速度 快、 检测精度高。说 明 书 1/2 页 3 CN 216718238 U 3
专利 显微镜挑片台
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