(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222057051.0 (22)申请日 2022.08.05 (73)专利权人 亚芯半导体材 料 （江苏） 有限公司 地址 213000 江苏省常州市天宁区福阳路 61号 专利权人 亚芯电子科技 （常州） 有限公司 (72)发明人 陈箫箫　 (74)专利代理 机构 常州市权航专利代理有限公 司 32280 专利代理师 金啸 (51)Int.Cl. B08B 3/08(2006.01) B08B 13/00(2006.01) F26B 21/00(2006.01) F26B 23/06(2006.01)C23C 14/34(2006.01) (54)实用新型名称 一种集成电路 芯片用靶材清洁装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种集成电路芯片用靶 材清洁装置， 涉及靶材清洁技术领域。 本实用新 型包括清洁台， 清洁台两侧均固定有限位板， 限 位板表面固定有第一轴承， 第一轴承内圈固定有 螺纹管； 螺纹管内部螺纹连接有螺纹杆， 螺纹杆 一端固定有第二轴承， 第二轴承外圈固定有 连接 板， 连接板一侧固定有扭力弹簧， 扭力弹簧外侧 固定有夹板； 清洁台一侧固定有液压缸， 液压缸 输出轴固定有连接杆。 本实用新型通过清洁板的 作用， 该装置可以一次性完成丙酮清洁、 酒精清 洁和烘干的清洁步骤， 无需使用者更换清洁装 置， 使得该装置的清洁效率更加高效， 同时可 以 根据靶材的大小灵活的进行调节， 令该装置的适 用范围更广。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 218079346 U 2022.12.20 CN 218079346 U 1.一种集成电路芯片用靶材清洁装置， 包括清洁台(1)， 其特征在于： 所述清洁台(1)两 侧均固定有限位板(2)， 所述限位板(2)表面固定有第一轴承(3)， 所述第一轴承(3)内圈固 定有螺纹管(4)； 所述螺纹管(4)内部螺纹连接有螺纹杆(5)， 所述螺纹杆(5)一端固定有第二轴承(6)， 所述第二轴承(6)外圈固定有连接板(7)， 所述连接板(7)一侧固定有扭力弹簧(8)， 所述扭 力弹簧(8)外侧固定有夹 板(9)； 所述清洁台(1)一侧固定有液压缸(10)， 所述液压缸(10)输出轴固定有连接杆(11)， 所 述连接杆(1 1)一端固定有第三轴承(12)； 所述第三轴承(12)外圈固定有调节板(13)， 所述调节板(13)一侧固定有放置板(14)， 所述放置板(14)两侧均固定有第一电机(15)， 所述第一电机(15)输出轴固定有清洁板 (16)， 所述清洁板(16)表面固定有魔术贴(17)。 2.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片用靶材清洁装置， 其特征在于， 所述螺纹杆 (5)远离连接板(7)一侧固定有把手(18)， 所述 限位板(2)与连接板(7)之间固定有伸缩杆 (19)。 3.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片用靶材清洁装置， 其特征在于， 所述连接杆 (11)表面开有通孔(20)， 所述 通孔(20)内部贯 穿有定位杆(21)； 所述调节板(13)表面 开有若干定位孔(22)。 4.根据权利要求3所述的一种集成电路芯片用靶材清洁装置， 其特征在于， 所述定位杆 (21)一端固定有复位板(23)， 所述复位板(23)与定位杆(21)之间固定有拉簧(24)。 5.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片用靶材清洁装置， 其特征在于， 所述清洁台 (1)侧面开有烘干 槽(25)， 所述清洁台(1)上 下两侧均为网板； 所述烘干 槽(25)内部活动连接有加热丝(26)； 所述烘干槽(25)底部固定有第二电机(27)， 所述第二电机(27)输出轴固定有扇 叶 (28)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218079346 U 2一种集成电路芯片用靶材清洁装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于靶材清洁技术领域， 特别是涉及 一种集成电路芯片用靶材清洁装 置。 背景技术 [0002]在溅射镀膜过程中， 靶材的清洁度对溅射所形成的镀膜质量、 产品良品率以及生 产成本而言非常重要。 由于靶材表面洁净度不高， 在靶材溅射表面积累从几微米到几毫米 大小的黑色氧化物， 一般称之为结瘤。 结瘤具有绝缘性， 结瘤量增加， 在溅射过程中多引发 异常放电， 使镀膜出现粒状物， 影响镀膜质量， 降低产品良品率。 因此， 在靶材生产过程中， 为了保证靶材 具有足够的清洁度， 在包 装前需要对 靶材进行充分的清洁。 [0003]现有的靶材清洁过程一般是先用沾有丙酮溶液的无绒软布对其表面进行擦洗， 在 用沾有酒精的无绒软布对其进行擦洗， 最后擦干靶材， 这种传统的方式一般是工作人员手 动操作， 需要 多次更换软布， 使得清洁效率较低。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种集成电路芯片用靶材清洁装置， 通过清洁板的作 用， 该装置可以一次性完成丙酮清洁、 酒精清洁和烘干的清洁步骤， 无需使用者更换清洁装 置， 使得该装置的清洁效率更加高效， 同时可以根据靶材的大小灵活的进 行调节， 令该装置 的适用范围更广， 解决了 现有的方式一般是工作人员手动 操作， 需要多次更换软布， 使得清 洁效率较低的问题。 [0005]为解决上述 技术问题， 本实用新型 是通过以下技 术方案实现的： [0006]本实用新型为一种集成电路芯片用靶材清洁装置， 包括清洁台， 所述清洁台两侧 均固定有限位板， 所述限位板表面固定有第一轴承， 所述第一轴承内圈固定有螺纹管； [0007]所述螺纹管内部螺纹连接有螺纹杆， 所述螺纹杆一端固定有第二轴承， 所述第二 轴承外圈固定有连接 板， 所述连接 板一侧固定有扭力弹簧， 所述扭力弹簧外侧固定有夹 板； [0008]所述清洁台一侧固定有液压缸， 所述液压缸输出轴固定有连接杆， 所述连接杆一 端固定有第三轴承； [0009]所述第三轴承外圈固定有调节板， 所述调节板一侧固定有放置板， 所述放置板两 侧均固定有第一电机， 所述第一电机 输出轴固定有清洁板， 所述清洁板表面固定有魔术贴。 [0010]作为本实用新型的一种优选技术方案， 所述螺纹杆远离连接板一侧固定有把手， 所述限位板与连接 板之间固定有伸缩杆。 [0011]作为本实用新型的一种优选技术方案， 所述连接杆表面开有通孔， 所述通孔内部 贯穿有定位杆； [0012]所述调节板表面 开有若干定位孔。 [0013]作为本实用新型的一种优选技术方案， 所述定位杆一端固定有复位板， 所述复位 板与定位杆之间固定有拉簧。说　明　书 1/3 页 3 CN 218079346 U 3