ICS71.040.50 CCSA42 中华人民共和国国家标准 GB/T43682—2024 纳米技术 亚纳米厚度石墨烯薄膜载流子 迁移率及方块电阻测量方法 Nanotechnology—Measurementmethodsforcarriermobilityandsheet resistanceofgraphenefilmsofsub-nanometerthickness 2024-03-15发布 2024-07-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布 目 次 前言 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 引言 Ⅳ ………………………………………………………………………………………………………… 1 范围 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 规范性引用文件 1 ………………………………………………………………………………………… 3 术语和定义 1 ……………………………………………………………………………………………… 4 原理 2 ……………………………………………………………………………………………………… 5 设备 3 ……………………………………………………………………………………………………… 6 器件制备及测量过程 4 …………………………………………………………………………………… 7 计算方法 7 ………………………………………………………………………………………………… 8 不确定度的分析与计算 9 ………………………………………………………………………………… 9 测量报告 10 ………………………………………………………………………………………………… 附录A(资料性) 化学气相沉积(CVD)法生长的石墨烯样品#1的方块电阻及载流子迁移率 11…… 参考文献 12 …………………………………………………………………………………………………… ⅠGB/T43682—2024