(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123020501.0 (22)申请日 2021.12.0 3 (73)专利权人 上海合晶硅材 料股份有限公司 地址 201617 上海市松江区石湖荡镇长 塔 路558号 (72)发明人 俞雪婷　 (74)专利代理 机构 北京金诚同达律师事务所 11651 专利代理师 李强　杨懿 (51)Int.Cl. G01N 21/956(2006.01) G01N 21/01(2006.01) H01L 21/673(2006.01) (54)实用新型名称 晶圆片盒的辅助检查装置 (57)摘要 本实用新型涉及晶圆片盒的辅助检查装置， 包括用于放置晶圆片盒的平台， 所述的平台上具 有透光部， 透光部的下方设置有光源， 本实用新 型的辅助检查装置能够在晶圆片盒存放晶圆片 时辅助检查人员进行检查， 从而防止了存放晶圆 时， 晶圆被片盒夹伤的问题。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 217878963 U 2022.11.22 CN 217878963 U 1.晶圆片盒的辅助检查装置， 其特征在于包括用于放置晶圆片盒的平台， 所述的平台 上具有透光部， 透光部的下 方设置有光源， 包括底座， 底座上倾 斜的固定所述的平台， 所述的平台上开设有 多个通孔， 所述透光部为透光 孔， 所述的光源为LED灯带， 所述的LED灯带沿晶圆盒中晶圆的排列方向设置， 所述的平台 上立设有用于将晶圆片盒限制于 透光部上 方的挡板 。 2.如权利要求1所述的 晶圆片盒的辅助检查装置， 其特 征在于所述 倾斜的角度为15 °。 3.如权利要求1所述的晶圆片 盒的辅助检查装置， 其特征在于还包括感应控制机构， 所 述的感应控制机构控制连接所述的光源。 4.如权利要求3所述的晶圆片盒的辅助检查装置， 其特征在于所述的感应控制机构为 感应开关， 感应开关的感应端被设置成用于感应平台上的置物。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217878963 U 2晶圆片盒的辅助检查 装置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆片盒的辅助检查装置 。 背景技术 [0002]在晶圆的生产过程中， 一般采用晶圆片盒保存晶圆。 晶圆片盒的结构一般包括了 用于排列储存晶圆的片架， 盖合于片架外的上盖和下盖组成。 其一般的存放是先将晶圆逐 片插入栅格式的片架上， 将片架 放入下盖中， 在将上盖盖合于下盖 之上， 在上盖的内部具有 与栅格对应的凹槽， 当上盖盖合时， 各片晶圆的上部边缘有序的插入 各个凹槽中， 完成晶圆 的存放。 [0003]然而， 在上述过程中， 由于片架的各个栅格的宽度一般会大于晶圆的厚度， 导致晶 圆放入片架后会侧倾一定的角度， 而 各个晶圆侧倾的角度， 方向又各有不同， 这就导致了在 盖合上盖时， 晶圆的上端没有插 入到凹槽中， 反而被凹槽结构所夹伤。 [0004]因此， 需要一个在盖合上盖时能够辅助检查晶圆片盒的装置 。 实用新型内容 [0005]本实用新型的主要目的在于提供一种用于在晶圆片盒装存放晶圆片时进行辅助 检查的装置 。 [0006]为了实现上述目的， 本实用新型提供一种晶圆片盒的辅助检查装置， 包括用于放 置晶圆片盒的平台， 所述的平台上 具有透光部， 透光部的下 方设置有光源。 [0007]在本实用新型的一些实施例中， 还 包括底座， 底座上倾 斜的固定所述的平台。 [0008]在本实用新型的一些实施例中， 所述 倾斜的角度为15 °。 [0009]在本实用新型的一些实施例中， 所述的平台上开设有 多个通孔。 [0010]在本实用新型的一些实施例中， 所述透光部为透光 孔。 [0011]在本实用新型的一些实施例中， 还包括感应控制机构， 所述的感应控制机构控制 连接所述的光源。 [0012]在本实用新型的一些实施例中， 所述的感应控制机构为感应开关， 感应开关的感 应端被设置成用于感应平台上的置物。 [0013]在本实用新型的一些实施例中， 所述 的光源为LED灯带， 所述 的LED灯带沿晶圆盒 中晶圆的排列方向设置 。 [0014]在本实用新型的一些实施例中， 所述的平台上立设有用于将晶圆片盒限制于透光 部上方的挡板 。 [0015]本实用新型的辅助检查装置能够在晶圆片盒存放晶圆片时辅助检查人员进行检 查， 从而防止 了存放晶圆时， 晶圆被片盒夹伤的问题。 附图说明 [0016]图1为晶圆片盒的辅助检查装置的一种实施例结构示 意图。说　明　书 1/3 页 3 CN 217878963 U 3