ICS 31.200 L55 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 26111—2010 微机电系统（MEMS）技术 术语 Micro-electromechanical system technology-Terms 2011-01-10发布 2011-10-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 26111—2010 目 次 前言 II 1 范围 规范性引用文件 2 3 术语和定义 3. 1 综合性术语 3.2 科学与工程术语 3. 3 与材料相关的术语 3. 4 与设计相关的术语 3.5 与加工工艺相关的术语 3.6 封装与组装术语 10 3.7 测量技术术语 13 3.8 与器件相关的术语 15 参考文献 22 索引 23 汉语拼音索引 23 英文对应词索引 27 GB/T 26111—2010 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）提出并归口。 本标准主要起草单位：中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通 大学、中北大学。 本标准主要起草人：丁红宇、刘伟、张苹、崔波、杨拥军、叶雄英、陈迪、石云波。
GB-T 26111-2010 微机电系统 MEMS 技术 术语
GB-T 26111-2010 微机电系统 MEMS 技术 术语
文档预览
中文文档
40 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
0 收藏
3.0分
温馨提示：本文档共40页，可预览 3 页，如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
本文档由 思安 于 2023-02-09 17:30:53上传分享
友情链接
- DB37-T 4203.1—2020 林业碳汇计量监测体系建设规范 第1部分：导则 山东省.pdf
- GB-T 12960-2019 水泥组分的定量测定.pdf
- DB63-T 2010.1-2022 涉路行为标准化规范 第1部分：技术导则 青海省.pdf
- T-CSAE 111—2019 乘用车空气动力学性能术语.pdf
- GB-T 42147-2022 政府网站网页电子文件元数据.pdf
- GB-T 29115-2012 工业企业节约原材料评价导则.pdf
- GA-T 1944-2021 法庭科学 三硝基甲苯等6种有机炸药及其爆炸残留物检验 液相色谱-质谱法.pdf
- 硅创社2024002-AIGC2023~2024书单截止1月 2024.pdf
- GB-T 36001-2015 社会责任报告编写指南.pdf
- NB-T 10394-2020 光伏发电系统效能规范.pdf
- T-CAQI 60—2018 污 废 水生物处理 高负荷内循环厌氧反应器.pdf
- 法律法规 贵州省大数据安全保障条例2019-08-01.pdf
- GB 43068-2023 煤矿用跑车防护装置安全技术要求.pdf
- GB-T 20021-2017 帆布芯耐热输送带.pdf
- T-CACM 1374.1—2021 中药材规范化生产技术规程通则植物药材.pdf
- GB-T 36710-2018 公共机构办公区节能运行管理规范.pdf
- T-WAPIA 045.1—2021 信息技术 系统间远程通信和信息交换 原子密钥建立与实体鉴别 第1部分：服务和协议.pdf
- GB-T 2478-2022 普通磨料 棕刚玉.pdf
- GB-T 24421.3-2023 服务业组织标准化工作指南 第3部分：标准编制.pdf
- GB-T 6490-2021 水轮泵.pdf