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ICS 71.040.40 G 04 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T33838—2017/ISO/TS24597:2011 微束分析扫描电子显微术图像锐度评估方法 Microbeam analysisScanning electron microscopy- Methods of evaluating image sharpness （ISO/TS24597:2011,IDT） 2017-05-31发布 2018-04-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会 GB/T33838—2017/ISO/TS24597:2011 目次前言范围规范性引用文件 3 术语和定义获取SEM图像的步骤 4.1 概述 4.2 试样 4.3 试样倾斜 4.4 视场选择 4.5 像素大小选择 4.6 图像亮度和衬度 4.7 图像衬噪比 4.8 图像聚焦和像散 4.9 外部因素干扰 4.10 错误衬度 4.11 SEM图像数据文件 5 SEM图像获取及图像区域选择 6 评估方法 6.1 概述 6.2 衬噪比 6.3 傅立叶变换（FT)法 6.4 衬度-梯度(CG)法 6.5 导数(DR)法 7 测试报告· 7.1 概述 7.2 测试报告内容附录A（规范性附录）衬噪比(CNR)细节…. 15 附录B（规范性附录）傅立叶变换（FT)法细节 19 附录C（规范性附录）衬度-梯度(CG)法细节 32 附录D（规范性附录）导数(DR)法细节附录E（资料性附录）评估图像锐度的背景· 59 附录F（资料性附录）各种评估方法的特征和适用性 63 附录G（资料性附录）用于评估图像锐度的试样的制备方法 66 附录H（资料性附录）测试报告示例 68 参考文献 70

GB-T 33838-2017 微束分析扫描电子显微术图像锐度评估方法

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