ICS 77.040 CCS H 17 中华人民共和国国家标准 GB/T 1558—2023 代替GB/T1558—2009 硅中代位碳含量的红外吸收测试方法 Test method for substitutional carbon content in silicon by infrared absorption 2023-12-28 发布 2024-07-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T 1558—2023 前言 起草。 本文件代替GB/T1558一2009《硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》。与GB/T1558一2009 相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下： a)1 更改了范围（见第1章，2009年版的第1章）； b) 更改了术语和定义（见第3章，2009年版的第3章）； c） 更改了方法原理（见第4章，2009年版的第4章）； d) 容（见5.8、5.9、5.10、5.11、5.12、5.13）； e) 增加了试验条件（见第6章）； f)） 更改了仪器设备要求（见7.2，2009年版的6.2），删除了“窗口材料”和“温度计”的要求（见2009年 版的6.4、6.5）； g） 更改了样品（见第8章，2009年版的第7章）； h） 更改了试验步骤（见第9章，2009年版的第8章）； i） 更改了精密度（见第11章，2009年版的第10章）； 更改了试验报告（见第12章，2009年版的第11章）； k）增加了附录A（见附录A）。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口。 本文件起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、青海芯测科技有限公司、天津中环领先 材料技术有限公司、浙江金瑞泓科技股份公司、山东有研半导体材料有限公司、浙江海纳半导体股份有 限公司、布鲁克（北京)科技有限公司、中国计量科学研究院、有色金属技术经济研究院有限责任公司、开 化县检验检测研究院、四川永祥新能源有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、新疆新特新能材料检 测中心有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、中电晶华（天津)半导体材料有限公司、浙江 众晶电子有限公司、义乌力迈新材料有限公司、湖南三安半导体有限责任公司。 本文件主要起草人：李静、何炬坤、刘立娜、李素青、索开南、马春喜、薛心禄、张雪因、张海英、孙韫哲、 王彦君、沈益军、赵跃、王军锋、李兰兰、邹剑秋、徐顺波、李寿琴、张宝顺、刘国霞、徐岩、李明达、陆勇、 皮坤林、杜伟华。 本文件于1979年首次发布，1997年第一次修订，2009年第二次修订，本次为第三次修订。 1