(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 20212315 6309.4 (22)申请日 2021.12.15 (73)专利权人 中国科学院半导体 研究所 地址 100083 北京市海淀区清华 东路甲35 号 (72)发明人 张俊　宋飞龙　 (74)专利代理 机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 专利代理师 王文思 (51)Int.Cl. G01N 21/25(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 透射光谱系统 (57)摘要 本实用新型提供了一种透射光谱系统， 包括 第一输出装置， 用于输出激光； 第二输出装置， 用 于输出第一准直光； 第二分光镜， 设置在激光和 准直光束的光路上， 用于透射激光和反射第一准 直光， 得到第一光， 第一光包括激光和第二分光 镜反射的第一准直光； 聚焦装置， 设置在第一光 的光路上， 用于将第一光汇聚到待测样品上； 样 品台， 设置在聚焦装置的出光光路上， 用于放置 待测样品并输出透射光， 透射光包括所述第一光 透过待测样品的光； 针孔滤波装置， 设置在透射 光的光路上， 用于将部分透射光进行空间滤波并 转换成第二准直光， 部分透射光包括： 所述第一 光中的第二分光镜反射的第一准直光透过待测 样品的光； 光谱输出装置， 设置在针孔滤波装置 的一侧， 用于根据第二 准直光输出透射 光谱。 权利要求书2页 说明书6页 附图1页 CN 216847447 U 2022.06.28 CN 216847447 U 1.一种透射 光谱系统， 其特 征在于， 包括： 第一输出装置， 用于 输出激光； 第二输出装置， 用于 输出第一 准直光； 第二分光镜， 设置在所述激光和所述第一准直光的光路上， 用于透射所述激光和反射 所述第一准直光， 得到第一光， 并输出所述第一光， 所述第一光包括所述激光和所述第二分 光镜反射的第一 准直光； 聚焦装置， 设置在所述第一 光的光路上， 用于将所述第一 光汇聚到待测样品上； 样品台， 设置在所述 聚焦装置的出光光路上， 用于放置所述待测样品并输出透射光， 所 述透射光包括所述第一 光透过所述待测样品的光； 针孔滤波装置， 设置在所述透射光的光路上， 用于将部分透射光进行空间滤波并转换 成第二准直光， 所述部分透射光包括： 所述第一光中的所述第二分光镜反射的第一准直光 透过所述待测样品的光； 光谱输出装置， 设置在所述第二准直光的光路上， 用于根据所述第二准直光输出透射 光谱。 2.根据权利要求1所述的透射光谱系统， 其特征在于， 所述第 二输出装置包括白光输出 装置、 第二 光纤和第二 光纤耦合器； 所述白光输出装置通过 所述第二 光纤与所述第二 光纤耦合器相连接， 用于 输出白光； 所述第二 光纤， 用于将所述白光传输 到所述第二 光纤耦合器； 所述第二 光纤耦合器， 用于将所述白光耦合成所述第一 准直光。 3.根据权利要求1所述的透射光谱系统， 其特征在于， 还包括第 一光纤耦合器和第 一光 纤； 所述第一 光纤耦合器， 设置在所述第二 准直光的光路上， 用于 输送所述第二 准直光； 所述第一光纤， 设置在所述第一光纤耦合器和所述光谱输出装置之间， 用于与所述第 一光纤耦合器 配合输送所述第二 准直光到所述 光谱输出装置 。 4.根据权利要求1所述的透射 光谱系统， 其特 征在于， 还 包括第一分光镜和C CD相机； 所述第一分光镜设置在第 一输出装置和第 二分光镜之间， 用于透射所述激光和反射反 射光， 并输出 所述激光至所述第二分光镜， 以及 反射所述反射 光至所述C CD相机， 所述反射 光为所述聚焦装置反射的所述第一 光。 5.根据权利要求4所述的透射光谱系统， 其特征在于， 所述CCD相机设置在所述第一分 光镜反射的反射 光的光路上， 用于将所述待测样品成像。 6.根据权利要求1所述的透射光谱系统， 其特征在于， 所述针孔滤波装置包括依次设置 在所述透射 光光路上的第一透 镜、 针孔和第二透 镜； 所述第一透 镜， 用于汇聚所述透射 光； 所述针孔， 用于将所述部分透射 光进行空间滤波， 得到滤波后的部分透射 光； 所述第二透镜； 用于将所述滤波后的部分透射光的转换成第二准直光， 并输出第二准 直光。 7.根据权利要求6所述的透射光谱系统， 其特征在于， 所述针孔设置在所述第 一透镜和 所述第二透镜的共同焦点处， 所述第一透镜和所述第二透镜的光轴与所述针孔位于同一条 直线。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 216847447 U 28.根据权利要求7所述的透射光谱系统， 其特征在于， 还包括收集显微物镜， 所述收集 显微物镜设置在所述样品台和所述第一透 镜之间， 用于收集所述透射 光。 9.根据权利要求6所述的透射 光谱系统， 其特 征在于， 所述针孔的大小可调节。 10.根据权利要求1所述的透射光谱系统， 其特征在于， 所述样品台为三维位移台， 所述 三维位移台可3 60度翻转和前后移动。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 216847447 U 3