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书 书 书犐犆犛 31 . 200 犔 55 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A 犌犅 / 犜 34900 — 2017 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 ( 犕犈犕犛 ) /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E 犕犈犕犛 /G21 /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 犕犻犮狉狅犲犾犲犮狋狉狅犿犲犮犺犪狀犻犮犪犾狊狔狊狋犲犿狋犲犮犺狀狅犾狅犵狔 — 犕犲犪狊狌狉犻狀犵犿犲狋犺狅犱犳狅狉狉犲狊犻犱狌犪犾狊狋狉犪犻狀犿犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狊狅犳犕犈犕犛犿犻犮狉狅狊狋狉狌犮狋狌狉犲狊狌狊犻狀犵犪狀狅狆狋犻犮犪犾犻狀狋犲狉犳犲狉狅犿犲狋犲狉 2017 11 01 /G39 /G3A 2018 05 01 /G3B /G3C /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G2F /G31 /G32 /G33 /G21 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G39 /G3A 书 书 书/G21 /G22 /G21 /G22 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 1 /G23 /G24 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 /G25 /G23 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A 1 ………………………………………………………………………………………… 3 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F 1 ……………………………………………………………………………………………… 4 /G30 /G31 /G32 /G33 1 ………………………………………………………………………………………………… 5 /G34 /G35 /G30 /G31 /G36 /G37 /G2E /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C /G3D 6 ………………………………………………………………………… /G3E /G3F A ( /G40 /G41 /G26 /G3E /G3F ) /G42 /G43 /G44 /G45 /G46 /G47 /G48 /G39 /G49 /G4A /G4B /G4C /G2D /G3A /G3B /G4D /G2B /G4E /G4F 7 ………………………………… /G3E /G3F B ( /G25 /G23 /G26 /G3E /G3F ) /G50 /G51 /G52 /G53 /G54 /G55 /G56 /G57 /G58 /G59 /G5A /G2D /G5B /G5C /G5D /G4B /G31 9 ……………………………………… Ⅰ 犌犅 / 犜 34900 — 2017 /G23 /G24 /G5E /G5F /G60 /G61 /G62 GB / T1.1 — 2009 /G63 /G64 /G39 /G25 /G65 /G66 /G67 。 /G5E /G5F /G60 /G68 /G69 /G6A /G47 /G6B /G6C /G4D /G2B /G5F /G60 /G6D /G4D /G2B /G6E /G6F /G70 ( SAC / TC336 ) /G71 /G64 /G72 /G73 /G74 。 /G5E /G5F /G60 /G3A /G3B /G66 /G67 /G75 /G76 : /G77 /G78 /G79 /G43 、 /G7A /G6B /G7B /G7C /G7D /G7E /G7F /G7A /G80 、 /G6A /G81 /G82 /G83 /G82 /G52 /G84 /G83 /G2A /G85 /G31 /G86 /G87 /G88 /G89 /G7A /G80 、 /G8A /G8B /G8C /G8D /G79 /G43 、 /G7A /G6A /G6C /G8E /G8F /G4D /G90 /G91 /G92 /G93 /G94 /G95 /G96 /G97 /G98 /G99 。 /G5E /G5F /G60 /G3A /G3B /G66 /G67 /G9A : /G9B /G9C 、 /G9D /G9E /G9F 、 /GA0 /GA1 /GA2 、 /GA3 /GA4 /GA5 、 /GA6 /GA7 /GA8 、 /GA9 /GAA /GAB 、 /GAC /GAD 、 /GAE /GAF 。 Ⅲ 犌犅 / 犜 34900 — 2017 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 ( 犕犈犕犛 ) /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 犕犈犕犛 /G25 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C 1 /G3D /G3E /G5E /G5F /G60 /G25 /G2E /GB0 /GB1 /GA3 /G42 /G43 /G44 /G45 /G46 /G47 /G48 /GB2 /GB3 /G39 /G47 /GB4 /GB5 /GB6 /GB7 /GB8 /GB9 /GBA /G52 /G53 /G4B /GBB /G7F /GBC /GBD /G57 /GBE /G5D /G30 /G31 /G39 /G32 /G33 。 /G5E /G5F /G60 /GBF /G28 /GA3 /G52 /G53 /GC0 /GC1 /GC2 /G36 /GC3 /GA3 4% /GC4 /GC5 /G28 /G42 /G43 /G44 /G45 /G46 /G47 /G48 /GC6 /GC7 /GB2 /GB3 /G52 /G53 /G4B /GBB /G39 /G47 /GB4 /GB5 /GB6 /GB7 /GB8 /GB9 /GBA 。 2 /G3F /G3D /G40 /G41 /G42 /G43 /G44 /GC8 /GC9 /G29 /G2A /GCA /GA3 /G5E /G29 /G2A /G39 /GBE /G28 /GCB /GCC /G36 /GCD /GCE /G39 。 /GCF /GCB /GD0 /GD1 /GD2 /G39 /G27 /G28 /G29 /G2A , /GD3 /GD0 /GD1 /GD2 /G39 /GD4 /G5E /GBF /G28 /GA3 /G5E /G29 /G2A 。 /GCF /GCB /G36 /GD0 /GD1 /GD2 /G39 /G27 /G28 /G29 /G2A , /GD5 /GD6 /GD7 /GD4 /G5E ( /GD8 /GD9 /G99 /GDA /G39 /GDB /GDC /G75 ) /GBF /G28 /GA3 /G5E /G29 /G2A 。 GB / T3505 /G7C /GDD /GDE /GDF /G4D /G2B /G25 /G23 ( GPS ) /G52 /G53 /GB9 /GBA /G54 /G55 /G33 /G2B /G2C 、 /G2E /G2F /GE0 /G52 /G53 /GB9 /GBA /GE1 /G5A GB / T26111 /G47 /G6B /G6C /GE2 /GE3 ( MEMS ) /G4D /G2B /G2B /G2C GB / T26113 /G47 /G6B /G6C /GE2 /GE3 ( MEMS ) /G4D /G2B /G47 /GDE /GDF /G31 /GE4 /G2E /GE5 /G65 GB / T34893 — 2017 /G47 /G6B /G6C /GE2 /GE3 ( MEMS ) /G4D /G2B /GB1 /GA3 /G42 /G43 /G44 /G45 /G39 MEMS /G47 /GB9 /GBA /G53 /GE6 /GE7 /G38 /G30 /G31 /G32 /G33 3 /G2B /G45 /G46 /G47 /G48 GB / T3505 、 GB / T26111 /G2D GB / T34893 — 2017 /GE8 /G2E /G39 /GE9 /GE0 /GC8 /GC9 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /GBF /G28 /GA3 /G5E /G29 /G2A 。 3 . 1 /G35 /G36 /G37 /G38 狉犲狊犻犱狌犪犾狊狋狉犪犻狀 /GEA /GEB /GA3 /GEC /G41 、 /GB9 /GBA /GE6 /GED /G3C /GEE /G26 /G5D /G4B 、 /G36 /GEF /GF0 /GF1 /G38 /GF2 /GF3 、 /G36 /GEF /GF0 /GF4 /G5D /GF5 /G4B /GF6 /G39 /G72 /GF7 /GF8 /GF9 /GFA /G39 /GE6 /GBE /G5D 。 4 /G39 /G3A /G3B /G3C 4 . 1 /
GB-T 34900-2017 微机电系统 MEMS 技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法
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