(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222075662.8 (22)申请日 2022.08.08 (73)专利权人 冠礼控制科技 （上海） 有限公司 地址 200131 上海市浦东 新区自由贸易试 验区富特西一路333号长城大楼第一 层A1-2部位 (72)发明人 赵晗　江献茂　董浩　丁孟　 (74)专利代理 机构 上海科政专利代理事务所 (普通合伙) 3146 3 专利代理师 杨军 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) B08B 3/08(2006.01) B08B 13/00(2006.01) F26B 21/14(2006.01)F26B 21/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种新型蝶形清洗 槽盖板 (57)摘要 本实用新型涉及一种新型蝶形清洗槽盖板， 包括驱动气缸、 左盖板、 右盖板和气管封闭室， 驱 动气缸左右对称布置， 驱动气缸 活塞端通过摇臂 连接驱动转轴， 并带动驱动转轴旋转， 驱动转轴 与盖板转轴锁紧为一体， 左盖板、 右盖板分别固 定在位于左右两侧的盖板转轴上， 并随同盖板转 轴转动实现开闭动作， 左盖板、 右盖板上均安装 有气管封闭室， 气管封闭室内固定有N2管， N2管 上安装有喷嘴， N2管一端封闭， 另一端通过管接 头连接N2进气管， 左盖板、 右盖板分别 内嵌有金 属片， 且近驱动端处均设有上下布置的上定位传 感器和下定位传感器； 本实用新型能够有效改善 腐蚀的问题， 加速干燥过程和干燥效果， 解决了 盖板气缸易腐蚀、 流场紊乱、 干燥效果不理想等 问题。 权利要求书1页 说明书5页 附图9页 CN 217903085 U 2022.11.25 CN 217903085 U 1.一种新型蝶形清洗槽盖板， 其特征在于： 包括驱动气缸(1)、 左盖板(11)、 右盖板(12) 和气管封闭室(17)， 所述 驱动气缸(1)左右对称布置， 所述驱动气缸(1)活塞端通过摇臂(4) 连接驱动转轴(5)， 并带动驱动转轴(5)旋转， 所述 驱动转轴(5)与盖板转轴(6)锁紧为一体， 所述左盖板(11)、 右盖板(12)分别固定在位于左右两侧的盖板转轴(6)上， 并随同盖板转轴 (6)转动实现开闭动作， 所述左盖板(11)、 右盖板(12)上均安装有气管封闭室(17)， 所述气 管封闭室(17)内固定有N2管(15)， 所述N2管(15)上安装有喷嘴(16)， 所述N2管(15)一端封 闭， 所述N2管(15)另一端通过 管接头(13)与N2进气管(14)连接 。 2.如权利要求1所述的新型蝶形清洗槽盖板， 其特征在于： 所述驱动气缸(1)安装在气 缸安装座(2)上， 所述气缸安装座(2)通过驱动机构安装板(3)安装固定在清洗槽上， 所述气 缸安装座(2)内安装有角接触轴承， 所述摇臂(4)通过角接触轴承连接驱动转轴(5)。 3.如权利 要求1所述的新型蝶形清洗槽盖板， 其特征在于： 所述摇臂(4)与驱动转轴(5) 通过方形轴端卡紧， 所述驱动转轴(5)与盖板转轴(6)一端拼接为一体并通过双螺丝锁 紧， 所述盖板转轴(6)另一端安装有轴端固定座及轴承机构(7)， 并通过轴端固定座及轴承机构 (7)固定在清洗 槽上。 4.如权利要求1所述的新型蝶形清洗槽盖板， 其特征在于： 所述左盖板(11)与右盖板 (12)交接处形成有搭片， 并通过 搭片保证密封性。 5.如权利要求1至4中任一项所述的新型蝶形清洗槽盖板， 其特征在于： 所述左盖板 (11)、 右盖板(12)分别内嵌有金属片， 所述左盖板(11)、 右盖板(12)近驱动端处均设有上下 布置的上定位传感器(9)和下定位传感器(10)， 所述上定位传感器(9)、 下定位传感器(10) 安装在传感器支架(8)上， 并分别连接PLC控制器， 所述上定位传感器(9)、 下定位传感器 (10)通过 金属片感应左盖 板(11)、 右盖板(12)所在的位置， 并输出信号至PLC控制器。 