(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 20212313 3179.2 (22)申请日 2021.12.14 (73)专利权人 长春奥普光电技 术股份有限公司 地址 130033 吉林省长 春市经济技 术开发 区营口路58 8号 (72)发明人 张溪　艾莉　张元　沈永宏　杨泽　 (74)专利代理 机构 长春中科长光知识产权代理 事务所(普通 合伙) 22218 专利代理师 陈新英 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/958(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 检测透明体偏折角度和内部缺陷的装置 (57)摘要 本实用新型提供检测透明体偏折角度和内 部缺陷的装置， 包括缺陷检测模块、 偏折角度检 测模块和夹持工装模块； 夹持工装模块包括六自 由度运动平台和夹具， 夹具在六自由度运动平台 的驱动下具有六个自由度； 透明体固定于夹具 上； 缺陷检测模块用以检测透明体的内部缺陷， 偏折角度检测模块用以检测透明体的偏折角度； 夹持工装模块带动透明体运动， 使透明体分别经 过两模块的检测。 本实用新型提高了光学透明体 的偏折角度和内部缺陷进行检测的效率， 囊括了 更多可检测光学透明体种类； 避免了检测中透明 体的搬运。 权利要求书2页 说明书6页 附图5页 CN 216622136 U 2022.05.27 CN 216622136 U 1.检测透明体偏折角度和内部缺陷的装置， 其特征在于， 包括： 缺陷检测模块(1)、 偏折 角度检测模块(2)和夹持工装 模块(3)； 所述夹持工装模块(3)包括六自由度运动平台和夹具(30)， 所述夹具(30)在所述六自 由度运动平台的驱动下 具有六个自由度； 透明体固定 于所述夹具(3 0)上； 所述缺陷检测模块(1)用以检测所述透明体的内部缺陷； 所述夹持工装模块(3)带动所述透明体运动， 使所述透明体分别经过所述缺陷检测模 块(1)和所述偏折角度检测模块(2)的检测。 2.根据权利要求1所述的检测透 明体偏折角度和内部缺陷的装置， 其特征在于， 所述六 自由度运动平台包括旋转平移台(31)、 左右平移台(32)、 前后平移台(33)和上下平移台 (34)； 所述上下平移台(34)用以带动所述透明体上 下移动； 所述左右 平移台(32)用以带动所述透明体左右 移动； 所述前后平 移台(33)用以带动所述透明体前后移动； 所述旋转平移台(31)用以带动所述透明体旋转， 使所述透明体被不同入射角度的入射 光线检测。 3.根据权利要求2所述的检测透 明体偏折角度和内部缺陷的装置， 其特征在于， 所述上 下平移台(34)带动所述透明体分别经过所述缺陷检测模块(1)和所述偏折角度检测模块 (2)的检测。 4.根据权利要求1所述的检测透 明体偏折角度和内部缺陷的装置， 其特征在于， 所述夹 具(30)为密封的长方体腔体， 所述夹具(3 0)由透明材 料制成。 5.根据权利要求1所述的检测透 明体偏折角度和内部缺陷的装置， 其特征在于， 所述夹 具(30)为顶部具有开口 的长方体腔体， 所述夹具(3 0)由透明材 料制成。 6.根据权利要求1所述的检测透 明体偏折角度和内部缺陷的装置， 其特征在于， 所述缺 陷检测模块(1)包括依次布置在同一轴线上的第一照明光源(11)、 第一光栅(12)、 透镜组 (13)、 第二 光栅(14)、 接收物镜(15)和第一C CD探测器(16)； 所述第一 光栅(12)和所述第二 光栅(14)的光 栅常数相同； 所述透镜组(13)用以收束视场； 所述接收物镜(15)放置 于所述透 镜组(13)的两倍焦距处； 所述第一照明光源(11)照明所述第一光栅(12)形成多缝光源， 入射所述透镜组(13)后 进入所述第二 光栅(14)产生干涉 条纹； 所述第一C CD探测器(16)通过 所述接收物镜(15)获取 所述干涉 条纹的图像； 所述透明体置 于所述透 镜组(13)的出射表面处。 7.根据权利要求6所述的检测透 明体偏折角度和内部缺陷的装置， 其特征在于， 所述透 镜组(13)为双 胶合透镜组。 8.根据权利要求1所述的检测透 明体偏折角度和内部缺陷的装置， 其特征在于， 所述偏 折角度检测模块(2)包括沿第二照明光源(21)的传播方向依次布置的所述第二照明光源 (21)、 刻线分划板(22)、 物方平行光管(23)、 可变光阑(24)、 像方平行光管(25)和第二CCD探 测器(26)；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 216622136 U 2所述刻线分划板(2 2)位于所述物方平行光管(23)的焦平面上； 所述第二C CD探测器(26)的焦平面 位于所述像方平行光管(25)的焦平面上； 所述透明体置于所述物方平行光管(23)和所述可变光阑(24)之间； 所述透明体未置入 所述偏折角度检测模块(2)时， 所述第二CCD 探测器(26)采集所述刻线分划板(22)的图像作 为基准图像， 所述透明体置入所述偏折角度检测模块(2)后， 所述第二CCD探测器(26)采集 所述刻线分划板(2 2)的图像作为对照图像。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 216622136 U 3