ICS 37.020;17.180 N33 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T26533—2011 俄歇电子能谱分析方法通则 General rules for Auger electron spectroscopic analysis 2011-05-12发布 2011-12-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 26533—2011 目 次 前言 1 范围 规范性引用文件 2 3 术语和定义 方法原理 仪器 5 5. 1 仪器组成 5. 2 仪器性能 6样品 分析步骤 7 7.1 能量标尺校正 7. 2 AES定性分析及操作步骤 7. 3 俄歇电子能谱的定量分析 7. 4 深度剖析 7.5 元素化学态分析 8分析结果的表述 8. 1 俄歇全谱 8.2 窄谱 线扫描谱 8.3 8.4 深度部析谱 8.5 多点显微对比分析 8. 6 样品表面元素分布图（Augermap） 8.7 分析结果表述方式 图1 KLL：俄歇跃迁· 图 2 俄歇电子能谱简图 图3 Cu、Au和Al三个参考物质的直接谱和微分谱（相对能量分辨率0.3%） 表1参考物质的俄歇电子动能参考值 GB/T 26533—2011 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国微束分析标准化技术委员会（SAC/TC38）提出并归口。 本标准起草单位：清华大学化学系。 本标准主要起草人：姚文清、李展平、曹立礼、朱永法。 II GB/T26533—2011 俄歇电子能谱分析方法通则 1范围 本标准规定了以电子束为激发源的俄歇电子能谱（AES，AugerElectronSpectroscopy）的一般表面 分析方法。 本标准适用于俄歇电子能谱仪 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T22461—2008表面化学分析词汇 ISO/TR15969：2001表面化学分析深度分析溅射深度的测量（SurfaceChemicalAnalysis Depth Profiling-Measurement of Sputtered Depth) ISO18116：2005表面化学分析表面分析样品的制备和固定方法指南（SurfaceChemicalAnal- ysisGuidelines for Preparation and Mounting of Specimens for Analysis) ISO18118：2002（E）表面化学分析AES和XPS均匀材料定量分析所用的实验相对灵敏度因 子使用指南(Surface Chemical Analysis一AES andXPSGuide to useof ExperimentalRelative Sensi- tivityFactorsfor the QuantitativeAnalysisof HomogeneousMaterials) ISO/TR18394：2006表面化学分析俄歇电子能谱化学信息来源（SurfaceChemical Analysis—Auger Electron Spectrometers-Derivation of Chemical Information) ISO/TR19319:2003表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子谱分析者对于横向分辨 率，分析范围和样品观察范围的测定（SurfaceChemicalAnalysis一AugerEletronSpectroscopyandX- ray Photoelectron SpectroscopyDetermination of Lateral Resolution,Analysis Area,and Sample Area Viewed by the Analyser) ASTME10782002表面分析中制样和装样的标准指南（StandsardGuideforSpecimenPrepa- rationand Mounting in Surface Analysis) ASTME1829—2002表面分析前样品处理标准指南（StandsardGuideforHandlingSpecimens Prior to Surface Analysis) 3术语和定义 GB/T22461一2008界定的术语和定义适用于本文件。 4方法原理 SAG 用一定能量的电子碰撞原子，使原子内层电子电离，这样在原子内层轨道上出现一个空位，形成了 激发态正离子。在激发态离子的退激发过程中，外层轨道的电子可以向该空位跃迁并释放出能量，该能 量又可以激发同一轨道层或更外层轨道的电子使之电离，这种电子就是俄歇电子。一般用WX，Y。表 1 GB/T26533—2011 示任意一个俄歇跃迁。图1清晰地表示出KL,L俄歇跃迁。 俄歇电子动能与激发源种类和能量大小无关，是元素的固有特征。根据形成初始空穴壳层、随后弛 豫及出射俄歇电子壳层的不同，在元素周期表中从锂到铀元素形成了KLL、LMM、MNN三大主跃迁系 列，依据每个元素主俄歇跃迁谱峰所对应的动能大小就可以标识出元素的种类，用于元素的定性分析； 根据样品中所检测到的各元素谱峰的相对强度，再经过适当的校正便可获得样品中各元素的相对含量， 进行定量分析。 真空能级 La L2 L1 图1KL,L3俄歇跃迁 5仪器 5.1仪器组成 5.1.1俄歇电子能谱 图2给出俄歇电子能谱的简图。它是由激发源、样品室、能量分析器、离子枪、检测器和数据采集、 处理及输出系统（包括计算机和记录仪等）及超高真空抽气系统等组成。 e- 样品室 能量分析器 氩离子枪 检剿帮 激发源（电子枪） [超高真空系统] 超高真空抽气系统 数据采集、处理及输山系统 图2 俄歇电子能谱简图 2