ICS 77.150.01 H 00 中华人民共和国国家标准 GB/T39157—2020 靶材技术成熟度等级划分及定义 Classification and definition of the technology readiness levels for targets 2020-11-19发布 2021-10-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T 39157—2020 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国有色金属工业协会提出 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口。 限公司、贵研铂业股份有限公司。 本标准主要起草人：高岩、韩知为、熊晓东、腾海涛、赵永善、贺昕、边逸军、陈明、王传军、姚力军 闻明、徐国进、管丽梅 1 GB/T 39157—2020 靶材技术成熟度等级划分及定义 1范围 本标准规定了靶材技术成熟度的术语和定义、等级划分和判定规则。 本标准适用于靶材技术成熟度评价。 2 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 2.1 target 靶材 在溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形 式脱离阴极而在阳极表面沉积。 SAC 2.2 技术成熟度 technology readiness 技术满足预期靶材应用目标的程度。 2.3 技术成熟度等级 technology readiness levels 用于衡量靶材技术满足预期应用目标程度的尺度。 注：改写GB/T37264—2018，定义2.2 2.4 技术参数 technicalparameter 针对某一事物在规定的检测条件下得出的相对数据。 注：一般是指设计或生产时做出的性能测试报告 2.5 靶材样品 target samples 在实验室阶段，根据靶材设计要求而制备的用于测试主要性能、结构和检验工艺性能的实物，具备 了靶材的部分特性。 注：改写GB/T37264—2018，定义2.3。 2.6 靶材试制品 target developed products 在靶材工程化阶段，考虑最终形式，并在实验室环境或使用环境下，对靶材关键性能和功能进行测 试，通过小批量或小规模制备的实物。 注：改写GB/T37264—2018，定义2.4。 2.7 实验室环境 laboratory environments 实验室的检测和校准设施以及环境条件，用于验证技术原理和使用功能 2.8 模拟环境 simulation environments 模拟真实使用环境，用以验证靶材的关键性能或其主要组成部分的关键性能 1 GB/T39157—2020 注：改写GB/T372642018，定义2.6。 2.9 使用环境 real environments 靶材产品实际使用时的环境和工况。 注：改写GB/T37264—2018，定义2.7。 2.10 靶材产品 target products 在产业化阶段，生产工艺成熟，可批量生产，并能实现全部功能，完全满足预期使用目标的实物。 注：改写GB/T37264—2018，定义2.5。 3 靶材技术成熟度等级划分要求 3.1 靶材技术成熟度等级划分 靶材技术成熟度按照三个阶段分为十个等级，即实验室阶段（等级1～等级4）、工程化阶段（等级 5～等级7）、产业化阶段（等级8～等级10）。各等级的技术成熟度见表1。 表1靶材技术成熟度等级界定 等级 技术成熟度 阶段 1 靶材设计和制备的基本概念、原理形成 2 靶材的应用背景、使用环境、关键技术参数指标、制造工艺和工艺设备等内容得到明确 初步明确了靶材的实验室技术方案，将概念、原理实施于靶材制备和工艺控制中，并初步得 实验室阶段 3 到验证 实验室制备工艺贯通，获得靶材样品，部分关键技术参数指标得到实验室环境验证。靶材 4 技术应用的可行性得到验证，提出了工程化转化实施方案 靶材试制工艺流程贯通，获得靶材试制品，结构和性能通过实验室测试验证。对关键试制 5 工艺进行了评估，进行了初步的故障模式及影响分析 工程化阶段 6 靶材试制品通过模拟环境验证，明确了关键生产工艺 7. 靶材试制品通过使用环境验证，完成靶材试制工艺流程优化，全面演示了技术的工程可行性 8 靶材产品通过用户测试和认定，生产线完整，形成产品和技术规范 9 靶材产品经验证满足客户使用要求，能够稳定生产，满足质量一致性要求 产业化阶段 10 靶材产品生产要素得到优化.成批量稳定供货 3.2 等级条件 3.2.1 等级1应符合表2的规定 表 2 等级1条件 序号 条件内容 1 明确了靶材研发基础的基本概念和基本原理 2 依据基本原理提出了靶材的基本组分、结构和设计，并预测了基本性能及使用性能 3 通过实验，观察到了基本原理，相关技术资料上也已公布了观察结果 2