ICS_17.040. 30 L 85 中华人民共和国国家标准 GB/T 24468—2009 半导体设备可靠性、可用性和维修性 (RAM)的定义和测量规范 Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability,availability and maintainability (RAM) 2009-10-15发布 2009-12-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会 GB/T 24468—2009 目次前言 I 1 目的 2 范围 3 规范性引用文件 4 术语和定义 5 设备的状态 6 RAM 测量 8 7 不确定度测量 11 8 可靠性增长或退化的测量 13 9 集群设备RAM测量 13 附录A（规范性附录) 置信限系数 14 附录B（规范性附录）集群设备RAM的测量 17 附录C（资料性附录) 可靠性增长或退化模型 27

GB-T 24468-2009 半导体设备可靠性、可用性和维修性 RAM 的定义和测量规范

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