(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123323953.6 (22)申请日 2021.12.27 (73)专利权人 四方光电股份有限公司 地址 430205 湖北省武汉市东湖新 技术开 发区凤凰产业园凤 凰园三路3号 (72)发明人 熊友辉　杨宇　项铭禹　 (74)专利代理 机构 武汉知产时代知识产权代理 有限公司 42 238 专利代理师 郝明琴 (51)Int.Cl. G01N 33/00(2006.01) (54)实用新型名称 多层结构氧/氮氧传感器 芯片叠层防错位装 置 (57)摘要 本实用新型提供一种多层结构氧/氮氧传感 器芯片叠层防错位装置， 包括底板、 多个定位件 和多个膜片， 底板上设有多个腰型孔， 每一腰型 孔自底板的边缘至中心延伸设置； 多个定位件与 所述腰型孔一一对应， 每一定位件从底板的一侧 穿过对应的腰型孔向底板的另一侧延伸设置， 且 每一定位件 可在对应的腰型孔内滑动； 每个膜片 上均设有多个定位孔， 每一定位件依次穿设每一 膜片在对应位置处的定位孔内， 以限定多个膜片 依次叠放在所述底板上。 利用定位件在腰型孔内 的滑动来适应膜片的变形或定位孔位置的变化， 以此来防止多个膜片叠放后错位， 提高定位精 度， 从而提高生产效率和良品率。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 216926741 U 2022.07.08 CN 216926741 U 1.一种多层结构氧/氮氧传感器芯片叠层防错 位装置， 其特 征在于， 包括： 底板， 所述底板上设有多个腰型孔， 每一所述腰型孔自所述底板的边缘至中心延伸设 置； 多个定位件， 与多个所述腰型孔一一对应， 每一所述定位件从所述底板的一侧穿过对 应的所述腰型孔向所述底板的另一侧延伸设置， 且每一所述定位件可在对应的所述腰型孔 内滑动； 以及， 多个膜片， 每个所述膜片上均设有多个定位孔， 每一所述定位件依次穿设每一所述膜 片在对应位置处的所述定位 孔内， 以限定多个所述膜片依次叠放在所述底板上。 2.如权利要求1所述的多层结构氧/氮氧传感器芯片叠层防错位装置， 其特征在于， 所 述定位件为销钉。 3.如权利要求2所述的多层结构氧/氮氧传感器芯片叠层防错位装置， 其特征在于， 所 述销钉的直径比所述腰型孔的直径小以至所述销钉可在所述腰型孔内倾 斜5° ‑30°。 4.如权利要求1所述的多层结构氧/氮氧传感器芯片叠层防错位装置， 其特征在于， 所 述定位件包括滑动部和转动部， 所述滑动部滑动设于所述腰型孔内， 所述转动部与所述滑 动部铰接， 并向所述底板一侧延伸设置 。 5.如权利要求2所述的多层结构氧/氮氧传感器芯片叠层防错位装置， 其特征在于， 所 述底板为金属板， 所述定位件包括磁性底座和转轴， 所述磁性底座设于所述底板的一侧， 所 述转轴与所述底座铰接， 所述转轴穿设于所述腰型孔向所述底板的另一侧延伸设置， 所述 转轴的直径比所述腰型孔的直径小至所述销钉可在所述腰型孔内倾 斜5° ‑30°。 6.如权利要求1所述的多层结构氧/氮氧传感器芯片叠层防错位装置， 其特征在于， 每 一所述腰型孔上均设有刻度线。 7.如权利要求1所述的多层结构氧/氮氧传感器芯片叠层防错位装置， 其特征在于， 所 述定位孔设在所述膜片的边角处。 8.如权利要求7所述的多层结构氧/氮氧传感器芯片叠层防错位装置， 其特征在于， 每 一所述膜片呈方形设置， 每一所述膜片上均设有四个定位孔， 四个所述定位孔均布设于所 述膜片的四个角上。 9.如权利要求8所述的多层结构氧/氮氧传感器芯片叠层防错位装置， 其特征在于， 所 述底板为与所述膜片相适配的方形板， 所述腰型孔设有四个， 每一所述腰型孔均位于所述 底板的对角线上。 10.如权利要求1所述的多层结构氧/氮氧传感器芯片叠层防错位装置， 其特征在于， 还 包括多个固定销钉， 多个所述固定销钉分别用于固定叠放后的多个所述膜片的定位孔， 以 便于叠放后的多个所述膜片从所述定位件上 取下后位置不变。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216926741 U 2多层结构氧/氮氧传感器芯片叠层防错位装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及芯片生产的技术领域， 尤其涉及一种多层结构氧/氮氧传感器芯 片叠层防错 位装置。 背景技术 [0002]多层片式结构氧/氮氧传感器芯片是各类氧传感器关键零配件， 制作过程中， 均采 用多片0.2 ‑0.5mm厚膜片依次叠加而成， 膜片 叠加过程中， 各层膜片上的印刷图案、 孔结构、 槽结构需要非常精准的定位， 否则无法满足功能要求。 由于每层膜片印刷完成进入干燥炉 烘干后会出现不同程度的收缩变形， 形变量根据膜片厚度、 材质的不同有所差异， 一般在 0.1‑0.5mm不等， 对应的定位孔间距在烘干后同步变化， 使多层膜片叠片时发生错位 或者膜 片撕裂变形， 导致芯片失效。 实用新型内容 [0003]有鉴于此， 本实用新型的实施例提供了一种多层结构氧/氮氧传感器芯片叠层防 错位装置， 旨在解决多层结构氧/氮氧传感器芯片生产中因叠层错位导致的生产效率和良 品率低的问题。 [0004]本实用新型的实施例提供一种多层结构氧/氮氧传感器芯片叠层防错位装置， 包 括： [0005]底板， 所述底板上设有多个腰型孔， 每一所述腰型孔自所述底板的边缘至中心延 伸设置； [0006]多个定位件， 与多个所述腰型孔一一对应， 每一所述定位件从所述底板的一侧穿 过对应的所述腰型孔向所述底板的另一侧延伸设置， 且每一所述定位件可在对应的所述腰 型孔内滑动； 以及， [0007]多个膜片， 每个所述膜片上均设有多个定位孔， 每一所述定位件依次穿设每一所 述膜片在对应位置处的所述定位 孔内， 以限定多个所述膜片依次叠放在所述底板上。 [0008]可选地， 所述定位件为销钉。 [0009]可选地， 所述销钉的直径比所述腰型孔的直径小至所述销钉可在所述腰型孔内倾 斜5° ‑30°。 [0010]可选地， 所述定位件包括滑动部和转动部， 所述滑动部滑动设于所述腰型孔内， 所 述转动部与所述滑动部铰接， 并向所述底板一侧延伸设置 。 [0011]可选地， 所述底板为金属板， 所述定位件包括磁性底座和转轴， 所述磁性底座设于 所述底板的一侧， 所述转轴与所述底座铰接， 所述转轴穿设于所述腰型孔向所述底板的另 一侧延伸设置， 所述转轴的直径比所述腰型孔的直径小至所述销钉可在所述腰型孔内倾斜 5° ‑30°。 [0012]可选地， 每一所述腰型孔上均设有刻度线。 [0013]可选地， 所述定位 孔设在所述膜片的边角处。说　明　书 1/4 页 3 CN 216926741 U 3