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ICS31.200 CCSL56 中华人民共和国国家标准 GB/T20870.10—2023/IEC60747-16-102004 半导体器件第16-10部分：单片微波集成电路技术可接收程序 Semiconductor devices—Part 16-10:Technology Approval Schedule for monolithic microwave integrated circuits (IEC60747-16-10:2004,IDT) 2023-09-07发布 2024-01-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会 GB/T20870.10—2023/IEC60747-16-10:2004 目次前言引言范围规范性引用文件术语、定义和缩略语 3.1 单位、符号和术语 3.2 标准值和优选值 3.3 术语和定义 3.4 缩略语 3.5 关于技术可接收程序范围的定义器件技术的定义 4.1 器件技术的范围 4.2 活动说明及流程图 4.3 技术摘要 4.4 分包商控制要求 5 MMIC的器件设计 5.1 MMIC的器件设计范围 5.2 活动说明及流程图 5.3 接口： 5.4 过程的确认与控制掩模制造 6.1 掩模制造的范围 6.2 活动说明及流程图· 6.3 工艺的确认和控制· 6.4 分包商、供应商和内部供方 MMIC的晶圆制造 7.1 MMIC的晶圆制造范围 13 7.2 活动说明和流程图 7.3 设备 7.4 7.5 返工 7.6 工艺的确认方法和控制 7.7 相互关系

GB-T 20870.10-2023 半导体器件第16-10部分：单片微波集成电路技术可接收程序

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