6.如权利 要求1所述的新型蝶形清洗槽盖板， 其特征在于： 所述喷嘴(16)沿N2管(15)分 布有多个， 并覆盖于槽体(18)内卡塞和晶圆的正上方， 所述槽体(18)下方连接有抽风管 (19)。 7.如权利要求1所述的新型蝶形清洗槽盖板， 其特征在于： 所述左盖板(11)和右盖板 (12)的材质选用P P、 PVDF、 PFA、 PTFE、 SUS材质中的任一种。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217903085 U 2一种新型蝶 形清洗槽盖板 [技术领域] [0001]本实用新型涉及湿制程设备清洗槽技术领域， 具体地说是一种新型蝶形清洗槽盖 板。 [背景技术] [0002]在LED芯片和后段封装制程中， 各种化学药液得到大量广泛的应用。 特别是湿制程 设备， 无论是清洗、 刻蚀、 还是显影、 去胶等工艺， 均需用到大量的化学药液， 包括但不限于 H2SO4、 H2O2、 NH4OH、 HCL、 HF、 ACE、 IPA等等。 这些化学品有的有强腐蚀性， 有的有强挥发性， 在制程过程中若加上温控、 超声、 化学反应等各种效应叠加， 将进一步扩大腐蚀和挥发的效 果。 而腐蚀将对空间内金属元器件造成不可逆的影响， 同时挥发也会导致化学液浓度变化， 导致制程结果 不可控。 特别是有机药 液的挥发， 还将对设备 带来不可预知的风险。 [0003]经过摸索验证， 目前设备制程槽体都配备自动后翻型盖板， 通过气缸驱动， 连带摇 臂和盖板一起进行80 ‑95°的旋转翻动， 气缸全行程时盖板打开， 气缸0行程时盖板关闭， 覆 盖到槽体敞口， 以达到在制程过程中有效降低 或控制药液直接暴露的程度和时间的目的。 增加盖板的方式对药液 的挥发和设备 的腐蚀有明显改善。 但是经过制程要求的不断提升， 设备内流场对制程影响也越来越大， 而后翻型盖板因其面积 较大， 运动幅度明显， 导致在开 盖过程中带动槽体内化学液明显的气流扬程。 因此如何尽可能达到槽体密闭效果， 同时减 小对流场的影响， 是 各设备厂 商开始逐步关注的问题。 [0004]结合到当下设备越来越向高自动化程度发展， 干进干出的制程需求越来越多， 一 般制程最后一道工序即为干燥。 从成本和无尘室占用面积考量， 目前比较多的干燥方式仍 然采用IPA+HN2槽体干燥。 IPA+HN2槽体的干燥原理是利用IPA药液和DIW表面张力的差异， 在马兰格尼效应下利用易挥发的IPA药液置换晶圆和Cassette表 面的DIW， 然后通过加热后 的N2吹扫和Exhaust抽风形成的流场， 加快IPA挥发， 从而实现晶圆和Cassette的干燥。 在这 一过程中， 如何减少IPA的无效挥发性消耗、 同时提升N2吹扫的效果， 缩短干燥时间， 是需要 重点考虑的问题。 [0005]综上， 现有的Cover盖板常用单气缸驱动 90°后翻式， 由于安装在设备中隔板， 处于 抽风上端， 气缸易于腐蚀且不易更换； 更重要的是整片后翻盖板面积 较大， 在运动过程中造 成流场紊乱， 对制程影响较大。 因此， 若能提出一种蝶形清洗槽盖板， 实现在确保槽体密封 性的前提下， 降低对流场的影响， 同时通过盖板形成N2吹扫通道， 兼容考虑到对IPA+HN2干 燥槽的效果加成， 将具有非常重要的意 义。 [实用新型内容] [0006]本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种新型蝶形清洗槽盖板， 能够 有效改善腐蚀的问题， 加速干燥过程和干燥效果， 解决了盖板气缸易腐蚀、 流场紊乱、 干燥 效果不理想等问题。 [0007]为实现上述目的设计一种新型蝶形清洗槽盖板， 包括驱动气缸1、 左盖板11、 右盖说　明　书 1/5 页 3 CN 217903085 U 3